特許5754093酸化亜鉛焼結体、その製造方法、スパッタリングターゲット及び透明性膜の製造方法

発明の名称　酸化亜鉛焼結体、その製造方法、スパッタリングターゲット及び透明性膜の製造方法

出願人　東ソー株式会社　（識別番号 3300）

　　　　特許公開件数ランキング 114 位（276件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 96 位（295件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5754093

公報発行日　2015年7月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5754093

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