特許5767260基板熱処理装置、基板熱処理方法及び基板熱処理用記録媒体

発明の名称　基板熱処理装置、基板熱処理方法及び基板熱処理用記録媒体

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（570件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（748件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5767260

公報発行日　2015年8月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5767260

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