特許5767159ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法

発明の名称　ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 65 位（374件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（372件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5767159

公報発行日　2015年8月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5767159

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5767159「ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録