特許5778093基板テーブルアセンブリ、液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法

発明の名称　基板テーブルアセンブリ、液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 227 位（139件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 342 位（75件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5778093

公報発行日　2015年9月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5778093

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