特許第5741163号(P5741163)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5741163石英ガラスルツボ及びその製造方法、並びにシリコン単結晶の製造方法
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  • 特許5741163-石英ガラスルツボ及びその製造方法、並びにシリコン単結晶の製造方法 図000003
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