特許5692374レーストラック形状のマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置

発明の名称　レーストラック形状のマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置

出願人　日立金属株式会社　（識別番号 5083）

　　　　特許公開件数ランキング 108 位（279件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 137 位（200件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5692374

公報発行日　2015年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5692374

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