特許5774741飽和電圧推定方法及びシリコンエピタキシャルウエハの製造方法

発明の名称　飽和電圧推定方法及びシリコンエピタキシャルウエハの製造方法

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 1117 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 752 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5774741

公報発行日　2015年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5774741

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