特許5776056電子線装置、及び電子顕微鏡を用いた試料の観察方法

発明の名称　電子線装置、及び電子顕微鏡を用いた試料の観察方法

出願人　株式会社堀場製作所　（識別番号 155023）

　　　　特許公開件数ランキング 1367 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 559 位（41件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5776056

公報発行日　2015年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5776056

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