特許5692750薄膜組成比検査方法及び製膜装置

発明の名称　薄膜組成比検査方法及び製膜装置

出願人　株式会社明電舎　（識別番号 6105）

　　　　特許公開件数ランキング 252 位（129件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 316 位（86件）（共同出願を含む）

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（262件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 138 位（280件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5692750

公報発行日　2015年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5692750

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