特許5690582荷電粒子ビームシステムのためのプラズマ源

発明の名称　荷電粒子ビームシステムのためのプラズマ源

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 331 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 348 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5690582

公報発行日　2015年3月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5690582

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