期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第5701618号(P5701618)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
ギガフォトン株式会社
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ ギガフォトン株式会社の特許一覧
特許
5701618
極端紫外光生成装置
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1
2
3
4
5
6A
6B
7
8A
8B
9
10A
10B
11
12
13A
13B
14
15
16
17
18
19
20
21A
21B
22A
22B
23A
23B
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
43
