特許5725101円筒形スパッタリングターゲットの製造方法

発明の名称　円筒形スパッタリングターゲットの製造方法

出願人　東ソー株式会社　（識別番号 3300）

　　　　特許公開件数ランキング 112 位（267件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 94 位（282件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5725101

公報発行日　2015年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5725101

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