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特許5685135クリーンルームの除塵システム
発明の名称 クリーンルームの除塵システム
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 34 位（592件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 19 位（782件）（共同出願を含む）
出願人 大成建設株式会社 （識別番号 206211）
特許公開件数ランキング 145 位（234件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 179 位（167件）（共同出願を含む）
出願人 富士電機株式会社 （識別番号 5234）
特許公開件数ランキング 53 位（458件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 36 位（525件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5685135
公報発行日 2015年3月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5685135
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