特許 5719648 エッチング方法、およびエッチング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5719648

(24)【登録日】2015年3月27日

(45)【発行日】2015年5月20日

(54)【発明の名称】エッチング方法、およびエッチング装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/3065 20060101AFI20150430BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/302 105A

【請求項の数】7

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2011-55516(P2011-55516)

(22)【出願日】2011年3月14日

(65)【公開番号】特開2012-191128(P2012-191128A)

(43)【公開日】2012年10月4日

【審査請求日】2014年3月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100099944

【弁理士】

【氏名又は名称】高山 宏志

(72)【発明者】

【氏名】秋庭 亜輝

【審査官】 杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０７−１３５１９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２８４１４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−１１５２３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２２２７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００７−５２９９０４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

シリコン酸化物膜、及びこのシリコン酸化物膜上に形成されたシリコン膜を含む多層構造体をエッチングするエッチング方法であって、
レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、
前記基板を搬入した後、前記処理室内に、ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスを供給し、
前記レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いつつ、前記ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスをエッチングガスとして、前記シリコン膜及び前記シリコン酸化物膜を含む前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングすることを特徴とするエッチング方法。

【請求項2】

シリコン酸化物膜、このシリコン酸化物膜上に形成されたシリコン膜、及びこのシリコン膜上に形成されたシリコン窒化物膜を含む多層構造体をエッチングするエッチング方法であって、
レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、
前記基板を搬入した後、前記処理室内に、ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスを供給し、
前記レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いつつ、前記ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスをエッチングガスとして、前記シリコン窒化物膜、前記シリコン膜及び前記シリコン酸化物膜を含む前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングすることを特徴とするエッチング方法。

【請求項3】

第１のシリコン酸化物膜、この第１のシリコン酸化物膜上に形成されたシリコン膜、このシリコン膜上に形成されたシリコン窒化物膜、及びこのシリコン窒化物膜上に形成された第２のシリコン酸化物膜を含む多層構造体をエッチングするエッチング方法であって、
レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、
前記基板を搬入した後、前記処理室内に、ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスを供給し、
前記レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いつつ、前記ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスをエッチングガスとして、前記第２のシリコン酸化物膜、前記シリコン窒化物膜、前記シリコン膜及び前記第１のシリコン酸化物膜を含む前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングすることを特徴とするエッチング方法。

【請求項4】

前記多層構造体をエッチングするとき、前記処理室内にプラズマを発生させることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のエッチング方法。

【請求項5】

前記処理室内には、下部電極を構成する載置台と、この載置台に対向して配置され、上部電極を構成するガス吐出部とが配置され、
前記レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、前記処理室内に配置された前記載置台に載置し、
前記エッチングガスを前記ガス吐出部から吐出させ、前記上部電極と前記下部電極との間に電界を印加して、前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングすることを特徴とする請求項４に記載のエッチング方法。

【請求項6】

前記多層構造体に含まれた前記シリコン膜をエッチングするとき、前記上部電極に印加する電力を、前記下部電極に印加する電力よりも大きくし、
前記多層構造体に含まれた前記シリコン酸化物膜、又は前記シリコン窒化物膜をエッチングするとき、前記上部電極に印加する電力と前記下部電極に印加する電力とを、等しくすることを特徴とする請求項５に記載のエッチング方法。

【請求項7】

請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の多層構造体をエッチングするエッチング装置であって、
処理室と、
前記処理室にエッチングガスを供給するガス供給源と、
前記処理室内に配置され、前記基板を載置する載置台と、
前記処理室内に前記載置台に対向して配置され、前記処理室に前記エッチングガスを吐出するガス吐出部と、
前記載置台に接続された第１の高周波電源と、
前記ガス吐出部に接続された第２の高周波電源と、
前記エッチング装置を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載されたエッチング方法が実行されるように、前記エッチング装置を制御することを特徴とするエッチング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、エッチング方法、およびエッチング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体集積回路装置の製造には、シリコン（Ｓｉ）膜をエッチングするプロセスが含まれる。シリコン膜をエッチングするとき、エッチングガスとしては、特許文献１に記載されているように、臭化水素（ＨＢｒ）ガスや、三フッ化水素（ＨＦ_３）ガスを含有するガスが使用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−２４５１０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、ＨＢｒガスや、ＨＦ_３ガスを含有するガスは、レジスト膜や有機膜もエッチングしてしまう。このため、半導体集積回路装置の多層構造体中に存在するシリコン膜を、レジスト膜や有機膜をマスクに用いてエッチングしようとする場合には、十分なマスク選択比がほとんどとれないことが現状である。

【0005】

また、シリコン膜の上に厚いシリコン酸化物膜が存在する多層構造体の場合には、エッチング装置としては、シリコン酸化物膜向けのエッチング装置が用いられる。

【0006】

しかしながら、シリコン酸化物膜向けのエッチング装置は、ＨＢｒガスやＨＦ_３ガスを搭載していない。このため、厚いシリコン酸化物膜の下にあるシリコン膜を一括してエッチングすることが困難である。

【0007】

この発明は、多層構造体中にあるシリコン膜であっても、レジスト膜や有機膜をマスクに用いてエッチングすることが可能であり、かつ、シリコン膜、及びこのシリコン膜の下に存在するシリコン酸化物膜を一括してエッチングすることも可能なエッチング方法、およびエッチング装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0008】

この発明の第１の態様に係るエッチング方法は、シリコン酸化物膜、及びこのシリコン酸化物膜上に形成されたシリコン膜を含む多層構造体をエッチングするエッチング方法であって、レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、前記基板を搬入した後、前記処理室内に、ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスを供給し、前記レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いつつ、前記ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスをエッチングガスとして、前記シリコン膜及び前記シリコン酸化物膜を含む前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングする。

【0009】

この発明の第２の態様に係るエッチング方法は、シリコン酸化物膜、このシリコン酸化物膜上に形成されたシリコン膜、及びこのシリコン膜上に形成されたシリコン窒化物膜を含む多層構造体をエッチングするエッチング方法であって、レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、前記基板を搬入した後、前記処理室内に、ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスを供給し、前記レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いつつ、前記ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスをエッチングガスとして、前記シリコン窒化物膜、前記シリコン膜及び前記シリコン酸化物膜を含む前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングする。

【0010】

この発明の第３の態様に係るエッチング方法は、第１のシリコン酸化物膜、この第１のシリコン酸化物膜上に形成されたシリコン膜、このシリコン膜上に形成されたシリコン窒化物膜、及びこのシリコン窒化物膜上に形成された第２のシリコン酸化物膜を含む多層構造体をエッチングするエッチング方法であって、レジスト膜又は有機膜が形成された前記多層構造体を含む基板を、エッチング装置の処理室内に搬入し、前記基板を搬入した後、前記処理室内に、ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスを供給し、前記レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いつつ、前記ＣＨ_２Ｆ_２ガスにＮ_２ガス及びＡｒガスを混合させたガスをエッチングガスとして、前記第２のシリコン酸化物膜、前記シリコン窒化物膜、前記シリコン膜及び前記第１のシリコン酸化物膜を含む前記多層構造体を、この多層構造体の下地に達するまで一括してエッチングする

【0011】

この発明の第４の態様に係るエッチング装置は、上記第１から第３の態様のいずれか一つに記載の多層構造体をエッチングするエッチング装置であって、処理室と、前記処理室にエッチングガスを供給するガス供給源と、前記処理室内に配置され、前記基板を載置する載置台と、前記処理室内に前記載置台に対向して配置され、前記処理室に前記エッチングガスを吐出するガス吐出部と、前記載置台に接続された第１の高周波電源と、前記ガス吐出部に接続された第２の高周波電源と、前記エッチング装置を制御するコントローラと、を備え、前記コントローラは、上記第１から第３の態様のいずれか一つに記載されたエッチング方法が実行されるように、前記エッチング装置を制御する。

【発明の効果】

【0013】

この発明によれば、多層構造体中にあるシリコン膜であっても、レジスト膜や有機膜をマスクに用いてエッチングすることが可能であり、かつ、シリコン膜、及びこのシリコン膜の下に存在するシリコン酸化物膜を一括してエッチングすることも可能なエッチング方法、およびエッチング装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】半導体集積回路装置を製造している段階の多層構造体（半導体ウエハ）を示す断面図

【図2】（Ａ）図〜（Ｆ）図はこの発明の一実施形態に係るエッチング方法の一例を示す断面図

【図3】（Ａ）図はレジスト膜のエッチングレートを示す図、（Ｂ）図はシリコン膜のエッチングレートを示す図

【図4】（Ａ）図はレジスト膜のエッチングレートを示す図、（Ｂ）図はシリコン窒化物膜のエッチングレートを示す図、（Ｃ）図はシリコン酸化物膜のエッチングレートを示す図

【図5】この発明の一実施形態に係るエッチング方法を実行することが可能なエッチング装置を概略的に示す断面図

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照してこの発明の一実施の形態について説明する。なお、全図にわたり、同一の部分には同一の参照符号を付す。

【0016】

図１は、半導体集積回路装置を製造している段階の多層構造体（半導体ウエハ）を示す断面図である。

【0017】

図１に示すように、シリコン基板１上には、第１のシリコン酸化物膜２が形成されている。第１のシリコン酸化物膜２上にはシリコン膜３が形成されている。シリコン膜３上にはシリコン窒化物膜４が形成されている。シリコン窒化物膜４上には第２のシリコン酸化物膜５が形成されている。

【0018】

この発明の一実施形態に係るエッチング方法では、多層構造体中に存在しているシリコン膜３を、レジスト膜又は有機膜をエッチングのマスクに用いてエッチングする。さらに、本例では、シリコン膜３の下に存在する第１のシリコン酸化物膜２についても、シリコン膜３と一括してエッチングする。

【0019】

図２Ａ〜図２Ｆは、この発明の一実施形態に係るエッチング方法の一例を示す断面図である。

【0020】

まず、図２Ａに示すように、フォトリソグラフィ法を用いて、第２のシリコン酸化物膜５上にエッチングのマスクとなるレジスト膜６を形成する。レジスト膜６については有機膜であっても良い。

【0021】

次に、レジスト膜６が形成された多層構造体を、エッチング装置の処理室内に搬入する。エッチング装置の一例については後述するが、例えば、平行平板型のプラズマエッチング装置である。多層構造体は、処理室内の載置台上に載置される。載置台は下部電極である。載置台上方にはシャワーヘッドが設けられている。シャワーヘッドは、処理室内にガス、例えば、エッチングガスや、パージガスなどを供給するとともに、上部電極としても機能する。

【0022】

次に、エッチング装置の処理室内に、エッチングガスとしてジフルオロメタン（ＣＨ_２Ｆ_２）ガスを含むエッチングガスを供給する。

【0023】

本例では、ジフルオロメタン（ＣＨ_２Ｆ_２）ガスに、窒素（Ｎ_２）ガスと、希釈ガスとしてアルゴン（Ａｒ）ガスとを混合させたガスを、処理室内に供給する。

【0024】

次に、上部電極と下部電極との間に電界を印加し、処理室内にプラズマを発生させる。これにより、所定時間経過後、まず、第２のシリコン酸化物膜５がエッチングされる（図２Ｂ）。さらに、所定時間経過後、シリコン窒化物膜４がエッチングされる（図２Ｃ）。さらに、所定時間経過後、シリコン膜３がエッチングされる（図２Ｄ）。さらに、所定時間経過後、第１のシリコン酸化物膜２がエッチングされる（図２Ｅ）。さらに、本例では、シリコン基板１の途中までエッチングが進められる（図２Ｆ）。

【0025】

図３Ａはレジスト膜６のエッチングレートを示す図、図３Ｂはシリコン膜３のエッチングレートを示す図である。

【0026】

図３Ａ及び図３Ｂは、以下のエッチング条件により得られた結果である。

【0027】

ＣＨ_２Ｆ_２流量： ５０ｓｃｃｍ
Ａｒ 流量：３００ｓｃｃｍ
Ｎ_２ 流量：２００ｓｃｃｍ
処 理 圧 力：５．３２Ｐａ（０．０４Ｔｏｒｒ）
上部電極と下部電極とのギャップ：３５ｍｍ
上部電極電力：２４００Ｗ
下部電極電力：１０００Ｗ
図３Ａに示すように、レジスト（ＰＲ）膜６のエッチングレートは、−１５．３ｎｍ／ｍｉｎであった。これは、レジスト膜６上に堆積物が堆積されて膜厚が増していることを示している。

【0028】

対して、図３Ｂに示すようにシリコン（Ｐｏｌｙ）膜３のエッチングレートは、７３．４ｎｍ／ｍｉｎである。

【0029】

このように、ＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスをエッチングガスとして用いることで、レジスト膜６とシリコン膜３との間には大きなエッチングレートの差が生ずる。このため、十分なマスク選択比をとることができる。

【0030】

図４Ａはレジスト膜６のエッチングレートを示す図、図４Ｂはシリコン窒化物膜４のエッチングレートを示す図、図４Ｃはシリコン酸化物膜２、５のエッチングレートを示す図である。

【0031】

図４Ａ〜図４Ｃは、以下のエッチング条件により得られた結果である。

【0032】

ＣＨ_２Ｆ_２流量： ５０ｓｃｃｍ
Ａｒ 流量：２００ｓｃｃｍ
Ｎ_２ 流量：２００ｓｃｃｍ
処 理 圧 力：６．６５Ｐａ（０．０５Ｔｏｒｒ）
上部電極と下部電極とのギャップ：３５ｍｍ
上部電極電力： ５００Ｗ
下部電極電力： ５００Ｗ
図４Ａに示すように、レジスト（ＰＲ）膜６のエッチングレートは、−１．４ｎｍ／ｍｉｎであった。これは、図３Ａに示す結果よりも小さい値となっているが、レジスト膜６上に堆積物が堆積されて膜厚が増していることを示している。

【0033】

対して、図４Ｂに示すようにシリコン窒化物（ＳｉＮ）膜４のエッチングレートは、６９．１ｎｍ／ｍｉｎである。

【0034】

また、図４Ｃに示すようにシリコン酸化物（Ｏｘ）膜２、５のエッチングレートは、７４．１ｎｍ／ｍｉｎである。

【0035】

このように、ＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスをエッチングガスとして用いることで、レジスト膜６とシリコン窒化物膜４との間、及びレジスト膜６とシリコン酸化物膜２、５との間にも大きなエッチングレートの差が生ずる。このため、十分なマスク選択比をとることができる。

【0036】

このような一実施形態に係るエッチング方法によれば、ＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスをエッチングガスとして用いることで、レジスト膜６がほとんどエッチングされることがない、あるいは逆にレジスト膜６上に堆積物が堆積されて膜厚が増す。このため、レジスト膜６又は有機膜をエッチングのマスクに用いて、多層構造体中の深いところに存在しているシリコン膜３をエッチングでき、さらにシリコン膜３の下に存在する第１のシリコン酸化物膜２についても、シリコン膜３と一括してエッチングすることが可能となる、という利点を得ることができる。

【0037】

次に、この発明の一実施形態に係るエッチング方法を実行することが可能なエッチング装置の一例を説明する。

【0038】

図５は、この発明の一実施形態に係るエッチング方法を実行することが可能なエッチング装置を概略的に示す断面図である。

【0039】

図５に示すように、エッチング装置１００は、平行平板型のプラズマエッチング装置である。エッチング装置１００は、エッチングガスを用いて、被処理体、本例では半導体ウエハＷに処理を施す処理室１０２と、処理室１０２にエッチングガスなどのガスを供給するガス供給源１０３とを備えている。ウエハＷには、例えば、図２Ａに示したような多層構造体が形成されている。

【0040】

処理室１０２内には、ウエハＷを載置する載置台１０４、及び載置台１０４に対向して配置され、処理室１０２の内部にエッチングガスなどの処理ガスを吐出する処理ガス吐出部、本例ではシャワーヘッド１０５が設けられている。シャワーヘッド１０５は平行平板の上部電極を構成しており、整合器１０６を介して第１の高周波電源１０７に接続される。第１の高周波電源１０７は、例えば４０ＭＨｚ以上、例えば６０ＭＨｚの高周波電圧を出力する。一方、載置台１０４は平行平板の下部電極を構成しており、本例では、整合器１０８を介して第２の高周波電源１０９に接続される。第２の高周波電源１０９は、例えば２ＭＨｚ〜２０ＭＨｚの範囲、例えば１３．５６ＭＨｚの周波数の高周波電圧を出力する。

【0041】

また、処理室１０２は、排気口１１０を介して排気装置１１１に接続されている。処理室１０２は内部を所望の真空度に減圧できる真空容器として構成されている。排気装置１１１は、真空容器として構成された処理室１０２の内部を排気し、処理室１０２の内部を所望の真空度に減圧する。

【0042】

エッチング装置１００は、例えばマイクロプロセッサ（コンピュータ）からなるプロセスコントローラ１１２により制御される。プロセスコントローラ１１２には、ユーザーインターフェース１１３、及び記憶部１１４が接続されている。ユーザーインターフェース１１３は、オペレータがエッチング装置１００を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、エッチング装置１００の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等が含まれている。記憶部１１４には、エッチング装置１００で実行される処理を、プロセスコントローラ１１２の制御にて実現する制御プログラムや、処理条件に応じてエッチング装置１００の各構成部に処理を実行させるためのプログラム、即ちレシピが格納される。レシピは、例えば、記憶部１１４の中の記憶媒体に記憶される。記憶媒体は、ハードディスクや半導体メモリであってもよいし、ＣＤ-ＲＯＭ、ＤＶＤ、フラッシュメモリ等の可搬性のものであってもよい。また、他の装置から、例えば専用回線を介してレシピを適宜伝送させるようにしてもよい。レシピは、必要に応じて、ユーザーインターフェース１１３からの指示等にて記憶部１１４から読み出され、読み出されたレシピに従った処理をプロセスコントローラ１１２が実行することで、エッチング装置１００は、コントローラ１１２の制御のもと、上記一実施形態に従ったエッチング方法を実行する。

【0043】

ガス供給源１０３は、上記一実施形態に従ったエッチング方法を実行可能とするために、ＣＨ_２Ｆ_２ガス供給部１０３ａ、Ｎ_２ガス供給部１０３ｂ、Ａｒガス供給部１０３ｃを備えている。

【0044】

上記一実施形態に係るエッチング方法は、このようなエッチング装置１００を用いて実行することができる。

【0045】

以上、この発明の一実施形態によれば、多層構造体中にあるシリコン膜であっても、レジスト膜や有機膜をマスクに用いてエッチングすることが可能であり、かつ、シリコン膜、及びこのシリコン膜の下に存在するシリコン酸化物膜を一括してエッチングすることも可能なエッチング方法及びエッチング装置を提供できる。

【0046】

なお、この発明は上記一実施形態に限定されることなく種々変形可能である。また、この発明の実施形態は上記一実施形態が唯一の実施形態でもない。

【0047】

例えば、上記一実施形態では、レジスト膜６又は有機膜をエッチングのマスクに用い、エッチングガスとしてＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスを用いて、多層構造体中の第２のシリコン酸化物膜５、シリコン窒化物膜４、シリコン膜３及び第１のシリコン酸化物膜２を一括してエッチングする例を示した。

【0048】

しかし、第２のシリコン酸化物膜５が無い場合でも、レジスト膜６又は有機膜をエッチングのマスクに用い、エッチングガスとしてＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスを用いて、多層構造体中のシリコン窒化物膜４、シリコン膜３及び第１のシリコン酸化物膜２を一括してエッチングするようにしても良い。

【0049】

さらに、シリコン窒化物膜４が無い場合でも、レジスト膜６又は有機膜をエッチングのマスクに用い、エッチングガスとしてＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスを用いて、多層構造体中のシリコン膜３及び第１のシリコン酸化物膜２を一括してエッチングするようにしても良い。

【0050】

また、第２のシリコン酸化物膜５がシリコン酸化物以外の膜であった場合や、シリコン窒化物がシリコン窒化物以外の膜であった場合には、この膜をエッチングすることが可能なエッチングガスを処理室に供給し、この膜のエッチングが終わったら、エッチングガスをＣＨ_２Ｆ_２ガスを含むエッチングガスに切り換えて、多層構造体中のシリコン窒化物膜４、シリコン膜３及び第１のシリコン酸化物膜２を一括してエッチングすることも可能である。

【符号の説明】

【0051】

１…シリコン基板、２…第１のシリコン酸化物膜、３…シリコン膜、４…シリコン窒化物膜、５…第２のシリコン酸化物膜、６…レジスト膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】