特許 5771685 電子顕微鏡

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5771685

(24)【登録日】2015年7月3日

(45)【発行日】2015年9月2日

(54)【発明の名称】電子顕微鏡

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/26 20060101AFI20150813BHJP

   H01J 37/16 20060101ALI20150813BHJP

   H01J 37/244 20060101ALI20150813BHJP

【ＦＩ】

   H01J37/26

   H01J37/16

   H01J37/244

【請求項の数】8

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2013-507110(P2013-507110)

(86)(22)【出願日】2012年2月29日

(86)【国際出願番号】JP2012001363

(87)【国際公開番号】WO2012132230

(87)【国際公開日】20121004

【審査請求日】2013年7月22日

(31)【優先権主張番号】特願2011-77103(P2011-77103)

(32)【優先日】2011年3月31日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】501387839

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテクノロジーズ

(74)【代理人】

【識別番号】100100310

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 学

(74)【代理人】

【識別番号】100098660

【弁理士】

【氏名又は名称】戸田 裕二

(74)【代理人】

【識別番号】100091720

【弁理士】

【氏名又は名称】岩崎 重美

(72)【発明者】

【氏名】能田 弘行

(72)【発明者】

【氏名】大沼 満

(72)【発明者】

【氏名】長沖 功

(72)【発明者】

【氏名】馬見新 秀一

【審査官】 佐藤 仁美

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０８−１３８６０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０６−２３１７１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−２２３４７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−０８２２６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−３３１７７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７、

Ｈ０１Ｊ ３７／００−３７／０２、３７／０５、

３７／０９−３７／２４４、３７／２５２−３７／２９５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子線を鏡筒部内で試料に照射し、前記試料を透過した透過ビームを鏡筒部の下端部に設けた第１蛍光板に投影し、前記第１蛍光板に投影された投影物を撮影する第１撮影装置と、前記第１蛍光板の上部に形成される観察室に設けられる第２撮影装置とを備えた電子顕微鏡において、
前記第２撮像装置は、
前記観察室の前部壁面に取り付けられる第２カメラ部と、
前記観察室の背面側の壁面に取り付けられる水平駆動装置を介して、前記透過ビームに対して退避可能に設けられる第２蛍光板と、を含んで構成し、
前記第２撮像装置の前記第２蛍光板を前記透過ビームに対して退避可能に設け、
当該第２撮像装置の取付位置と同一平面上にある位置に他の検出装置の取付部を設け、
前記他の検出装置の取付部は、前記第２撮像装置の前記水平駆動装置と同じ高さに取り付けられ、前記観察室の少なくとも一方の側壁に形成されていることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項2】

請求項１記載の電子顕微鏡において、
前記第２蛍光板は、水平に対して４５度より小さい角度で固定され、
前記第２カメラ部は、その光軸を第２蛍光板の面に対して直交する姿勢で取り付けられていることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項3】

請求項２記載の電子顕微鏡において、
前記他の検出装置の取付部は、前記観察室の側壁に上下２段に設けられ、
前記第２撮像装置は、下段に対応する位置に取り付けられていることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項4】

請求項１記載の電子顕微鏡において、
前記他の検出装置からの信号に基づき画像を形成する画像処理部を備えることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項5】

請求項１記載の電子顕微鏡において、
前記他の検出器は暗視野検出器もしくは明視野検出器であることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項6】

請求項１記載の電子顕微鏡において、
前記取付部に前記他の検出装置が着脱可能に取り付けられることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項7】

電子線を鏡筒部内で試料に照射し、前記試料を透過した透過ビームを鏡筒部の下端部に設けた第１蛍光板に投影し、前記第１蛍光板に投影された投影物を撮影する第１撮影装置と、前記第１蛍光板の上部に形成される観察室に設けられる第２撮影装置とを備えた電子顕微鏡において、
前記第２撮像装置は、
前記観察室の前部壁面に取り付けられる第２カメラ部と、
前記観察室の背面側の壁面に取り付けられる水平駆動装置を介して、前記透過ビームに対して退避可能に設けられる第２蛍光板と、を含んで構成し、
前記第２撮像装置の前記第２蛍光板を前記透過ビームに対して退避可能に設け、
当該第２撮像装置の取付位置と水平方向に９０度回転させた位置に他の検出装置の取付部を設け、
前記他の検出装置の取付部は、前記第２撮像装置の前記水平駆動装置と同じ高さに取り付けられ、前記観察室の少なくとも一方の側壁に形成されていることを特徴とする電子顕微鏡。

【請求項8】

試料に電子線を照射する照射光学系と、
前記試料を透過した電子線を投影する第１蛍光板と、
前記第１蛍光板の上部に形成された観察室に設けられる撮像装置と、
当該撮像装置と同一平面上にある位置に、着脱可能に設けられた検出装置と、を備え、
前記撮像装置は、
前記観察室の壁面に取り付けられるカメラ部と、
当該カメラ部と対向する壁面に取り付けられる水平駆動装置を介して、前記電子線に対して退避可能に設けられる第２蛍光板と、を含んで構成し、
当該撮像装置の第２蛍光板は、前記試料を透過した電子線の光軸に対して退避可能に設けられ、
前記検出装置の取付部は、前記第２撮像装置の前記水平駆動装置と同じ高さに取り付けられ、前記カメラ部が取り付けられる前記観察室の壁面に対する側壁面に形成されていることを特徴とする電子顕微鏡。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、鏡筒部の下部に観察室を設け、この観察室に第２撮影装置を備えた電子顕微鏡に関するものである。

【背景技術】

【0002】

電子顕微鏡は、観察対象の試料に電子線をあて、それを透過してきた、あるいは反射してきた電子が作り出す干渉像を拡大して観察するタイプの電子顕微鏡であり、物理学、化学、工学、生物学、医学などで幅広く用いられている。

【0003】

電子顕微鏡には、大きく分けて、観察対象の試料に電子線をあて、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過型電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope; TEM) と、観察対象の試料に電子線をあて、そこから反射してきた電子（または二次電子）から得られる像を観察する走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope; SEM)が知られている。また近年では、両者の特徴を合わせ持つ走査型透過電子顕微鏡 (Scanning Transmission Electron Microscope; STEM) も注目されている。これらの電子顕微鏡では、鏡筒部とこれを支持する架台筐体とで電子顕微鏡本体部を構成し、この電子顕微鏡本体部をモニタ装置で制御したり、電子顕微鏡本体部で取得した画像をモニタ装置の表示装置で確認したりする構造としている。

【0004】

例えば、透過型電子顕微鏡では、鏡筒部の上部で生成した電子線を、鏡筒部内で試料に照射し、この透過ビームを鏡筒部の下端部に設けた第１蛍光板に投影し、この投影物を第１撮影手段（ＣＣＤカメラなど）で撮影して、モニタ装置の表示装置で確認、記録する構造を備えている。

【0005】

これら従来例では、第１蛍光板の上部に観察室を備え、この観察室に、第２撮影手段（ＣＣＤカメラなど）で観察するためのシンチレータや、暗視野像や明視野像を取得するための他の検出装置を取り付け可能な構造を備えている。これらシンチレータや他の検出装置は、第１撮影手段での画像の取得に支障をきたさないように、第１蛍光板に照射される電子線に対して退避可能な構造となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平９−８２２６３号公報

【特許文献2】特開平９−２２３４７８号公報

【特許文献3】特開２００３−３３１７７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

前記従来例の透過型電子顕微鏡では、第１蛍光板と第１撮影手段が設けられる鏡筒部の下端部を架台筐体内に取り付け、第１蛍光板の上部に形成される観察室を架台筐体の上面を覆うテーブル面から露出するように、鏡筒部が架台筐体に取り付けられている。この観察室に取り付けられるシンチレータや他の検出装置は、垂直な電子線のビーム軸に対して、直交する水平な方向に退避可能に取り付けられている。

【0008】

例えば、前記シンチレータは、第２蛍光板と、この第２蛍光板を透過したビームを水平方向に屈折させるためのミラーと、このミラーで反射したビームを撮影するための第２撮影手段と、前記第２蛍光板とミラーなどを退避させるための駆動機構を含んで構成される。また、他の従来例では、退避姿勢から回転させることにより、ビーム軸上に、斜め姿勢で突出する第２蛍光板を観察室内に設け、この第２蛍光板に投影される像を第２撮影手段で撮影する構造のものも提案されている。

【0009】

このように、従来の透過型電子顕微鏡では、観察室内に占めるシンチレータのスペースが大きいために、他の検出装置を取り付けるためには、このシンチレータの動作範囲を避けたテーブル面の下方位置に設けなければならなかった。しかし、このテーブル面の下方の位置は、作業性が悪いためにメンテナンス性に課題がある。

【0010】

また、観察室の上方から下方に照射される電子線は、第１蛍光板に向かって放射状に照射されるために、電子線のビーム軸の横方向から退避可能に取り付けられる他の検出器は、観察室の上方位置より下方の位置の方が大きく移動させないと退避することができない。つまり、他の検出器を水平方向に大きく移動させないと、第１蛍光板の撮影に支障をきたすことになるため、駆動機構を含む他の検出器の大型化を招いていた。

【0011】

そこで、この発明の目的は、架台筐体のテーブル面上に設けられる観察室に、第２撮影手段や他の検出器をコンパクトに取り付けて、これら機器の作業性やテーブル面の有効活用が図れる電子顕微鏡を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

前記目的を達成するために、本発明に係る電子顕微鏡は、観察室に設けられる第２撮影装置を透過ビームに対して退避可能に設け、当該第２撮像装置の取付位置と同一平面上にある位置に他の検出装置の取付部を備えるようにする。

【発明の効果】

【0013】

本発明では、観察室における同一平面内に第２撮像装置と他の検出装置を取り付けることができるから、架台筐体のテーブル面上に設けられる観察室に、第２撮影手段や他の検出器(サイドカメラを含む)をコンパクトに取り付けて、これら機器の作業性やテーブル面の有効活用を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】実施例１に係る電子顕微鏡システムの概略構造図である。

【図2】実施例１に係る電子顕微鏡システムの装置構成図である。

【図3】実施例１に係る電子顕微鏡システムの観察室近傍の断面図である。

【図4】実施例１に係る電子顕微鏡システムの他の検出装置のシールドカバーの外観図である。

【図5】実施例２に係る電子顕微鏡システムの観察室近傍の構造図である。

【図6】実施例２に係る電子顕微鏡システムの観察室近傍の構造図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図１から図６を参照して、この発明に係る電子顕微鏡システムの実施例を具体的に説明する。ここで、図１から図４が実施例１、図５と図６が検出器カバーの他の実施例を示している。なお、同様な部位や矢印などは同一符号をもって示し、重複した説明を省略する。

【実施例1】

【0016】

図１から図４を参照して、実施例１に係る電子顕微鏡システムを具体的に説明する。ここで、図１は、この実施例に係る電子顕微鏡システムの概略構造図である。図２は、この実施例に係る電子顕微鏡システムの装置構成図である。図３は、この実施例に係る電子顕微鏡システムの観察室近傍の断面図である。図４はこの実施例に係る電子顕微鏡システムの他の検出装置のシールドカバーの外観図である。

【0017】

先ず、図１を参照して、この実施例に係る電子顕微鏡システムの概略構造を説明する。図１において、符号１で総括的に示す電子顕微鏡システムは、観察対象の試料２２１に電子線を当て、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過型の電子顕微鏡本体２０と、この電子顕微鏡本体２０を操作制御して、取得した拡大画像をモニタするためのモニタ装置５０とを含んで構成される。また、電子顕微鏡本体２０は、架台筐体１００の上部に支持される鏡筒部２００と、真空装置を内蔵した周辺機器筺体４０とを含んで構成される。

【0018】

この実施例に係る電子顕微鏡本体２０は、電子光学系を内部に構成する鏡筒部２００の最上部に配置した電子銃２１０で発生した電子線を鏡筒部２００の中段に配置した試料挿入部２２０にセットされる観察対象の試料２２１を透過させ、この透過した電子線の像を鏡筒部２００の下方に配置した第１蛍光板部２９０に結像させ、この結像した像を第１蛍光板部２９０の下部に配置した第１撮影手段となる第１カメラ部２９１で撮影して、これをモニタ装置５０で観察することができる。

【0019】

また、この実施例では、架台筐体１００の上部にテーブル面１１０を備え、このテーブル面１１０から蛍光板２９０の上部に形成される観察室２３０が露出するように鏡筒部２００の下端部を架台筐体１００に取り付けている。この観察室２３０には、試料２２１を透過した像を直接観察するための第２撮影手段となる第２カメラ部２５０を備えた第２撮影装置２４０を備えるとともに、他の検出装置２６０を着脱可能に取り付けることができる。ここで、例えば他の検出装置２６０の一例としては、暗視野像を取得するための暗視野検出器や明視野像を取得するための明視野検出器等であるが、これに限るものではない。

【0020】

モニタ装置５０は、架台筐体１００のテーブル面１１０と整合性よく並べて配置することができるテーブル筺体５１と、各種の画像や観察画像を表示するためのディスプレイ部５２と、キーボードやマウスなどの入力装置５３や、電子顕微鏡システム１を統括的に制御する制御装置５４とを含んで構成される。このモニタ装置５０は、一般的なパーソナルコンピュータの装置構成を備えており、画像情報や各種プログラムなどを格納する図示しない記憶装置や他のコンピュータシステムと接続するための通信装置を含むことができる。そして、このモニタ装置５０によれば、電子顕微鏡本体２０を円滑に操作制御できるとともに、この電子顕微鏡本体２０で取得した拡大画像を観察したり分析したり、あるいは、ネットワークを介して、他のシステムに送信したりすることができる。

【0021】

そして、この実施例に係る電子顕微鏡本体２０の大きな特徴の１つは、電子線のビーム軸(光軸)Ｐに対して退避可能に観察室２３０内に設けた第２撮影装置２４０に対して、同一平面上にある位置に他の検出装置２６０を取り付け可能に設けた点にある。
また、好ましくは第２撮影装置２４０に対して、水平方向に９０度回転させた位置に他の検出器２６０を取り付け可能に設けるようにする。ここで他の検出器２６０には、サイドカメラも含まれる。

【0022】

即ち、図１の右側の吹き出し内に示すように、この実施例では、第２撮影装置２４０を、水平駆動装置２４２を介して電子線のビーム軸Ｐに対して退避可能に設けられる第２蛍光板２４１と、観察室２３０の側面に取り付けられる第２カメラ部２５０とを含んで構成している。第２カメラ部２５０と水平駆動装置２４２は、電子線の光軸Ｐを前後で挟むように観察室２３０の側面に配置され、水平駆動装置２４２を動作させることにより、電子線のビーム軸Ｐ上に配置される第２蛍光板２４１を後方に退避させる構造を採用している。

【0023】

そして、この実施例の観察室２３０は、第２カメラ部２５０と水平駆動装置２４２の配置に対して、９０度回転させた位置となる左右方向の側面壁に他の検出装置２６０を着脱可能に取り付けるための検出器取付部２３１を設けている。この検出器取付部２３１に取り付けられる他の検出装置２６０は、暗視野像や明視野像を取得するための他の検出器２６１と、この他の検出器２６１を電子線のビーム軸Ｐに対して水平方向に退避させる水平駆動装置２６２を含んで構成する。

【0024】

また、この実施例の検出器取付部２３１は、この他の検出器２６１と同様に電子線のビーム軸Ｐに対して水平方向に退避させる水平駆動装置２６２を備えた電子線ストッパ２６３を取り付けることができる。図１の事例は、観察室２３０の左側に他の検出装置２６０を取り付け、右側に電子線ストッパ２６３を取り付けた事例を示している。

【0025】

このように、この実施例では、他の検出装置２６０を第２撮影装置２４０に対して９０度回転させた位置に取り付け可能に設けたので、観察室２３０の第２蛍光板２４１の動作領域を他の検出装置２６０の動作領域とすることができる。つまり、この実施例では、他の検出装置２６０の観察室２３０の取り付ける高さを第２撮影装置２４０と同じ高さ(同一平面上)に取り付けることができる。したがって、従来、テーブル面１１０の下方にしか取り付けることができなかった他の検出装置２６０を、メンテナンスが容易なテーブル面１１０上に取り付けることが可能となった。しかも、サイドカメラ等の他の検出装置２６０で取得したデータは、９０度回転したデータとなる課題があるが、図示しない画像処理部による画像データのデータ変換上、９０度の回転は容易であるため、この課題を簡単に解決することができる。
但し、同一平面内のどの位置に配置したとしても、画像処理部による画像処理によって画像を取得できることは云うまでも無い。

【0026】

また、この実施例では、他の検出装置２６０の取り付ける高さを、第１蛍光板部２９０に近い観察室２３０の下方の位置から、観察室２３０の上方位置に取り付けることができるので、他の検出装置２６０を小型化することができる。

【0027】

即ち、試料２２１を透過させた電子線は、図１の破線に示すように、観察室２３０の上部から放射状に照射されて第１蛍光板部２９０に結像する。このため、放射状に照射される電子線を退避する場合、第１蛍光板部２９０に近いほど、他の検出装置２６０の退避する移動量を大きくする必要がある。つまり、他の検出装置２６０を第１蛍光板部２３０に近い位置に取り付けるほど、水平駆動装置２６２を大型化する必要がある。この点、この実施例では、他の検出装置２６０を観察室２３０の上部に取り付けることができるから、水平駆動装置２６２を小型化することができる。

【0028】

また、この実施例では、第２カメラ部２５０を観察室２３０の前部に固定して設け、しかも、コンパクトな構造を備えたＣＣＤカメラを採用しているために、鏡筒部２００に対する第２カメラ部２５０の前方への張り出し量を小さくすることができる。そして、水平駆動装置２６２を採用することにより、外側への張り出し量が大きい他の検出装置２６０を左右方向に配置することができるので、テーブル面１１０上に、他の検出装置２６０を露出させて設けても、その影響を軽減することができるから、テーブル面１１０での作業性や意匠性を向上させることができる。

【0029】

しかも、この実施例では他の検出装置２６０の外側を検出器カバー２７０で覆う構造を採用している。この検出器カバー２７０は、パーマロイや鉄板あるいはアルミニュームなどの金属材料の板材で形成され、観察室２３０に着脱可能に取り付けられる。この検出器カバー２７０によれば、他の検出装置２６０に対する外部から受ける熱や気流あるいは電波や塵埃などを遮蔽して、高い分解能を得やすくすることができる。

【0030】

また、この実施例に係る電子顕微鏡本体２０の大きな特徴の他の１つは、第２撮影装置２４０の第２蛍光板２４１を、傾斜した姿勢で固定し、この固定した第２蛍光板２４１を水平駆動装置２４２で退避可能に設けた点にある。

【0031】

即ち、従来構造では、第２撮影装置２４０を構成する第２蛍光板２４１やミラーを観察室２３０内で回転可能に設ける構造を採用しているため、第２撮影装置２４０の観察室２３０内に占める動作範囲が大きかった。このため、第２撮影装置２４０の近傍に他の検出装置２６０を設け難いという課題があった。

【0032】

この実施例では、第２蛍光板２４１を予め設定された角度に固定し、この固定した角度を維持したまた退避動作させる構造とした。これにより、第２撮影装置２４０の観察室２３０内に占める動作範囲を小さくすることができる。しかも、第２蛍光板２４１の傾斜角度を４５の角度から上向きに設定し、この上向き角度に合わせて第２カメラ部２５０を斜め姿勢で取り付けたことにより、観察室２３０内に占める動作範囲(高さ方向)を小さくすることができる。しかも、第２カメラ部２５０を傾斜して設けたことにより、第２カメラ部２５０の前方への張り出し量も小さくすることができる。

【0033】

以下、図１を参照しながら図２から図４を基に、この実施例に係る電子顕微鏡システム１を更に説明する。なお、この実施例が採用する透過型の電子顕微鏡は公知の構造を備えているために、概略構造の説明にとどめることとする。

【0034】

先ず、この実施例に係る透過型の電子顕微鏡２０の概略構造を図２に示す。鏡筒部２００の最上部に配置される電子銃２１０からの電子線は、照射系を構成するコンデンサレンズ２１５を介して、鏡筒部２００の中段に設けられる試料部２２０にセットされる試料２２１に照射される。この照射により、試料２２１を透過した透過電子線は、結像系を構成する対物レンズ２２５、中間レンズ２２６及び投影レンズ２２７を介して、第１蛍光板部２９０に到達する。蛍光板部２３０上には、この透過電子線に基づく試料２２１の像が結像される。このときの結像される像としては、設定される観察条件により、透過像又は回折像が結像されることとなる。

【0035】

ここで、対物レンズ２２５の下方には、対物絞り手段２２８が、透過電子線のビーム軸Ｐ上に対して挿脱可能に設置されている。対物絞り手段２２８には、開口２２９が形成されており、対物絞り手段２２８が透過電子線のビーム軸上Pに位置しているときには、透過電子線のうちの一部がこの開口２２９を通過する。この開口２２９を通過した透過電子線に基づいて、第１蛍光板部２９０上に像が結像される。

【0036】

このようにして第１蛍光板部２９０上に結像された像は、第１カメラ部２９１により取得される。第１カメラ部２９１は、ＣＣＤ等の撮像素子を備えており、この撮像素子により像が撮像される。第１カメラ部２９１により取得された像の画像データは、モニタ装置５０に送られる。制御装置５４は、この画像データを画像処理してディスプレイ部５１に表示させる。

【0037】

さて、この実施例では、投影レンズ２２７から第１蛍光板部２９０の間に観察室２３０が設けられている。観察室２３０では、投影レンズ２２７から照射される細い電子線は第１蛍光板部２９０に向かって放射状に照射されて所定の大きさの像として第１蛍光板部２９０に結像される。

【0038】

この実施例では、この観察室２３０に、放射状に照射されて電子線を屈折させて、この屈折させた像を直接観察することができる第２撮影装置２４０を設けるとともに、複数の他の検出装置２６０や電子線ストッパ２６３を着脱可能に取り付けることができる。

【0039】

第２撮影装置２４０は、傾斜角Θ１で固定される第２蛍光板２４１と、この観察室２３０の背面側の壁面に取り付けられる水平駆動装置２４２と、観察室２３０の正面側の壁面に取り付けられる第２カメラ部２５０とを含んで構成される。水平駆動装置２４２は、電子線のビーム軸P上の第２蛍光板２４１を後方に退避させ、また、退避されている第２蛍光板２４１をビーム軸P上に移動させることができる。

【0040】

第２蛍光板２４１は、水平位置から傾斜角Θ１で後方側を立ちあげた姿勢で水平駆動装置２４２の先端に取り付けられる。従来の第２蛍光板２４１は４５度の傾斜姿勢で取り付けられて、垂直なビーム軸Pを直角に屈折る構造を備えている。しかし、４５度の傾斜姿勢の第２蛍光板２４１を、水平駆動装置２４２を介して、回避動作させようとすると、高さｈ１の動作領域Ｑ１の高さが必要である。

【0041】

そこで、この実施例では、第２蛍光板２４１の傾斜角Θ１を４５度より小さくした角度に設定することで、動作領域Q1の高さｈ１を小さくしている。これにより、架台筐体１００のテーブル面１１０上に露出する観察室２３０の高さＨに占める動作領域Ｑ１の範囲を小さくして、他の範囲に、他の検出装置２６０の設置スペースを確保しやし易くすることができる。

【0042】

一方、第２蛍光板２４１の像を撮影する第２カメラ部２５０は、その光軸Ｐ２を第２蛍光板２４１に対して直角に設置しないと、画像がゆがむ課題がある。そこで従来例では、第２カメラ部２５０の光軸P2を水平となる姿勢で、第２カメラ部２５０を観察室２３０に取り付けている。しかし、この水平取り付けの第２カメラ部２５０は、水平方向に大きく張り出してしまうという課題がある。この課題に対して、この実施例の第２カメラ部２５０は、第２蛍光板２４１が水平方向に近い角度で設置されているために、斜め姿勢で観察室２３０に取り付けられるので、前記課題を軽減することができる。

【0043】

この他、制御装置５４は、電子銃２１０の制御や、鏡筒部２００に配置されたコンデンサレンズ２１５を備える照射系の制御と、対物レンズ２２５、中間レンズ２２６と投影レンズ２２７を備える結像系の制御を行う。そして、制御装置５４は、対物絞りの移動を行う対物絞り手段２２８、第１カメラ部２９１、第２撮影装置２４０、他の検出装置２６０、電子線ストッパ２６３などの制御を行うことができる。そして、これらの制御操作は、ディスプレイ部５２に表示される監視画像を入力装置５３を介して操作指示することで行うことができる。

【0044】

次に、この実施例の特徴的な構造である観察室２３０を更に説明する。この図３に示す観察室２３０の構造は、鏡筒部２００の前方から見た横断面を示している。この図３では、テーブル面１１０上に露出した観察室２３０の後方に水平駆動装置２４２に取り付けられる第２蛍光板２４１が設けられ、その前方には図示しない第２カメラ部２５０が取り付けられている。

【0045】

この実施例では、テーブル面１１０上に露出した観察室２３０の両側にそれぞれ２つ検出器取付部２３１（２３１ａ、２３１ｂ、２３１ｃ、２３１ｄ）が上下に形成されている。この実施例では、観察室２３０の左側上段の検出器取付部２３１ａには、暗視野像の検出装置２６０ａが取り付けられ、観察室２３０の左側下段の検出器取付部２３１ｂには明視野像の検出装置２６０ｂが取り付けられている。また、観察室２３０の右側上段の検出器取付部２３１ｃには、電子線ストッパ２６３を取り付けられ、観察室２３０の右側下段の検出器取付部２３１ｄは予備の取付スペースとなっている。更に、この実施例では、テーブル面１１０の下方に隠蔽される観察室２３０の両側に検出器取付部２３１（２３１ｅ、２３１ｆ）が設けられている。この図３の実施例では、左側の検出器取付部２３１ｅに他の検出装置２６０を取り付けた状態を示している。

【0046】

図３から明らかなように、この実施例は、テーブル面１１０上に露出した観察室２３０を上下２段に活用し、下段の動作領域Ｑ１と上段の動作領域Ｑ２を利用して、第２撮影装置２４０と他の検出装置２６０や電子線ストッパ２６３を電子線に対して退避可能に取り付けることができる。

【0047】

例えば、上段の動作領域Ｑ２には、電子線のビーム軸Ｐの両側に検出器取付部２３１ａと電子線ストッパ２６３を対向して配置し、１つの動作領域Ｑ２を２つの装置で利用することができる。

【0048】

また、下段の動作領域Ｑ１は、第２撮影装置２４０と２つの他の検出装置２６０を取り付けることができる。つまり、動作領域Ｑ１の前後には、第２カメラ部２５０と水平駆動装置２４２に取り付けられる第２蛍光板２４１とが設けられ、動作領域Ｑ１の左右には２つの他の検出装置２６０を取り付けることができる。したがって、この実施例の下段の動作領域Ｑ１は、９０度ずつずれた３方向に取り付けられる装置（第２蛍光板２４１と２個の他の検出器２６１）の動作領域として利用することができる。

【0049】

なお、この実施例では、第２撮影装置２４０を下段に設けることにより、上段の前部と下段の前部を、傾斜した姿勢の第２カメラ部２５０の取付スペースと利用することができる。

【0050】

次に、図４を参照して、この実施例に係る検出器カバー２７０を説明する。ここで、図４において、（ａ）図が検出器カバーの平面図、（ｂ）図が正面図、（ｃ）図が左側面図、（ｄ）図が右側面図を示している。

【0051】

図４において、この図４に示す検出器カバー２７０の実施例は、個々の他の検出装置２６０を単独でシールドする構造を備えている。つまり、検出器カバー２７０は、右側面に開口部２７１を備えた取付部２７２を備え、この開口部２７１以外は金属材料で覆われた構造となっている。その外観は、角の取れた丸みのある形状とすることで、前方から、その大きさを感じないように工夫している。

【0052】

この検出器カバー２７０を取り付ける際は、先ず、他の検出装置２６０を検出器取付部２３１に単独で取り付けた後、検出器カバー２７０を、開口部２７１を介して、他の検出装置２６０を覆うように装着する。そして、図示しないネジを介して、取付部２７２を検出器取付部２３１に取り付ける。

【0053】

このように、この実施例によれば、図１に示すように、検出器カバー２７０で覆われた他の検出装置２６０は、テーブル面１１０に露出する観察室２３０の両側に取り付けられるから、他の検出装置２６０が大きく張り出しても、テーブル面１１０における作業性に支障をきたすことが軽減される。しかも、検出器カバー２７０で覆われた他の検出装置２６０は、テーブル面１１０の上に露出して取り付けられるから、これら装置の着脱やメンテナンスにおける作業性が格段に向上する。

【実施例2】

【0054】

次に、図５と図６は、検出器カバーの他の実施例を示すものである。ここで、各図は、(ａ)図が観察室近傍の部品展開図、（ｂ）図が観察室近傍の外観図を示している。

【0055】

この発明に係る電子顕微鏡システム１では、第２撮影装置２４０が取り付けられる観察室２３０に、複数の他の検出装置２６０を取り付けることができる。しかし、これら他の検出装置２６０は、外部から受ける熱や気流あるいは電波や塵埃などを遮蔽する必要がある。他の検出装置２６０が１個の場合には、図４に示す検出器カバー２７０を取り付けることが有効であるが、他の検出装置２６０が複数の場合には取り付けやメンテナンスの手間が課題となる。

【0056】

そこで、図５と図６の実施例は、効率よく複数の他の検出装置２６０を覆って遮蔽できる構造を採用している。

【0057】

先ず、図５において、この実施例に係る遮蔽カバー３００は、他の検出装置２６０が観察室２３０の両側に最大２個、上下に取り付けられる点に着目し、この上下の他の検出装置２６０を１個の遮蔽カバー３００で覆う構造としたものである。

【0058】

この実施例では、観察室２３０の前部に取り付けられる第２カメラ部２５０のカメラカバー３０１の両側に、上下に取り付けられる他の検出装置２６０を一括して取り付けられる遮蔽カバー３００を左右対称に取り付ける。

【0059】

複数の他の検出装置２６０を覆う遮蔽カバー３００は、取り付けを簡便にするために、検出器取付部２３１に取り付けられる一方の側面と底面とに連続した開放部３０２を形成する。これに伴って、架台筐体１００のテーブル面１１０ａは、前部テーブル面１１１と、両側に分離した一対のサイドテーブル面１１２とから構成する。サイドテーブル面１１２には、遮蔽カバー３００の底面の開放部３０２と連結する切欠部１１３が設けられている。

【0060】

この図５に示す実施例によれば、観察室２３０の両側は、切欠部１１３により十分な作業空間がとれるので、他の検出装置２６０を検出器取付部２３１に簡単に着脱することができる。また、他の検出装置２６０を検出器取付部２３１に取り付けた後は、この取り付け部分に遮蔽カバー３００を取り付けるだけで、遮蔽することができる。

【0061】

また、図６に示す、遮蔽カバー３１０は、第２カメラ部２５０の両側に検出器取付部２３１がある点に着目し、第２カメラ部２５０を覆うカメラカバー３０１と、他の検出装置２６０を覆う遮蔽カバー３００とを一体構造で形成したものである。

【0062】

この遮蔽カバー３１０は、観察室２３０に接触する部分と底面にかけて連続した開口部３１１が形成される。一方、テーブル面１１０ｂは、前部テーブル面１１１と後部テーブル面１１４とで構成する。後部テーブル面１１４は、鏡筒部２００の前部と両側を囲むように形成され、その前部には、観察室２３０の両側を開放する切欠部１１５が形成される。

【0063】

この実施例によれば、観察室２３０の両側が、切欠部１１５により大きく開放されているので、他の検出装置２６０の着脱やメンテナンスの作業性を大きく改善することができる。しかも、他の検出装置２６０を取り付けた後は、検出器カバー２７０を取り付けるだけで、第２カメラ部２５０と観察室２３０の両側の他の検出装置２６０を一括で覆うことができるから、作業性を格段に向上することができる。

【符号の説明】

【0064】

１…電子顕微鏡システム、２０…電子顕微鏡本体、４０…周辺機器筺体、５０…モニタ装置、５１…テーブル筺体、５２…ディスプレイ部、５３…入力装置、５４…制御装置、１００…架台筐体、１１０、１１０ａ、１１０ｂ…テーブル面、１１１…前部テーブル面、１１２…サイドテーブル面、１１３…切欠部、１１４…後部テーブル面、１１５…切欠部、２００…鏡筒部、２１０…電子銃、２１５…コンデンサレンズ、２２０…試料挿入部、２２１…試料、２２５…対物レンズ、２２６…中間レンズ、２２７…投影レンズ、２２８…対物絞り手段、２３０…観察室、２３１…検出器取付部、２４０…第２撮影装置、２４１…第２蛍光板、２４２…水平駆動装置、２５０…第２カメラ部、２６０…他の検出装置、２６０ａ…検出装置、２３１ｂ…検出器取付部、２６１…他の検出器、２６２…水平駆動装置、２６３…電子線ストッパ、２７０…検出器カバー、２７１…開口部、２７２…取付部、３００…遮蔽カバー、３０１…カメラカバー、３０２…開放部、２９０…第１蛍光板部、２９１…第１カメラ部、Ｐ…ビーム軸、Ｐ２…光軸、Θ１…傾斜角、Ｈ…テーブル面上に露出する観察室の高さ、ｈ１…高さ、Ｑ１、Ｑ２…動作領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】