特許5714968Ｘ線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにＸ線タルボ干渉計

発明の名称　Ｘ線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにＸ線タルボ干渉計

出願人　株式会社日立ハイテクサイエンス　（識別番号 503460323）

　　　　特許公開件数ランキング 2302 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1351 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5714968

公報発行日　2015年5月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5714968

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5714968「Ｘ線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにＸ線タルボ干渉計」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録