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特許5725574マイクロ波導波装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
発明の名称 マイクロ波導波装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 20 位（769件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人名古屋大学 （識別番号 504139662）
特許公開件数ランキング 267 位（189件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 257 位（177件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5725574
公報発行日 2015年5月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5725574
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