特許5715904熱処理装置、及びこれに基板を搬送する基板搬送方法

発明の名称　熱処理装置、及びこれに基板を搬送する基板搬送方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（769件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5715904

公報発行日　2015年5月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5715904

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5715904「熱処理装置、及びこれに基板を搬送する基板搬送方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録