期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第5698719号(P5698719)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドの特許一覧
特許
5698719
化学蒸着エッチングチャンバから副生成物の堆積物を除去するインサイチュチャンバ洗浄プロセス
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1A
1B
2A
2B
2C
3A
3B
4A
4B
4C
5A
5B
5C
5D
5E
5F
5G
5H
5I
6
7
8
22
