特許5733263変性ポリヒドロキシスチレン樹脂及びその製造方法並びにレジスト材料

発明の名称　変性ポリヒドロキシスチレン樹脂及びその製造方法並びにレジスト材料

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 65 位（386件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（380件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5733263

公報発行日　2015年6月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5733263

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