特許 5753567 流体の分配システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5753567

(24)【登録日】2015年5月29日

(45)【発行日】2015年7月22日

(54)【発明の名称】流体の分配システム

(51)【国際特許分類】

   B65D 83/00 20060101AFI20150702BHJP

   B65D 77/04 20060101ALI20150702BHJP

   B67D 99/00 20100101ALN20150702BHJP

【ＦＩ】

   B65D83/00 L

   B65D77/04 B

   !B67D99/00

【請求項の数】13

【全頁数】31

(21)【出願番号】特願2013-236120(P2013-236120)

(22)【出願日】2013年11月14日

(62)【分割の表示】特願2010-523138(P2010-523138)の分割

【原出願日】2008年8月28日

(65)【公開番号】特開2014-37276(P2014-37276A)

(43)【公開日】2014年2月27日

【審査請求日】2013年11月14日

(31)【優先権主張番号】60/968,510

(32)【優先日】2007年8月28日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】60/992,292

(32)【優先日】2007年12月4日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】61/025,547

(32)【優先日】2008年2月1日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】61/068,030

(32)【優先日】2008年3月4日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(74)【代理人】

【識別番号】100142907

【弁理士】

【氏名又は名称】本田 淳

(72)【発明者】

【氏名】レイズ、ジョン エー．

(72)【発明者】

【氏名】ヘネン、ジョン エム．

(72)【発明者】

【氏名】ジョンソン、マイケル エル．

【審査官】 会田 博行

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０２−１５２５７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２０５９７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−２６９６８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−１８７８７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−２４７４９９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｄ ８３／００

Ｂ６５Ｄ ７７／００

Ｂ６７Ｄ ９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体を分配する分配システムであって、
前記流体を収容する内側可撓性容器は外面と外周部とを有し、
前記内側可撓性容器を包囲する外側可撓性容器はシール線に沿って結合される内部及び外部により該内部及び外部間に加圧室を形成し、前記外側可撓性容器が折り畳まれて、該内部は内側可撓性容器の前記外面と接触しており、
前記内側可撓性容器の外周部は前記外側可撓性容器のシール線近傍において外側可撓性容器に結合されていることを特徴とする分配システム。

【請求項2】

前記内側可撓性容器は取付タブを有し、
前記外側可撓性容器はシーム許容部を有し、
記内側可撓性容器の取付タブは外側可撓性容器はシーム許容部に取付けられていることを特徴とする請求項１の分配システム。

【請求項3】

前記内側可撓性容器の取付タブは貫通穴を備え、
前記シーム許容部の一方の部分は、取付タブに対して貫通穴を基準とした一方の側に配置されるとともに、シーム許容部の他方の部分は、取付タブに対して貫通穴を基準とした他方の側に配置され、
前記シーム許容部の一方の部分はシーム許容部の他方の部分に対して貫通穴を通して取付けられていることを特徴とする請求項２の分配システム。

【請求項4】

前記内側可撓性容器に対して動作可能に取付けられ、内側可撓性容器に対して流体を出入させる内側連結具と，
前記外側可撓性容器に対して動作可能に取付けられ、外側可撓性容器に対して流体を出入させる外側連結具と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の分配システム。

【請求項5】

前記内側可撓性容器と外側可撓性容器とは格納容器内に収納され、
前記内側連結具と外側連結具は連結具アセンブリを構成し、同連結具アセンブリは内側連結具と外側連結具との間において格納容器内の流体を放出することを特徴とする請求項４の分配システム。

【請求項6】

前記流体はガスである請求項４の分配システム。

【請求項7】

前記内側可撓性容器はペルフルオロアルコシキよりなることを特徴とする請求項１の分配システム。

【請求項8】

前記外側可撓性容器はポリエチレンよりなることを特徴とする請求項１の分配システム。

【請求項9】

前記内側可撓性容器は０．２５ｍｍ未満の厚みを有するポリテトラフルオロエチレンよりなる第１のシート材料からなり、
前記内側可撓性容器の外面はポリテトラフルオロエチレンよりもガス透過性低く、かつ０．２５ｍｍ未満の厚みを有する第２のシート材料よりなる外部可撓性材料にてシールされていることを特徴とする請求項１の分配システム。

【請求項10】

流体を分配する分配システムであって、
前記流体を収容する内側可撓性容器は外面を有し、
前記内側可撓性容器を包囲する外側可撓性容器はシール線に沿って結合される内部及び外部により該内部及び外部間に加圧室を形成し、前記外側可撓性容器が折り畳まれて、該内部は内側可撓性容器の両側において前記内側可撓性容器の前記外面と接触しており、
前記内側可撓性容器に対して動作可能に取付けられ、内側可撓性容器に対して流体を出入させる内側連結具を設け、
前記外側可撓性容器に対して動作可能に取付けられ、外側可撓性容器に対して流体を出入させる外側連結具を設け、
前記内側連結具と外側連結具は連結具アセンブリを構成し、同連結具アセンブリは内側連結具と外側連結具との間において格納容器内の流体を放出することを特徴とする分配システム。

【請求項11】

前記連結具アセンブリが係合し、さらには内側可撓性容器と外側可撓性容器とが収納される格納容器を有する請求項１０の分配システム。

【請求項12】

流体を分配する分配システムであって、
前記流体を収容する第１の可撓性容器は外面を有し、
前記第１の可撓性容器を包囲する第２の外側可撓性容器はシール線に沿って結合される内部及び外部により該内部及び外部間に加圧室を形成し、前記外側可撓性容器が折り畳まれて、該内部は第１の可撓性容器の両側において前記第１の可撓性容器の前記外面と接触しており、
前記第１の可撓性容器に対して動作可能に取付けられ、第１の可撓性容器に対して流体を出入させ、さらには外側可撓性容器に対して動作可能に取付けられ、外側可撓性容器に対して流体を出入させる連結具アセンブリを設け、
前記連結具アセンブリは第１の可撓性容器及び第２の外側可撓性容器内に延びることなく、連結具アセンブリを通過して延びるガス通路を有することを特徴とする分配システム。

【請求項13】

前記連結具アセンブリが係合し、さらには内側可撓性容器と外側可撓性容器とが収納される格納容器を有する請求項１２の分配システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は液体の封じ込めのための可撓性プラスチック材料の分野に関する。とりわけ、本発明は、加圧流体を供給することにより、分配流体を分配する方法、装置、分配システム、及び構成部品に関する。

【背景技術】

【0002】

剛性容器に保持される折り畳み式容器の概念は、長年に亘り実践されてきた。これらの概念は、可撓性プラスチック袋を備えた厚紙コーヒー用トートバッグ等の比較的単純なものから、専門の二重壁密封容器に入れられた危険な或いは極めて純粋な化学物質を扱うためのより複雑なシステムに及び得る。構成に拘わらず、一般的な原則は、袋又はポーチの内容物が抜き取られ或いは分配されると折り畳むポーチ又は袋の形態をなす可撓性容器を含む。可撓性容器は、可撓性ポーチ又は袋を支持及び保護すると共に、袋又はポーチを折り畳むために使用される加圧流体を収容するために使用される箱、ドラム、又はボトル等の剛性外側容器に入れられる。

【0003】

様々な改良型折り畳み式容器の構成が示唆されており、且つ特許権が与えられてきた。容器内折り畳み袋の構成の一例には、ブエ（Ｂｏｕｅｔ）の特許文献１、スマーノフ（Ｓｍｅｒｎｏｆｆ）の特許文献２、タケザワ（Ｔａｋｅｚａｗａ）等の特許文献３を含み、それら各々は、そこに含まれる明示的な限定を除き、それらを参照することにより、本明細書に組み込まれる。様々なボトル内袋の構成はまた、化学物質容器の構成でも企図されている。代表的な例には、ウルフ（Ｗｏｌｆ）等の特許文献４、オスガー（Ｏｓｇａｒ）等の特許文献５、ラウウォース（Ｒａｕｗｏｒｔｈ）等の特許文献６、及びオルセン（Ｏｌｓｅｎ）等の特許文献７を含み、それら各々は、そこに含まれる明示的な限定を除き、それらを参照することにより、本明細書に組み入れられる。

【0004】

加えて、容器アセンブリから可撓性袋の内容物を抜き取るための１又は複数の方法を使用する様々な代替構成が、利用されてきている。これらの構成の一例には、キンナビー（Ｋｉｎｎａｖｙ）の特許文献８、ゴーツ（Ｇｏｒｔｚ）等の特許文献９、クレドル（Ｃｒｅｄｌｅ）の特許文献１０、ローリンズ（Ｒａｗｌｉｎｓ）の特許文献１１、オスガー（Ｏｓｇａｒ）等の特許文献１２、メカタ（Ｍｅｋａｔａ）の特許文献１３、ウェーテンバーガ（Ｗｅｒｔｅｎｂｅｒｇｅｒ）の特許文献１４、及びウェーテンバーガの特許文献１５を含み、それら各々は、そこに含まれる明示的な限定を除き、それらを参照することにより、本明細書に組み入れられる。これらの形態は、半導体加工業界、例えばフォトレジストにおいて、とりわけ純度の高い流体を分配するのに最適な性能、及び清潔さをもたらしていない。一般的に、加圧流体は、内側分配袋及び剛性外側容器の間の空間に供給される。このような構成において、内袋は、非均一的に折り畳み得、過剰な量の流体を、内袋に留まらせて、流体の完全な分配を阻止する。廃棄される流体はまた、内袋に関連する再循環及び廃棄問題を悪化させる。

【0005】

ボトル内袋分配器は、フォトレジストを分配するために、フォトリソグラフィの業界で広く使われている。加圧流体がガス（例えば窒素）である場合において、ガスは、分配フォトレジストと適合する材料（例えばフルオロポリマー）からなる可撓性容器の壁を貫通し得ることが分かっている。従って、加圧流体が、分配液体を保持する可撓性容器と直接的に接触しているシステムにおいて、加圧ガスが可撓性容器内へ拡散し得ることにより、収容された分配流体内でマイクロバブルが形成すると共に、分配流体が汚染する。

【0006】

フルオロポリマーベース材料は、夫々の材料の実質的に異なる溶融温度に部分的に起因
して、高度なガス不透過材料（例えばポリエチレン）と結合するのが困難である。ガス拡散問題に取り組む最近の行動には、フルオロポリマーベース材料の廃棄、及び二重壁を備えた単一可撓性袋の供給が含まれており、内壁は、清潔なポリエチレンであると共に、外壁は、ガスの透過に抵抗するポリエチレン／ナイロンラミネートである。ポリエチレンベース材料は、内壁の外壁への結合工程における適合性に対して選択された。しかしながら、内壁のフォトレジストへの耐性は、不適当であることが分かった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】米国特許第３，２２３，２８９号明細書

【特許文献2】米国特許第５，３７７，８７６号明細書

【特許文献3】米国特許第５，５６２，２２７号明細書

【特許文献4】米国特許第４，７９３，４９１号明細書

【特許文献5】米国特許第５，１０２，０１０号明細書

【特許文献6】米国特許第５，５９７，０８５号明細書

【特許文献7】米国特許第６，１５８，８５３号明細書

【特許文献8】米国特許第３，４６７，２８３号明細書

【特許文献9】米国特許第３，７６７，０７８号明細書

【特許文献10】米国特許第４，４４５，５３９号明細書

【特許文献11】米国特許第４，９２５，１３８号明細書

【特許文献12】米国特許第６，２０６，２４０号明細書

【特許文献13】米国特許第６，３４５，７３９号明細書

【特許文献14】米国特許第６，６９８，６１９号明細書

【特許文献15】米国特許第６，９４２，１２３号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

費用及び汚染が最小減である一方で、機器の保全、使用の柔軟性、及び容器内容物の予想どおりの抜き取り容易性を最大限にする改良された構成を突き止めることの必要性が残る。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の様々な態様には、格納容器に載置され、従来技術の機器においてよりも、効率的且つ完全に容器から流体を分配する内側及び外側可撓性容器を含む。他の実施形態には、内側可撓性容器からの流体の抜き取りのために、外側可撓性容器の加圧のための分配ヘッドと協働するキャップアセンブリを含んでよい。キャップは、格納容器に入れられる流体の種類を特定するようにコード化されたキーコード機器を伴い構成されてよく、且つキーコード機器と適合するように構成された分配ヘッドのみと協働する。分配ヘッドは、迅速且つ容易な係合及び開放のために、キャップと係合するカムを伴い構成されてよい。カムは、完全係合位置にある時に、ハンドルのいずれの部分も、格納容器のフットプリントを超えて延出しないように成形されるハンドルによって駆動させられてよい。分配ヘッドはまた、キャップから内側可撓性容器まで延出すると共に、流体が抜き取られる先端に入口を有するステム即ち浸漬管を含んでよい。浸漬管は、外側に形成される通路即ち溝を含んでよく、浸漬管の入口を通る抜き取りのために、下方へ排出させるように、浸漬管に妨げられかねない流体ポケットの通り道をもたらす。

【0010】

一実施形態において、分配流体を入れる内側可撓性容器は、フルオロポリマーのような耐薬品高分子の部材を含んでよい。例えば、ピンホールフリーペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）材料が、流体の汚染及び漏出を阻止する不活性分子特性に起因して、フォトレジスト等の化学物質を入れるのに好ましい。内側可撓性容器は、矩形、八角形、又は他の特
別に整形されたＰＦＡ材料のシート又は部材の中央にある穴に、分配連結具を封止させることにより形成され得る。ＰＦＡ部材は、半分にされた２つが、開放された側の端縁において、合わせて封止され得るように、半分に折り畳まれてよく、分配連結具が容器の上端に位置決めされた状態で、内側可撓性容器を形成する。外側可撓性容器は、ポリエチレン（ＰＥ）又は他の可撓性不透過材料の２個のシート（内側及び外側部材）の中央に近接する穴に封止される別個の外側連結具を含んでよい。

【0011】

外側可撓性容器の内側及び外側部材の外縁は、内側可撓性容器のシートよりも大きい寸法を有してよいが、同様の形状であってよい。内側及び外側部材の縁は、外側可撓性容器を形成するために、封止され得る。連結具は、内側可撓性容器の内側連結具が、外側連結具の中心路を通過し得るように構成されてよい。外側連結具は、加圧ガス（例えば窒素）又は他の流体が、外側可撓性容器に噴射されるのを可能にする。外側可撓性容器は、２個の連結具が合わせて接合された時に、内側可撓性容器の周りで鞍形状を作るように、半分に折り畳まれ得る。

【0012】

組み立てられた内側及び外側可撓性容器（本明細書では「バッグインバッグアセンブリ」とも呼ぶ）は、内側可撓性容器を鞍形外側可撓性容器に接合することにより、合わせて溶着されてよい。内側及び外側可撓性容器に異なる材料（例えばＰＦＡ及びＰＥ）が利用される場合には、溶融温度の相違は、単に溶融によりそれらを合わせて溶接することを妨げるかもしれない。しかしながら、内側及び外側可撓性容器は、内側可撓性容器の縁の周りの選択された点で、複数の貫通穴をあけると共に、外側可撓性容器の２個の鞍形部分を、複数の穴を介して互いに連結させることにより、接合され得る。本実施形態の結果的な形態は、加圧容器の２個の部分の間に挟持される中心分配容器を有する。外側可撓性容器の２個の鞍形部は、互いに流体連通していてよい。分配ヘッドは、分配流体の進入／進出通行、加圧流体の入口ポート、及び容器の間に妨げられたガスの排出をもたらすために、連結具に封止するように取り付けられる。

【0013】

バッグインバッグアセンブリは、次に、内容物の保管、輸送、充填、及び分配を促すために、格納容器に載置され得る。格納容器は、加圧された時に、外側可撓性容器が、内側可撓性（分配）容器に接して内方へ伸びるように、外側可撓性（加圧）容器の外側への移動を制限して、液体を、内側連結具を通り進出させるために、内側可撓性容器内に押しやる。

【0014】

内側分配容器及び外側加圧容器の連結具は、同心配置で協働するように構成されてよい。更に、通気路は、可撓性容器及び格納容器の中間にある空間に、連結具を介して設けられ得る。

【0015】

上述される本発明の実施形態の効果としては、加圧流体が分配容器と直接接触しないことである。本発明の特定の実施形態は、内側可撓性容器及び加圧流体の間に、高いガス不透過性を有する材料の障壁をもたらす。高いガス不透過性を有する障壁を設けることにより、分配液体におけるマイクロバブルの形成を著しく低減させることが、実験により証明されている。

【0016】

本発明の特定実施形態の更なる利点としては、内側分配容器は、実質的に均一且つ平坦に構成されてよく、内容物の完全な分配を可能にする。特定実施形態の更なる特徴及び効果としては、格納容器は密封される必要はないが、幾つかの実施形態において、密封された格納容器は、分配容器のために、別の収容層を設けるためのものであってもよい。更に、内側及び外側連結具と格納容器の間のシール、並びに加圧容器と格納容器の間のシールは、幾つかの実施形態において、それ程厳密でなくてもよい。

【0017】

幾つかの実施形態において、内側流体分配容器は、２個の別個の袋の間に挟持されてよく、各袋は、加圧流体源への取り付けのために、別個の連結具を有する。
幾つかの実施形態において、分配容器は、加圧袋に隣接して載置されてよい。流体（例えば窒素）を加圧袋に噴出することにより、分配袋は、加圧袋及び格納容器の間で加圧させられる。これはまた、分配袋の均一な潰れ、完全な分配、及び加圧流体の分配袋からの隔離という特徴及び効果をもたらし得る。

【0018】

特定実施形態において、内側可撓性容器は、外側可撓性容器の内部に載置されてよい。加圧が、外側可撓性容器の内側に適用されることにより、加圧流体は、内側可撓性容器の外面に直接作用してよい。

【0019】

或いは、加圧流体は、抜き取り力を付与するために、外側可撓性容器の外面及び格納容器の間に付与されてよい。外側可撓性容器は、次に、ガスに対して不透過性を有する障壁として作用することにより、内側容器への保護をもたらす。

【0020】

更なる変形において、３個の同心配置される可撓性容器が、格納容器に装備されてよく、内側可撓性分配容器は、第２可撓性容器に入れられると共に、第２可撓性容器は、第３可撓性容器内に入れられる。３個の可撓性容器全ては、格納容器に入れられる。加圧流体は、第２及び第３袋の間の空間に噴出させられてよく、これにより、加圧流体を、内側分配袋並びに格納容器との接触から切り離す。

【0021】

更なる実施形態において、複数の加圧袋は、分配袋に隣接して載置されてよい。加圧袋は、完全な分配を促すために、段階的に加圧させられてよい。例えば、格納容器の下側内部における１個又は複数の袋は、その上方にある隣接する袋の前に、加圧させられてよい。この連続は、圧力容器の外部で制御され得、或いは袋は、順次加圧／膨張を行うように構成され得る。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施形態における分配システムの概略図。

【図2】本発明の一実施形態におけるボトル内バッグインバッグアセンブリを示す斜視図。

【図2A】図２のボトル内バッグインバッグアセンブリのキャップを示す隔離図。

【図2B】図２のボトル内バッグインバッグアセンブリを示す断面図。

【図3A】本発明の一実施形態における単一片外側連結具を示す斜視切り取り図。

【図3B】本発明の一実施形態における２個片外側連結具を示す斜視切り取り図。

【図4】本発明の一実施形態における内側分配連結具を示す斜視図。

【図5】本発明の一実施形態における組み立てられた内側可撓性容器を示す側面図。

【図6】本発明の一実施形態における２個の側部を有する組み立てられた外側可撓性容器を示す端面図。

【図7】図６の組み立てられた外側可撓性容器を示す側面図。

【図8】内側可撓性容器を受け入れるために、一部が外側に広げられた図６の組み立てられた外側可撓性容器を示す側面図。

【図9】組み立てられた外側可撓性容器の２個の側部の間に挿入されている図６の組み立てられた内側可撓性容器を示す側面図。

【図10】本発明の一実施形態における溶接されたアセンブリを示す端面図。

【図11】図１０の溶接されたアセンブリを示す側面図。

【図12】本発明の一実施形態におけるバッグインバッグアセンブリのアセンブリを示す斜視図。

【図13】図１２のバッグインバッグアセンブリを示す別の斜視図。

【図14】図１２のバッグインバッグアセンブリの組み立てられた連結具を示す上面図。

【図15】本発明の一実施形態における取り付けＲＦＩＤ機器を備えた図１２のバッグインバッグアセンブリを示す側面図。

【図16】本発明の一実施形態における格納容器内部に収容された図１３のバッグインバッグアセンブリを示す断面図。

【図17】本発明の一実施形態において、容器からの様々な液体抜き取り程度でのボトル内バッグインバッグアセンブリを示す側面図。

【図18】本発明の一実施形態において、容器からの様々な液体抜き取り程度でのボトル内バッグインバッグアセンブリを示す側面図。

【図18A】複数の軸方向に整列させられた加圧袋を備えたアセンブリを示す断面図。

【図19】本発明の一実施形態において、容器からの様々な液体抜き取り程度でのボトル内バッグインバッグアセンブリを示す側面図。

【図20】図１９のボトル内バッグインバッグアセンブリを示す側面図。

【図21】作動中における図１８のボトル内バッグインバッグアセンブリを示す部分断面図。

【図22】本発明の一実施形態における外装袋アセンブリを示す図。

【図23】本発明の一実施形態における外装袋アセンブリを示す図。

【図24】本発明の一実施形態における封じ込めガスケット密封キャップを備えたキャップシステムを示す図。

【図25】本発明の一実施形態における切頭体プラグを有する密封キャップを示す部分断面図。

【図26】本発明の一実施形態における封じ込めガスケット及び操作ループを有するキャップを備えたボトルを示す部分断面図。

【図27】図２６のキャップを示す部分切り取り斜視図。

【図28】本発明の一実施形態におけるボトル内バッグインバッグアセンブリ及び成形カム作動分配ヘッドを示す部分斜視図。

【図29】本発明の一実施形態におけるボトル内バッグインバッグアセンブリ及び成形カム作動分配ヘッドを示す部分斜視図。

【図30】カム作動分配ヘッドが取り除かれた状態における図２９のボトル内バッグインバッグアセンブリを示す部分斜視図。

【図31】図３０の成形カム作動分配ヘッドを示す分解組立図。

【図32A】図３０のボトル内バッグインバッグ機器を備えたアセンブリのカム作動分配ヘッドを示す部分断面図。

【図32B】本発明の一実施形態における２片外側連結具を有するボトル内バッグインバッグ機器を備えたアセンブリのカム作動分配ヘッドを示す部分断面図。

【図33】分配ヘッド及びボトル内バッグインバッグ機器であって、分配ヘッドは、本発明の一実施形態における伸長浸漬管を有する部分斜視図。

【図34A】本発明の一実施形態において、作動の完全開放及び完全係合段階におけるカム作動分配ヘッドを示す断面図。

【図34B】本発明の一実施形態において、作動の完全開放及び完全係合段階におけるカム作動分配ヘッドを示す断面図。

【図35】完全係合位置における図２９のボトル内バッグインバッグアセンブリを示す正面図。

【図36】図２９のボトル内バッグインバッグアセンブリを示す上面図。

【図37】本発明の一実施形態において、ハンドルを所定位置で固定するために戻り止めと協働する溝及びソケット構造を備えたスナップロックハンドルを有する分配ヘッドを示す分解組立図。

【図37A】図３７のスナップロックハンドルの溝及びソケット構造を示す拡大部分図。

【図37B】完全係合及び完全解放位置夫々における図３７の分配ヘッドを示す部分切り取り正面図。

【図37C】完全係合及び完全解放位置夫々における図３７の分配ヘッドを示す部分切り取り正面図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

図１を参照すると、リソグラフィ加工装置７４に配給するために分配システム７２を含むフォトリソグラフィシステム７０が、本発明の一実施形態において示されている。分配システム７２は、受け器８２に載置されるボトル内バッグインバッグ機器１００に作動結合される圧力源８０を含む。圧力源８０及びボトル内バッグインバッグ機器１００の制御及び監視のために、加工制御装置８４が、分配システム７２に作動結合されてもよい。

【0024】

図２、図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、可撓性バッグインバッグアセンブリ１０２、格納容器１０４、及びキャップアセンブリ１０６を含むボトル内バッグインバッグ機器１００の典型的な実施形態が、本発明の一実施形態において示されている。バッグインバッグアセンブリ１０２は、外側連結具１１２ａの内部に収められる内側分配連結具１１０と、第２即ち外側二重壁可撓性容器１１８に収められる内側即ち第１可撓性容器１１４とを含む。内側分配連結具１１０は、内側可撓性容器１１４と結合される。外側連結具１１２ａは、外側可撓性容器１１８と結合される。内部空隙１１６は、外側可撓性容器１１８の内容物が、内側可撓性容器１１４の壁から隔離されるように、外側可撓性容器１１８の二重壁によって形成される。

【0025】

格納容器１０４は、バッグインバッグアセンブリ１０２の保管及び輸送に適当な硬質プラスチック材料から構成されてよい。格納容器１０４は、格納容器１０４への口部を画定すると共に、固定されるキャップアセンブリ１０６と係合する頚部１０５を伴い構成され得る。頚部１０５は、キャップアセンブリ１０６を格納容器１０４に固定するために、ねじ１０７等の構造を含んでよい。代替実施形態には、必要に応じてガラス、ステンレス鋼、又は他の材料から構成される容器と、ねじ以外の嵌め合い構造とを含み得る。

【0026】

キャップアセンブリ１０６は、概して、容器を密封するために、格納容器１０４の材料と同一の硬質プラスチック材料、或いは他の適切な材料、例えばフルオロポリマーから構成される。キャップアセンブリ１０６は、内側分配連結具１１０及び外側連結具１１２ａへの容易な接近のために、剥離接近カバー１２０を含み得る。剥離カバー１２０は、キャップアセンブリ１０６からのカバー１２０の除去を補うために、タブ（図示なし）又はリング１２２を含み得る。

【0027】

図３Ａ、図３Ｂ、及び図４を参照すると、外側連結具１１２ａ及び内側分配連結具１１０の実施形態が示される。外側連結具１１２ａは、内面１３０．２を有する中空中心路１３０を画定する中心部１２９を含んでよい。中空中心路１３０は、２個の連結具及びそれらと連結された可撓性容器１１４，１１８が合わせて嵌め合わされた時に、内側分配連結具１１０を受入れるように寸法が決められてよい。

【0028】

外側連結具１１２ａの内面１３０．２は、迂回溝１３０．６が内部に形成された心出し構造１３０．４を含んでよい。外側連結具１１２ａはまた、流体を、外側連結具１１２ａの基部１３６にある複数の開口１３４を通り、外側可撓性容器１１８の内部空隙１１６へ分配するために、外側連結具１１２ａ及び連結入口／出口ポート１３２及び１３４を通り延出する複数の加圧供給路１３１を有し得る。

【0029】

外側連結具１１２ａは単一片であってよく（図３Ａ）、且つ外側可撓性容器１１８の内面を受け入れると共に密封する基部１３６の基部フランジ１３７を含むことにより、内部
空隙１１６を構成する空間は、窒素ガスのような加圧流体３４２により加圧可能である。外側連結具１１２ａはまた、中心部１２９から半径方向に延出する第２フランジ部１３５を含み、第２フランジ部１３５は、上方対向面及び下方対向面を有し、それらのいずれかは、外側可撓性容器１１８を受け入れ且つ密封し得る（図２Ｂ）。外側連結具１１２はまた、橋構造１３８を含んでよく、橋構造１３８は、格納容器１０４内で組み立てられた時に、頚部１０５から橋構造１３８を支持するように構成される先端部１３９を有する。橋構造１３８は、連続環状導管１４１を画定するために、中空中心路１３０の外部と協働してよい。

【0030】

或いは、外側連結具１１２ｂは、２片構造を含んでよく（図３Ｂ）、橋構造１３８は、中心部１２９から隔離して形成される。橋構造１３８は、橋構造１３８を中心部１２９に固定するために、中心部１２９から半径方向に突出する戻り止め１３９．２と協働してよい。橋構造１２８は、橋構造１２８が組立ての間において、戻り止め１３９．２を通過する時に弾性変形を増大させる湾曲溝１３９．４を含んでよい。橋構造１３８の先端部１３９は更に、橋構造を特定の配向において、格納容器１０４と互いに整合するために、格納容器１０４の嵌め合い構造と協働する１個又は複数の切欠１３９．６を含んでよい。図示される実施形態において、入口ポート１３２は、基部１３６から半径方向に延出する出口ポート１３９．８と連通してよい（更なる細部のために、考察付随物図３２Ｂを参照）。また注目する点として、図３Ｂに提示される構成は、図３Ａの第２フランジ１３５と類似する構造を有することなく、基部フランジ１３７を有する。

【0031】

内側分配連結具１１０（図４）は、基部１４２から延出すると共に、内側可撓性容器１１４の内容物を分配するために、中空中心路１１１を画定する上部１４０を含んでよい。内袋を構成する高分子部材１１４．４（図２Ｂ）は、溶接によってなどして、内側分配連結具１１０の上方対向面１４２．１に密封固定されてよい。一実施形態において、内側分配連結具１１０の上部１４０は、外側連結具１１２ａ又は１１２ｂの長さと少なくとも等しく、キャップ１０８が内側分配連結具１１０を密封し得るように、内側分配連結具１１０が、外側連結具１１２ａ又は１１２ｂの中空中心路１３０を通り延出することを可能にする。一実施形態において、内側分配連結具１１０の上部１４０及び中空中心路１１１は、迂回溝１３０．６を介して周囲に通気する環状通気路１１３（図２１）を画定するように協働する。内側分配連結具１１０の基部１４２は、外側連結具１１２ａ又は１１２ｂの基部１３６に固定されてよい。様々な実施形態において、内側分配連結具１１０は、戻り止め、締り嵌め、接着によって、又は２個の構成部品を合わせて確実に接合する他の機構によって、外側連結具１１２ａ又は１１２ｂに固定されてよい。

【0032】

外側連結具１１２ａ又は１１２ｂはまた、第２フランジ部１３５及び橋構造１３８の間に配置されると共に、中心部１２９を貫通する１個又は複数の半径方向穴１３３を含んでよい。本実施形態において、半径方向穴１３３は、外側可撓性容器１１８及び格納容器１０４の間に封じ込められかねないガスが、環状通気通１１３を介して通気させられるのを可能にする。

【0033】

図２及び図２Ｂの複数の袋の形態は、可能な一実施形態において、３個の独立した同心配置される袋１１７．１，１１７．２及び１１７．３を含み、第１袋１１７．１は、フォトレジスト等の分配流体を受け入れ、保管し、且つ分配する。第２袋１１７．２は、第１袋を入れ、また第３袋１１７．３は、第２袋１１７．２を入れている。加圧流体は、第２袋１１７．２及び第３袋１１７．３の間（即ち、第２及び第３袋１１７．２及び１１７．３の間の内部空隙１１６）に噴射されてよい。第１袋１１７．１及び第２袋１１７．２の間の空間１１７．５は、環状通気路１１３を通り、外部へ通気させられ得る。この通気は、第１袋１１７．１を通るガスの透過に起因して、内部即ち第１袋１１７．１におけるマイクロバブルの形成を阻止するのに好ましい。代替実施形態において、内部空隙１１６を
含む外側可撓性容器１１８を形成する中間及び外側部材は、以下に説明されるように構成されてよい単一の袋を含む。

【0034】

図５を参照すると、内側可撓性容器１１４が、本発明の一実施形態において示されている。バッグインバッグアセンブ１０２の様々な実施形態は、概して、２個の別個の可撓性容器、即ち内側可撓性容器１１４及び外側可撓性容器１１８から構成される。内側可撓性容器１１４は、材料１０３の矩形、八角形、又は他の特別に整形されたシートの中央にある穴において、内側分配連結具１１０を密封することにより形成され得る。

【0035】

材料１０３のシートは、ペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）又は他の適当なフルオロポリマー材料を含んでよい。一般的には、材料１０３のシートは、所望の柔軟性をもたらすために、０．２５ミリメートル（０．０１０インチ）未満の厚みである。一実施形態において、材料１０３のシートは、同時押出し法によって形成される２層構造であってよく、内側層は、０．０５ミリメートル（０．００２インチ）のＰＦＡから作られると共に、外側層は、また０．０５ミリメートルの厚みの変性ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）層から作られる。

【0036】

特別に整形された材料１０３のシートは、実質的に半分に折り畳まれ、それら半分は、周縁で密封され得ることにより、内側可撓性容器１１４が形成され、図５に示されるように、分配連結具１１０が、容器１１４の上部に配置される。分配連結具１１０は、接着、熱による溶接、又は２個の材料を合わせて固定する別の適切な方法で、材料１０３のシートに取り付けられ得る。内側可撓性容器１１４の側辺に沿って、取付タブ１５０を形成するために、より大きなシームが合わせて溶接され得る。取付タブ１５０は、内側可撓性容器１１４の容積に応じて、様々な寸法を有し得る。一実施形態において、取付タブ１５０は、幅が約二分の一インチ（１．３センチメートル）であると共に、複数の穴１５２を有し得る。

【0037】

穴１５２の非限定的な形態としては、６．４ミリメートル（０．２５インチ）の直径であって、中心から約１２．３ミリメートル（０．５インチ）の間隔があけられる。穴１５２は、内側可撓性容器１１４の周縁において、シールの結合性を低下させることがないように、取付タブ１５０上に位置決めされる。取付タブの穴１５２は、いかなる形状（例えば円形、正方形、三角形）を有してもよく、また円形である必要はない。代替の細長穴は、（例えば、図１２に図示されるように）シーム許容部分１６４が、互いに接触するために、より大きな面積をもたらし得る。

【0038】

図６から図１５を参照すると、バッグインバッグアセンブリ１０２の例証形態が、本発明の一実施形態において示されている。一実施形態において、外側可撓性容器１１８は、ポリエチレン（ＰＥ）等の不透過性材料の第１即ち内側部即ち部材１６２、及び第２即ち外側部即ち部材１６０から形成される。外側部材１６０及び内側部材１６２は、それらの共通の周縁に沿って、並びにシール線１６１に沿って、職人が利用可能な方法例えば溶接）によって、気密外側可撓性容器１１８を形成するために、合わせて接合されてよい。シール線１６１は、外側可撓性容器１１８の端縁の少なくとも一部に沿って、シーム許容部１６４を画定するために、外側可撓性容器１１８の外側部材１６０及び内側部材１６２の周縁から差し込まれてよい。シーム許容部１６４は、内側可撓性容器１１４の取付タブ１５０と等しく、又はそれよりも大きくてよい。

【0039】

内側及び外側部材１６２及び１６０の厚みは、一般的には、柔軟性のために、０．２５ミリメートル（０．０１インチ）よりも少ない。一実施形態において、内側及び外側部材１６２及び１６０は、約０．０８ミリメートル（０．００３インチ）の厚みのシート材料を形成するために、同時押出しされる５層からなる。本実施形態の５層は、ポリエチレン
外側層、ナイロン下層、エチレンビニルアルコール（ＥＶＯＨ）中間層、別のナイロン下層、及び内側層として別のポリエチレン層である。

【0040】

外側可撓性容器１１８の外側及び内側部材１６０及び１６２は、各々、孔１６３を画定する構造を含み得、その中に、外側連結具１１２ａ又は１１２ｂが載置される。孔１６３は、外側連結具１１２ａの基部１３６及び第２フランジ部１３５の直径よりも小さいが、外側連結具１１２の中心部１２９を収容する程度に大きい直径を有する（図３Ａ）。

【0041】

図９の実施形態はまた、側方取付タブ１５０と類似して、内側可撓性容器１１４の下部に配置されると共に、複数の穴１５３を有する更なる下側取付タブ１５１を示す。
組み付けに際して、周縁シール及びシール線１６１は、外側部材１６０及び内側部材１６２が、外側可撓性容器１１８を形成するために、合わせて溶接されるように、それらの端縁に沿って熱を加えることにより形成されてよい。単一片の外側連結具１１２ａ（図３Ａ）が与えられた時に、外側部材１６０が外側連結具１１２の第２フランジ部１３５と接触しており、且つ内側部材１６２が外側連結具１１２の基部１３６の上面と接触しているように、外側連結具１１２ａは、孔１６３を通り挿入されてよい。外側及び内側部材１６０及び１６２は、次に、第２フランジ部１３５及び基部１３６夫々に封止されてよい。

【0042】

２片外側連結具１１２ｂ（図３Ｂ）が与えられた時に、外側部材１６０が基部１３６の基部フランジ１３７の上面と接触しており、且つ内側部材１６０が基部フランジ１３７の下面と接触しているように、外側連結具１１２ｂは、橋構造１３８なしに、孔１６３を通り挿入されてよい。第２フランジ（例えば、図３Ａのフランジ１３５）の必要性は、排除されてよい。なぜならば、橋構造１３８が欠如している間に、基部フランジ１３７の上面へは、外側部材１６０と結合するために接近可能だからである。また、孔１６３は、外側及び内側部材１６０及び１６３の両構成部品が、同一に構成されるように、同じ寸法を有してよい。

【0043】

２片外側連結具１１２ｂの出口ポート１３９．８は、外側及び内側部材１６０及び１６２の組立て後に、外側可撓性容器１１８の内部空隙１１６と流体連通している。橋構造１３８は、（図示されるような）戻り止め１３９．２の上方へのスナップ止め、ネジ構造へのネジ止め、接着剤による接着を含む多様な方法で、又は職人が利用可能な他の技術によって、中心部１２９に取り付けられてよい。外側及び内側部材１６０及び１６２への外側連結具１１２ａ又は１１２ｂの密封は、接着剤によって、熱溶接により、又は職人が利用できる他の機構によって達成されてよい。

【0044】

或いは、外側可撓性容器１１８の組立ては、外側連結具１１２を、外側部材１６０及び内側部材１６２の間であって、孔１６３の位置で挟持することにより達成されてよい。このようにして、外側部材１６０及び内側部材１６２の両方の孔１６３の寸法が、減少させられ得る。一般的に、下側部材１６２の孔は、外側連結具１１２の中空中心路１３０と同じくらい大きいことのみを必要とするので、外側部材１６０の孔１６３は、内側部材１６２のものよりも大きい。

【0045】

一実施形態において、バッグインバッグアセンブリ１０２は、外側可撓性容器１１８を、内側可撓性容器１１４の上方で折り曲げることにより組み立てられる。外側可撓性容器１１８の二個の部分１１８ａ及び１１８ｂが、内側可撓性容器１１４を受け入れるために広げられて、図８に示されている。外側可撓性容器１１８の中心内における内側可撓性容器１１４の組立ては、図９に描かれている。外側可撓性容器１１８の２個の部分１１８ａ及び１１８ｂの間への内側可撓性容器１１４の載置は、図１２及び図１３に最良に示される。

【0046】

組立ての間に、内側分配連結具１１０は、孔１６３を通り、且つ外側連結具１１２まで延出させられてよい（図１２及び図１３）。内側及び外側可撓性容器１１４及び１１８は、対向するシーム許容部１６４が、取付タブ１５０の貫通穴１５２の両側上にあるように、整列させられてよい（図１０及び図１１）。対向するシーム許容部１６４は、次に、バッグインバッグアセンブリ１０２を形成するために、貫通穴１５２を通り互いに取り付けられる。取付けは、熱溶接、接着、又は職人が利用できる他の固定技術によって、達成されてよい。

【0047】

取付タブ１５０は、ＰＥ等の異なる材料タイプの２個のシーム許容部１６４を伴い、ＰＦＡ等の１つの材料タイプからなってよい。穴１５２は、２個の外側シーム許容部１６４が、取付タブ１５０の穴１５２を通して、合わせて直接的に溶接されることを可能にすることにより、異なる溶接温度を有する２個の材料を合わせて接合するという問題を排除する。本例において、溶接は、内側可撓性容器１１４を、外側可撓性容器１１８の２つの側面の間で確実に保持し得るＰＥ−ＰＦＡ−ＰＥシームを作る。２個のシーム許容部１６４を、穴１５２を通して直接的に合わせて溶接する時には、材料を溶かすのに十分な温度、及び外側可撓性容器１１８の厚みのみが必要とされる。

【0048】

機能的には、内側可撓性容器１１４及び外側可撓性容器１１８の、取付タブ１５０及びシーム許容部１６４での固定された整列は、膨張の際に、外側可撓性容器１１８が内側可撓性容器１１４に対して、上方又は下方、或いは横方へ這い進まないように、外側可撓性容器１１８を、内側可撓性容器１１４に対して固定される状態で保持する。この構成により、内側可撓性容器１１４の内容物は、より完全に抜き取られ得る。下側取付タブ１５１及び下側シーム許容部１６５は、内側可撓性容器１１４の内容物の排除を更に助けるために、内側及び外側可撓性容器１１４及び１１８の間の整列を固定するための付加的な点をもたらす。

【0049】

バッグインバッグアセンブリを完成させるために、内側可撓性容器１１４の取付タブ１５０及び外側可撓性容器１１８のシーム許容部１６４の２個の領域が物理的に合わせて取り付けられる形態が、図１５に示される。無線自動識別（ＲＦＩＤ）機器１７２もまた、図１５において、アセンブリの上端付近に示されている。このＲＦＩＤ機器１７２は、経年数、含有量、充填データ、収容能力、及びバッグインバッグアセンブリの製造者を限定することなく含むアセンブリの内容及び配備に関連するデータを記憶するために使用され得る。

【0050】

図１６を参照すると、バッグインバッグアセンブリ１０２は、本発明の一実施形態において、格納容器１０４の内部に位置決めされる。上述したように、内側可撓性容器１１４は、シール１１５を形成するために、材料を合わせて熱溶接することにより、周縁が密封される単一の可撓性材料１０３のシートから構成される。同様に、外側可撓性容器１１８は、シール１７０を形成するために、材料を合わせて熱溶接することにより、内側部材１６２及び外側部材１６０を合わせて密封することで形成されてよい。外側可撓性容器１１８は、次に、内側部材１６２が、内側可撓性容器１１４の外面と、各側面で物理的に接触しているように、サドルバッグ状形態を形成するために、半分に折り畳まれる。図示される実施形態において、内側可撓性容器１１４の取付タブ１５０及び外側可撓性容器１１８のシーム許容部１６４は、固定具１６８で、物理的に連結させられてよい。固定具１６８は、複数のプラスチックリベットの形態をなし得る。クランプ又はねじ等の他の機械式固定機器が、２個の可撓性容器を合わせて固定するために、利用されてもよい。或いは又は加えて、内側及び外側可撓性容器は、接着によって、或いは図１１及び図１２に示されるように、可撓性容器の周縁に又はその付近に溶着部を形成するために、材料の端縁を合わせて溶接することにより、固定され得る。

【0051】

図１７、図１８、図１９、及び図２０を参照すると、ボトル内バッグインバッグ機器１８２の作用が、本発明の一実施形態において示される。図１７において、内側可撓性容器１１４には、流体が満杯に充填されており、また、外側可撓性容器１１８は、内側可撓性容器１１４が充填されると共に、その外面が、バッグインバッグアセンブリを収容する格納容器１０４の内面に押し付けられることにより、内側可撓性容器１１４によって作用させられる圧力によって空にされている。図１８は、内側可撓性容器１１４に入れられた流体の一部が、外側可撓性容器１１８への窒素等のガスの導入により生じさせられる圧力に起因して、分配された後のアセンブリを示す。より多くのガスが外側可撓性容器１１８に導入されると、内側可撓性容器１１４は均一に圧縮させられる。この均一な圧縮は、図１９及び図２０に示されるように、内側可撓性容器１１４に入れられた流体の略全ての分配に結果的になり得る。

【0052】

図１８Ａを参照すると、本発明の一実施形態が示されており、複数の加圧袋１１８．１が、分配袋に隣接して載置されると共に、同軸に、即ち、それらの軸が、圧力容器において概ね垂直方向に延出する状態で配置されてよい。この加圧袋は、分配袋１１４からのより完全な分配を促すために、様々に加圧させられ又は計画的に実施されてよい。一般的に、この加圧は、圧力容器の外部で制御されてよいが、最も下側の袋が最初に膨張／加圧し、次に、隣接する袋が膨張／加圧するように、連続する袋の制限された経路など、複数の袋の一部でもあり得る。この連続加圧袋は、例えば、ドーナツ形状であると共に積み重ねられ、或いは分配袋を包囲するように配置されてよい。

【0053】

図２１を参照すると、内側連結具１１０が、本発明の一実施形態において、外側連結具１１２内に固定されて示されている。通路１１１は、液体内容物の充填及び分配のために、内側可撓性容器１１４の内部への必要な接近をもたらす。内側連結具１１０及び外側連結具１１２の間の空間は、内側可撓性容器１１４及び外側可撓性容器１１８の間の環状通気路１１３を画定する。通気路は、アセンブリの製造又は使用の間に、内側可撓性容器１１４及び外側可撓性容器１１８の間に封じ込められかねないガスが流出するのを可能にする。別の場合では封じ込められかねないガスが、環状通気路１１３を通り流出するのを可能にすることにより、確実に、加圧ガスが外側可撓性容器１１８に供給された時に、内側可撓性容器１１４が均一に折り畳むと共に、内側可撓性容器１１４を透過するガスがマイクロバブルを形成するのを緩和することを助ける。

【0054】

環状通気路１１３はまた、アセンブリの製造又は使用の間に、外側可撓性容器１１８及び格納容器１０４の間に封じ込められるガスが流出するのを可能にする通気路と流体連通する。アセンブリのこれら両方の空間からの封じ込められたガスの通気は、フォトレジスト等の化学物質におけるマイクロバブルの形成を排除するのを助ける。外側連結具１１２はまた、外側可撓性容器１１８の内部空隙１１６と流体連通する外側連結具１１２の本体を通る複数の加圧供給路１３１を含む。加圧供給路１３１は、外側可撓性容器１１８を膨張させて、内側可撓性容器１１４の内容物を、内側連結具１１０の中心路１１１を通り外へ出すために必要な圧力をもたらすために、分配ガス又は流体が、内部空隙１１６に噴出させられるのを可能にする。

【0055】

別の実施形態（図示なし）において、ガスが内側及び外側可撓性容器１１４及び１１８の間に流入するのを阻止するために、液体又はゲルが、それらの間の隙間に載置されてよい。このような形態は、加圧工程の間に、ガスが隙間領域へ流入すると共に、内側容器１１４に封じ込められる状態を緩和する。

【0056】

図２２及び図２３を参照すると、外装バッグアセンブリ１８０が、本発明の一実施形態において、外側部材１６０のみによって包まれた内側可撓性容器１１４を有する状態で示されている。外側連結具１１２は、外側部材１６０のみに取り付けられた状態で示されて
いる。本実施形態において、内側部材は存在しておらず、或いは外側可撓性容器のみが自立している。むしろ、外側部材１６０は、プレナム（図示なし）を画定するために、内側可撓性容器１１４と協働する。本実施形態は、上記の実施形態で説明されるように、付加的な内側部材１６２の必要性を排除する。外側部材１６０の周縁が、内側可撓性容器１１４と合わせて接合された時に、可撓性バッグインバッグアセンブリ１０２が形成される。外側可撓性容器１６０は、図２３に示されるように、半分に折り畳まれ、且つ内側可撓性容器１１４が、次に、外側可撓性部材１６０の２個の部分１６０ａ及び１６０ｂの間に挿入される。部材が合わせて嵌合されると、それらは、溶接、又は使用される材料に対して職人が利用できる他の接合方法によって、外側可撓性部材１６０及び内側可撓性容器１１４の外縁を固定することにより、互いに取り付けられ得る。

【0057】

外側部材１６０は、外側部材１６０を内側可撓性容器１１４の周りに構造的に固定するために、内側可撓性容器１１４の周縁領域上において、それ自体の貫通穴（例えば、図１３に示される穴１５２等）に溶接されてよい。一実施形態において、外側部材１６０は、気密プレナムを提供するために、内側可撓性容器の周縁付近において、内側可撓性容器１１４に密封されてよい。

【0058】

或いは、外側部材１６０は、プレナムの外側境界を画定する代わりに、ガスバリアとして利用されてもよい。本代替構成において、ガスは、可撓性外側部材１６０及び内側可撓性容器１１４の間の領域へ汲み上げられない。むしろ、外装バッグアセンブリ１８０は、内側可撓性容器１１４内の液体を抜き取るために、ユニットとして外部で加圧させられる。外側部材１６０は、ガスが、内側可撓性容器１１４及び外側部材１６０の間の隙間領域に入り込むのを阻止するために、内側可撓性容器の周縁付近において、内側可撓性容器１１４に封止されてよい。

【0059】

機能的には、外装バッグアセンブリ１８０の代替構成は、液体の改良された又は最適な収容のために、内側可撓性容器１１４が選択される（例えば、フォトレジストを入れるためにＰＦＡの選択）ことを可能にする一方、外側可撓性部材１６０の選択は、ガス不透過性に基づいてよい（例えば、窒素ガスへのバリアとしてＰＡの選択）。作用に際して、外装バッグアセンブリ１８０は、格納容器に載置されてよく（例えば、図１６の格納容器１０４）、また容器は、流体を抜き取るために、外装バッグアセンブリを折り畳むように加圧させられる。内側可撓性容器１１４の材料は、液体の浸透を阻止又は軽減し、また外側部材１６０の材料は、ガス分子が内側可撓性容器１１４を透過すると共に、液体内でマイクロバブルを作ることを軽減する。当該技術分野に属する者であればまた認識するように、外側部材１６０及び内側可撓性容器１１４は、それらの間に見られ得る残留ガスを排出させるように、外側連結具１１２と結合され得る。

【0060】

図２４を参照すると、キャップシステム２００が、本発明の別の実施形態において示されている。本実施形態において、キャップ２０２は、剥離上端部２０４を有し、封じ込めガスケット２０６がその内面２０８に固定されている。キャップ２０２は、中心路１１１を密封するために、封じ込めガスケット２０６が内側分配連結具１１０の上部１４０と係合するように、頚部１０５のねじ１０７とねじ係合するように構成されてよい。

【0061】

図２５を参照すると、上端部材２２４が円錐又は切頭体形状のプラグ２２６と作動結合されたキャップ２２２を含むキャップシステム２２０が、本発明の一実施形態において示されている。上端部材２２４は、ねじ２２７（図示されるように）で、又はスナップ嵌合等の職人が利用できる他の取り外し可能な係合構造によって、又は戻り止めを利用することによって、キャップ２２２と係合させられてよい。或いは、上端部材２２４は、キャップ２２２と一体形成されてもよい。いずれの場合において、キャップ２２２は、シールをもたらすために、切頭体形状プラグ２２６が、通路１１１内で内側分配連結具１１０の上
部１４０と係合するように、頚部１０５のねじ１０７とねじ係合する。

【0062】

作用に際して、キャップシステム２００及び２２０は、輸送に先立ち、ボトル内バッグインバッグアセンブリ１００を密封するために、一段階方法を提供する。キャップ２０２又は２２２は、ガスケット２０６又は切頭体形状プラグが、シールを作用させるのに十分な力で、内側分配連結具１１０の上部１４０に作用させられるまで、ねじ入れられる。

【0063】

図２５に示される実施形態はまた、格納容器１０４と一体形成される一対のループハンドル２２８を含む。ループハンドル２２８は、操作者による格納容器の持ち上げ及び操作を許容する。

【0064】

図２６及び図２７を参照すると、カラー部２３１、キャップキーコード機器２３３、及びキャップ操作ループ２３２を有するキャップ本体２３０を含むキャップアセンブリ２３４が、本発明の一実施形態において示される。キャップ操作ループ２３２は、カラー部２３１と共に一体形成されてよく、且つ、カラー部２３１の一方側において、概ね半径方向外方に延出してよい。幾つかの実施形態では、複数のこのキャップ操作ループ（図示なし）を含んでよい。

【0065】

キャップキーコード機器２３３は、キャップアセンブリ２３４の上側肩部を画定してよく、且つ、周縁に形成される複数の雌キーコード溝２３７を含んでよい。図２７に最良に示されるように、複数のキータブ２３５は、雌キーコード溝２３７各々を横切る。タブ２３５は、キャップキーコード機器２３３と破断可能に連結させられてよい。

【0066】

カラー部２３１は、軸方向に延出すると共に、上端部材２２４をカラー部２３１に固定する（図示されるねじ等の）協働構造２３８を有する縁２３６を含んでよい。縁２３６は、肩部２４０を画定するために、カラー部２３１の外縁から半径方向に差し込まれてよい。整列構造２４１は、肩部２４０から軸方向及び縁２３６から半径方向の少なくともいずれかへ突出してよい。整列構造２４１は、凹所２４２を含み、近接スイッチ材料２４３が内部に載置されてよい。カラー部２３１は更に、内部周縁２４５．１に画定されるラチェット構造２４５を有するスカート部２４４を含んでよい。

【0067】

作用に際して、キャップ操作ループ２３２は、操作ループ２２８の代替物又は付加物を提供し、そこから、キャップアセンブリ２３４が係合させられた時に、格納容器１０４は操作させられてよい。キャップ操作ループ２３２は、格納容器１０４の操作ループ２２８よりも形成又は組み立てが容易である。ラチェット構造２４５は、キャップアセンブリ２３４を所定位置に固定すると共に、キャップアセンブリ２３４の弛緩から保護するために、格納容器１０４の嵌め合い構造（図示なし）と協働し得る。

【0068】

整列構造２４１は、キャップキーコード機器２３３等の特定の構成部品が、分配ヘッドとの協働のために、適切な配向においてカラーと結合されるのを保証する非対称性をもたらし得る。キャップキーコード機器２３３が今度は、フォトレジスト等のアセンブリ内の液体の特定の種類又はクラスを指示し、また特定の分配ヘッドのみがボトルと嵌まり合うことを可能にすることの少なくともいずれかを行うように構成されてよい。特定のタブ２３５は、ボトル内バッグインバッグ機器２５０に入れられた特定のフォトレジスト又は他の液体のキーコードに従って、引き出され、パチンと外され、抜き出され、或いは他の方法で取り除かれてよい。このように、フォトレジストの使用者及び供給者の少なくともいずれかは、キャップキーコード機器の所定の形態の幾つかのバージョンを蓄積し、又は各々のために特別な型を作る必要がない。代わりに、各キャップキーコード機器２３３は、汎用的であると見なされると共に、製造後に、ねじドライバ等の簡単な工具、又はキーコード機器２３３を構成するように装備された自動機械によって、特定のフォトレジストに
対して構成可能である。

【0069】

図２６に示される実施形態は、キャップアセンブリ２３４とねじ係合する上端部材２２４と組み合わせて、封じ込めガスケット２０６を利用する。上端部材２２４は、上端部材２２４の操作のために、図２６及び図２７に示されるように、スパナレンチとの係合のための凹所２４６を含んでよい。

【0070】

図２８から図３３を参照すると、キャップアセンブリ２３４が取り付けられたボトル内バッグインバッグ機器２５０が、本発明の一実施形態において、カム作動分配ヘッド２５４を伴い示されている。キャップアセンブリ２３４は、開口２５６を画定するために、上端部材２２４が取り除かれた状態で示される（図２８）。カム作動分配ヘッド２５４は、キャップアセンブリ２３４と作動結合させられると共に、開口２５６と作動結合させられる。カム作動分配ヘッド２５４及びキャップアセンブリ２３４は、キャップアセンブリ２３４のキャップ本体２３０の一方側にあるＶ字隆起２５９と協働するＶ字切欠２５８等の全体整列構造を、分配ヘッド２５４の一方側に含んでよい。キャップアセンブリ２３４はまた、キャップ本体２３０又はカラー部２３１の周縁から半径方向に突出する径方向対向ピン２６０を含んでよい。組み立てるために、カム作動分配ヘッド２５４は、浸漬管部２７０が開口２５６を通り、且つ内側分配連結具１１０まで延出するように、開放キャップアセンブリ２３４の上方に載置される。本明細書に示されるボトル内バッグインバッグ機器２５０の一般的且つ非限定的な寸法は、約１８センチメートルの直径及び３０センチメートルの高さであると共に、約４リットルの容量を有する。重ねて非限定的である一般的な寸法範囲は、約９から３０センチメートルの直径、及び約２７から７６センチメートルの高さに及び、約１から２０リットルに及ぶ容量を備える。

【0071】

カム作動分配ヘッド２５４は、回転アクチュエータハンドル２６５を支持する一対の枢軸部材２６３を備えた本体２６２を含んでよい。本体２６２は、キャップアセンブリ２３４のキャップ本体２３０から延出するピン２６０を受入れるために側方溝２６１を含んでよい。回転アクチュエータハンドル２６５は、枢軸部材２６３と作動結合される一対のカム部材２６４を含んでよい。カム部材２６４各々は、ピン２６０と摺動係合する弓形溝２６８を含んでよい。アーム部材２６７は、カム部材２６４各々から延出してよい。アーム部材２６７は、湾曲形状を有してよく、また、本体２６２を跨ぐ成形Ｕ字形又はＶ字形と類似するハンドル２６６を形成するために、先端２６９において接合されてよい。ハンドル２６６の構成部品の幾つか又は全て（即ち、カム部材２６４、アーム部材２６７、及び先端２６９）は、一体形成されてよい。

【0072】

カム作動分配ヘッド２５４は、本体２６２の上部２７２から、内側分配連結具１１０を通り、内側可撓性容器１１４まで独立していない浸漬管部２７０を含んでよい。浸漬管部２７０は、浸漬管部２７０を通り軸方向に延出すると共に、内側可撓性容器１１４の内容物及び抵抗出口２９０の間に流体連通を確立する１個又は複数の流通路２７５を含んでよい（図３０）。一実施形態において、カム作動分配ヘッド２５４は、伸長浸漬管２８０を含んでよい。伸長浸漬管は、外部に形成される螺旋溝等の外部通路２８２を含んでよい。

【0073】

作用に際して、外部通路２８２は、流体ポケットが、浸漬管部２８０に封じ込められるのを阻止し得る（図３３）。例えば、内側可撓性容器１１４が空に近づくと、浸漬管部２８０に対する内側可撓性容器１１４の圧力は、外部通路２８２なしで、液体が下方へ直接的に流れ得ず、且つ流路２７５への入口において蓄積し得ないように、液体ポケットを不通にし得る。内側可撓性容器１１４が外部通路２８２を密封せず、流路２７５への流入のために、液体が下方へ流れるのを可能にするので、外部通路２８２は、下方への流路をもたらす。

【0074】

複数の雄キーコード突起２７６は、本体２６２に載置される分配ヘッドキーコード機器２７７から独立していなくてよい（図３１）。雄キーコード突起２７６は、キャップキーコード機器２３３の対応する雌キーコード溝２３７内に位置を合わせるように構成されてよい。分配ヘッドキーコード機器２７７は、（図示されるような）固定具２７９で、糊付け、溶接によって、又は職人が利用できる他の方法によって、本体２６２に結合されてよい。

【0075】

機能的には、キーコード突起２７６及びキャップキーコード機器２３３は、互いにのみ、又はフォトレジストボトルの特定のサブセットと嵌め合うように構成されてよい。これにより、特定の又は適合可能なタイプのフォトレジストのみを受入れるために、キャップキーコード機器２３３によって指示されるキャップに、誤った種類のフォトレジストを誤って連結させることが阻止される。幾つかのボトルは、全てのキーコード溝２３７を作用させることにより、あらゆるキャップ（例えば、キャップアセンブリ２３４）に汎用的に適用させられてよい。

【0076】

前記の図示及び説明は、リング形状本体を含むキーコード機器２３３及び２７７に向けられている。円板状、多角形、又はフレーム等に限定されることなく、キーコード機器２３３及び２７７の本体の他の形状が使用されてよい。更に、図示される実施形態は、キャップキーコード機器２３３が溝を有するものとして、また分配ヘッドキーコード機器２７７が突起を有するものとして示しているが、反対の構成が利用されてもよい。即ち、溝付構造が分配ヘッドに配置されてよく、また突起構造がキャップアセンブリの一部であってよい。

【0077】

一実施形態において、カム作動分配ヘッド２５４の入口通路３０６は、図２１の外側可撓性容器１１８の加圧を可能にするために、入口ポート２９２と流体連通している。分配ヘッド２５４はまた、内側可撓性容器１１４及び外側可撓性容器１１８の間に封じ込められた空気又はガスを通気させるために、通気ポート２９６と流体連通している。

【0078】

カム作動分配ヘッド２５４は、本発明の一実施形態において、フォトレジスト、加圧ガス、及び通気ガスの経路を定めるために、経路プラグ３０４ａを含んでよい。図３１の分解組立図において分離して、また図３２Ａのカム作動分配ヘッド２５４においてアセンブリで示されている経路プラグ３０４ａは、図３Ａの単一片外側連結具１１２と嵌め合うように構成される。経路プラグ３０４ａは、浸漬管部２７０まで軸方向に延出する中心通路３０５を含んでよい。一実施形態において、複数の供給通路３０６は、図２１の外側可撓性容器１１８の加圧を可能にするために、外側連結具１１２の加圧供給路１３１と流体連通している。内側及び外側連結具１１０及び１１２の間に画定される環状通気路１１３と流体連通する通気路３０７が、経路プラグ３０４ａに形成されてよい。経路プラグ３０４ａはまた、経路プラグ３０４ａの外縁に形成される供給導管３０８及び通気導管３０９と、複数の外縁Ｏリング３１０から３１３とを含んでよい。経路プラグはまた、固定具３１４．２により、カム作動分配ヘッド２５４の本体２６２に取り付けるためのねじ穴３１４を含んでよい。

【0079】

代替の経路プラグ３０４ｂは、図３Ｂの２片外側連結具１１２ｂが使用される時に与えられてよい。２片外側連結具１１２ｂの連続環状導管１４１は、橋構造１３８及び中心部１２９及び湾曲溝１３９．４の間の緩衝により封止されない。従って、２片外側連結具１１２ｂの入口ポート１３２は、中心部１２９の内部に経路が定められ、その結果、加圧流体３４２は、連続環状導管１４１を迂回する。注目すべきであるが、本構成は、図３２Ａの形態のＯリング３１３の必要性を排除し、またＯリング３１８は、ガスが連続環状導管１４１へ残ることなく流入することを阻止する。

【0080】

組立てに際して、第１連結具３１５ａは、フォトレジストを分配するための中心路３０５と結合させられてよい。外縁Ｏリング３１０及び３１１は、第２連結具３１５ｂと連通する第１接線方向通路３１６をもたらすために、本体２６２の内部を密封し得る。同様に、外縁Ｏリング３１１及び３１２は、通気路３０７及びフィルタ３１５ｃと流体連通する第２接線方向通路３１７をもたらすために、本体２６２の内部を密封し得る。外縁Ｏリング３１３は、内部Ｏリング３１８と組み合わせて、加圧供給路１３１及び供給通路３０６と流体連通する第３接線方向通路３１９を画定するために、連続環状導管１４１で密封し得る。

【0081】

作用に際して、窒素ガス等の加圧流体３４２は、第２連結具３１６に供給されると共に、第１接線方向通路３１６、供給路３０６、及び第３接線方向通路３１９を通過させられて、供給路１３１へ流入し、且つ、フォトレジストを、前述される機構によって、第１連結具３１４を介して、ボトル内バッグインバッグ機器２５０から流出させる。環状通気路１１３を介してアセンブリを出る通気ガスは、通気路３０７から、第２接線方向通路３１７まで通過させられると共に、フィルタ３１５ｃから流出する。

【0082】

フィルタ３１５ｃは、ガスの通過を可能にする一方、液体への障壁として作用するＧＯＲＴＥＸ等の選択的な透過材料からなってよい。このようにして、フォトレジストがフィルタ３１５ｃへ行く道筋を見つけるならば、一層ボトル内バッグインバッグ機器２５０の外部へ漏出するのが阻止されるであろう。

【0083】

近接スイッチ３４４（図３１）はまた、キャップアセンブリ２３４の近接材料２４３（図２６）と実質的に整列させられたポート３４６において、本体２６２と結合させられてよい。近接スイッチは、近接材料２４３の近傍にある時に作動させられるキャパシタンスセンサであってよい。近接材料２４３は、金属等の適当な材料を有してよい。

【0084】

作用に際して、分配ヘッド２５４が完全係合位置へ接近した時に、近接スイッチ３４４は、近接材料２４３の付近へもたらされると共に、近接スイッチ３４４がそれに従って閉鎖するように調整され得る。近接スイッチ３４４は、スイッチ３４４が開放し、或いはスイッチ３４４が閉鎖している時のいずれかで点灯するライト３４８を含んでよい。

【0085】

図３４Ａ及び図３４Ｂを参照すると、カム作動分配ヘッド２５４の作動が、本発明の一実施形態において示される。ハンドル２６６が第１位置（例えば、図３４Ａに示されるような上方への位置）から第２位置（例えば、図３５に示されるような下方への位置）へ動かされた時に、様々なＯリング３１０〜３１３、３１８が、分配ヘッド２５４及びキャップアセンブリ２３４の間にシールを作用させるために、摺動及び圧縮の少なくともいずれかの状態で係合させられる。Ｖ字切欠及びＶ字隆起嵌め合い構造２５８及び２５９は、カム作動分配ヘッド２５４及びキャップアセンブリリ２３４が、互いに対して適切な配向で係合させられることを保証するために利用されてよい。アーム部材２６７は、分配ヘッド２５４をキャップアセンブリ２３４に対して結合及び解放するために、実質的なてこの作用をもたらし得る。また注目すべきであるが、図３４Ａ及び図３４Ｂは、図２８から図３３の成形Ｕ字又はＶ字形状ハンドル２６６形態の代替実施形態において、アーム部材２６７が平坦であり、且つハンドル２６６が、アーム部材２６７に対して直角であることを示している。

【0086】

図３５及び図３６を参照すると、カム作動分配ヘッド２５４の側面が、本発明の一実施形態において示される。格納容器１０４は、全体の直径即ちフットプリント３０１を有するものとして特徴付けられてよい。カム作動分配ヘッド２５４が完全係合させられた時に、先端２６９又は他の部分が、格納容器１０４のフットプリント３０１を越えて延出しないように、回転アクチュエータハンドル２６５は、整形されると共に寸法が決められて良
い。

【0087】

格納容器１０４はまた、格納容器１０４（図３５）の下部付近で、テーパが付けられた側面３０２を有することによってなどして、バッグインバッグアセンブリの形状を受入れるように整形させられてもよい。安定性をもたらすために、このような容器の下部にブーツ３０３が設けられてもよい。

【0088】

機能的には、ハンドルが制限された位置にある時（例えば、関連させられた加工装置の受け入れ領域、又は他のボトル内バッグインバッグ機器に隣接して位置決めされた時）に、枢軸部材２６３の周りにおける回転アクチュエータハンドル２６５の大振り半径が、ハンドルを上昇から阻止するために、予防的作用を有し得る。制限は、アーム部材２６７が、水平方向に完全に延出するのを阻止する。操作装置は更に、この点で利用するように指定される領域を伴い構成されてよく、使い尽くされたボトルは、満杯なボトルと交換され、これにより、付加的な作用安全性がもたされる。

【0089】

付加的な安全手段として、回転アクチュエータハンドル２６５は、アーム部材２６７が下方への傾斜位置にない時はいつでも、分配ヘッド２５４が完全係合位置にないという視覚的な指示を提供してよい。

【0090】

更に、カム作動分配ヘッド２５４の輪郭側面は、回転アクチュエータアセンブリ２６５よりも、操作の間における偶発的な解放の影響を受けないかもしれない。格納容器が、付随アーム部材２６７を備えたカム作動分配ヘッドを有するボトル内バッグインバッグアセンブリ機器等の他の機器に保管される時に、アーム部材２６７が隣接する機器を、いずれかが保管場所から取り除かれる時につかまえる可能性は、アーム部材が格納容器１０４のフットプリント３０１又はブーツ３０３を超えて延出する状態よりも起こりにくい。同様なことは、壁又はコーナに近接する保管場所にも当てはまり、回転アクチュエータアセンブリが、完全係合位置において、格納容器１０４のフットプリント３０１内にある時には、壁又はコーナとの擦れ又は衝突に起因するカム作動分配ヘッド２５４の偶発的な解放の可能性は、より少なくなる。

【0091】

更に、カラー２３１から延出するキャップ操作ループ２３２は、カム作動分配ヘッド２５４が完全係合させられた時に、ハンドル２６６で囲われ、又は部分的に包囲されると共に接近しているように、位置決めされてよい。このような構成は、回転アクチュエータハンドル２６５が、南京錠、ケーブルタイ、クリップ、縄、ワイヤ等の機器、又は他の固定機器で、キャップ操作ループ３２１に固定されるのを可能にする。また、カム作動分配ヘッド２５４で格納容器１０４を操作する作業員は、回転アクチュエータハンドル２６５及びキャップ操作ループ３２１の両方を同時に把持するように指示され、或いは把持する傾向にある。ループの把持は、ハンドルが操作の間に、偶発的に解放されることを阻止してよい。

【0092】

図３７及び図３７Ａから図３７Ｃを参照すると、スナップロックハンドル３５２を有する分配ヘッド３５０が、本発明の一実施形態において示される。スナップロックハンドル３５２は、ディンプル又はソケット３５６を内部に備えた弓形溝３５４を含んでよく、また、ハンドルを支持するために、枢軸部材３２３と協働する一対のソケット３５８を含んでよい。戻り止め３６０は、分配ヘッド３５０の本体２６２から突出してよい。図示される実施形態においては、２個のこのような溝３５４及び戻り止め３６０が存在する。戻り止め３６０は、本体２６２と一体形成されてよく、且つ図３７に示されるように、半球状先端を含んでよい。ばね荷重ボールプランジャ等の他の構成が、戻り止め３６０の代替物として利用されてよい。

【0093】

作用に際して、スナップロックハンドル３５２の弾性力又は弾性は、枢軸部材３２３でソケット３５８を保持してよい。分配ヘッド３５０が完全解放位置（図３７Ｃ）にある時に、戻り止め３６０は、ソケット３５６の第１ソケット３５６ａと整列させられる（図３７Ａ）。スナップロックハンドル３５２の弾性力はまた、スナップロックハンドル３５２を実質的に直立位置で保つために、第１ソケット３５６ａを戻り止め３６０との係合状態で保持する。戻り止め３６０及び第１ソケット３５６ａの少なくともいずれかは、枢軸部材３２３の周りでモーメントを生じさせる作用力３７０を、スナップロックハンドル３５２に作用させることにより、第１ソケット３５６ａの外へ摺動し得る。図３７Ａに示される戻り止め３６０の半球状先端は、この目的に適している。戻り止め３６０及び第１ソケット３５６ａは、解放を生じさせるために必要とされる作用力３７０が、操作する作業員によって、半径方向に作用させられるように構成されてよい。

【0094】

ソケット３５６の第２ソケット３５６ｂ（図３７Ｂ）は、第１ソケット３５６ａと同様の構成を有してよく、且つ、分配ヘッド３５０が完全係合位置にある（図３７Ｃ）時に、戻り止めと係合するために、弓形溝３５４内に位置決めされてよい。戻り止め３６０は、作用力３７０と実質的に反対方向である力を作用させることにより、第２ソケット３５６ｂから取り除かれてよい。

【0095】

戻り止め３６０がソケット３５６の間にあるように、スナップロックハンドル３５２が配向された時に、スナップロックハンドル３５２は、完全係合又は完全解放位置と相対的に、半径方向外方に曲げられてよい。移動は、戻り止め３６０を弓形溝３５４に沿って摺動させ得るのに十分であるが、ソケット３５８を、枢軸部材３２３の端部から外へ摺動させる程度ではない。

【0096】

機能的には、戻り止めがソケット３５６の１個と係合させられた時に、スナップロックハンドル３５２が夫々の位置（例えば、完全係合又は完全解放）に積極的に保持され、これにより、分配ヘッド３５０が偽って係合又は解放させられるのが阻止される。ハンドルが、中間位置からこれらの位置の一つへもたらされた時に、スナップロックハンドル３５２は、戻り止め３６０に「嵌められ」て、ハンドルが夫々の位置へ到達したことを通告する音及び感触の少なくともいずれかを、操作者に生じさせる。

【0097】

注目すべきであるが、本明細書において言及によって含められると共に、本発明の背景において特定される特許はまた、これによって、本明細書に開示される特定の実施形態と一貫又は適合し、及び共に利用され得ることの少なくともいずれかである構成部品、材料、方法、形態を開示することを目的として、詳細な説明に含められると考えられる。

【0098】

上側及び下側、前側及び後側、左側及び右側等の相対的な用語への言及は、説明の便利性を目的とするものであり、本発明、又はその構成部品を特定の配向に制限するためのものではない。図面に示される全ての寸法は、本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の特定の実施形態の可能な構成及び使用目的に合わせて変化してよい。

【0099】

本明細書に開示される図面及び方法の各々は、改良されたシステム、及びその製造並びに使用方法を提供するために、他の特徴及び方法から独立して、或いはそれと合わせて使用されてよい。従って、本明細書に開示される特徴及び方法の組み合わせは、本発明をその最も大まかな意味で実施するために必ずしも必要なものではなく、また代わりに、本発明の代表的な実施形態を詳細に説明するために、単に開示されるのである。

【0100】

当然のことながら、本発明は、本発明の精神又は必須の特質から逸脱しておらず、熟練した職人には明白な他の特定且つ言及されていない形態で具体化されてよい。従って、前述の実施形態は、全ての点において、例証であり、限定するものとして解釈されるべきで
はない。むしろ、本発明は、添付の請求の範囲及びそれらの法的同等物によって、定義される。

【0101】

本発明の請求の範囲を解釈することを目的として、米国特許法第１１２条第６項の規定は、請求の範囲において「する手段」又は「する工程」という特定の用語が引用されていなければ、行使されないことが、明確に意図される。

【図1】

【図2】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図18A】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32A】

【図32B】

【図33】

【図34A】

【図34B】

【図35】

【図36】

【図37】

【図37A】

【図37B】

【図37C】