特許 5788304 研削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5788304

(24)【登録日】2015年8月7日

(45)【発行日】2015年9月30日

(54)【発明の名称】研削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/00 20060101AFI20150910BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20150910BHJP

   B24B 49/04 20060101ALI20150910BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20150910BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20150910BHJP

【ＦＩ】

   B24B7/00 Z

   H01L21/304 622S

   H01L21/304 631

   B24B49/04 Z

   B24B41/06 L

   B24B49/12

【請求項の数】2

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2011-266651(P2011-266651)

(22)【出願日】2011年12月6日

(65)【公開番号】特開2013-119123(P2013-119123A)

(43)【公開日】2013年6月17日

【審査請求日】2014年7月11日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】特許業務法人東京アルパ特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100087099

【弁理士】

【氏名又は名称】川村 恭子

(74)【代理人】

【識別番号】100063174

【弁理士】

【氏名又は名称】佐々木 功

(74)【代理人】

【識別番号】100124338

【弁理士】

【氏名又は名称】久保 健

(72)【発明者】

【氏名】中村 文

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 啓吾

【審査官】 亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−２６４９１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１９９２２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２４６２４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ７／００

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２４Ｂ ４９／００ − ４９／１２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状ワークを保持して回転可能な保持手段と、昇降機構を備え該保持手段に保持された板状ワークを研削する研削手段と、該保持手段に保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段と、を少なくとも備える研削装置であって、
該保持手段は、板状ワークの一方の面を保持する保持面と、該保持面の中心を通る回転軸と、該回転軸の傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備え、
該厚み測定手段は、該保持面に保持される板状ワークの上方から該板状ワークの外周端と、該板状ワークの回転中心と、該板状ワークの回転中心と外周端との中間点と、の３箇所において板状ワークの厚みを非接触状態で測定する測定部と、該測定部における測定値に基づき該回転軸の傾きを算出する算出部と、該算出部において算出された回転軸の傾きの値を受け取り該傾きの値に基づき該傾き調整手段を駆動する制御部と、を少なくとも備え、
該研削手段は、板状ワークが仕上げ厚みに達する前に研削を一時停止し、該厚み測定手段によって該板状ワークの厚みを測定し、該算出部で算出される該回転軸の傾きの値と所定の傾きの値との差を基に、該制御部が該傾き調整手段を駆動することによって該回転軸の傾きを修正した後、再び該研削手段によって所定の仕上げ厚みに形成されるまで該板状ワークを研削する研削装置。

【請求項2】

前記保持手段に保持された板状ワークの回転中心から外周端に向けて該測定部を走査させて板状ワークの厚みを測定する請求項１記載の研削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研削対象の板状ワークを保持する保持手段の回転軸の傾斜を調整することができる研削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

研削装置においては、ウェーハがチャックテーブルに保持され、チャックテーブルが回転するとともに回転する砥石がウェーハの面に接触することによってウェーハの面が研削される。チャックテーブルの保持面は円錐面に形成されており、これに対応して研削手段の回転軸も傾斜している（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

チャックテーブルの回転軸と、砥石を備えた研削手段の回転軸とがなす角は、予め決められた角度に調整されており、研削後のウェーハについてウェーハの厚さ分布を求め、その厚さ分布に応じて、チャックテーブルの回転軸又は研削手段の回転軸の傾きを調整するようにしている。このように、ウェーハの厚さ分布に基づき、研削手段又はチャックテーブルの回転軸の傾きを調整する作業を繰り返し行っている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−１４１１７６号公報

【特許文献2】特開２００９−０９０３８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、研削終了後のウェーハの厚さ分布を測定し、その結果に基づきチャックテーブルの回転軸の傾き又は研削手段の回転軸の傾きを調整するため、調整のための研削が必要であり、時間がかかりすぎるという問題がある。

【0006】

また、回転軸の傾き調整前に研削したウェーハは、厚さばらつきがあるため、製品として出荷することができず、廃棄している。したがって、ウェーハに多くの無駄が生じるという問題もある。

【0007】

本発明は、このような事情にかんがみなされたもので、回転軸の傾き調整を効率よく行い、ウェーハに無駄が生じないようにすることを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、板状ワークを保持して回転可能な保持手段と、昇降機構を備え保持手段に保持された板状ワークを研削する研削手段と、保持手段に保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段と、を少なくとも備える研削装置に関するもので、保持手段は、板状ワークの一方の面を保持する保持面と、保持面の中心を通る回転軸と、回転軸の傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備え、厚み測定手段は、保持面に保持される板状ワークの上方から複数箇所において板状ワークの厚みを非接触状態で測定する測定部と、測定部における測定値に基づき回転軸の傾きを算出する算出部と、算出部において算出された回転軸の傾きの値を受け取り傾きの値に基づき傾き調整手段を駆動する制御部と、を少なくとも備え、研削手段は、板状ワークが仕上げ厚みに達する前に研削を一時停止し、厚み測定手段によって板状ワークの厚みを測定し、算出部で算出される回転軸の傾きの値と所定の傾きの値との差を基に、制御部が傾き調整手段を駆動することによって回転軸の傾きを修正した後、再び研削手段によって所定の仕上げ厚みに形成されるまで板状ワークを研削する。

【0009】

保持手段に保持された板状ワークの回転中心から外周端に向けて測定部を走査させることで、板状ワークの半径方向の厚みを測定することもできる。また、測定部が、保持手段に保持された板状ワークの回転中心と、板状ワークの外周端と、板状ワークの回転中心と外周端との中間点と、の３箇所においてワークの厚みを測定するようにしてもよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明では、研削手段は、板状ワークが仕上げ厚みに達する前に研削を一時停止し、厚み測定手段によって板状ワークの厚みを測定し、算出部で算出される回転軸の傾きを基に、傾き調整手段によって回転軸の傾きを修正した後、再び研削手段によって所定の仕上げ厚みに形成されるまで板状ワークを研削するため、厚さばらつきのある板状ワークが形成されることがなく、板状ワークに無駄を生じさせることなくすべての板状ワークを所望の厚さに形成することができる。また、回転軸の調整のための研削が不要であり、一度の研削で回転軸の傾きを調整して板状ワークを所定の厚さに仕上げることができるため、効率的である。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】研削装置の一例を示す斜視図である。

【図2】保持手段、研削手段及び厚み測定手段の第１の例を略示的に示す断面図である。

【図3】保持手段及び傾き調整手段を示す側面図である。

【図4】保持手段及び傾き調整手段を示す拡大断面図である。

【図5】傾き調整手段を構成する位置調整ユニットの配置例を示す説明図である。

【図6】位置調整ユニットと保持手段と保持手段の駆動機構とを示す斜視図である。

【図7】位置調整ユニットの例を示す断面図である。

【図8】保持手段と第１研削手段との位置関係を略示的に示す断面図である。

【図9】保持手段と第２研削手段との位置関係を略示的に示す断面図である。

【図10】仕上げ研削を行う状態を略示的に示す断面図である。

【図11】厚さバラツキのある板状ワークの第１の例を示す断面図である。

【図12】厚さバラツキのある板状ワークの第２の例を示す断面図である。

【図13】厚さバラツキのある板状ワークの第３の例を示す断面図である。

【図14】厚さバラツキのある板状ワークの第４の例を示す断面図である。

【図15】（ａ）は保持手段、研削手段及び厚み測定手段の第２の例を示す斜視図であり、（ｂ）は保持手段、研削手段及び厚み測定手段の第２の例を示す略示的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１に示す研削装置１は、複数の保持手段２において板状の被加工物（板状ワーク）を保持し、第１研削手段３ａ及び第２研削手段３ｂによって板状ワークを研削加工する装置である。

【0013】

研削装置１は、保持手段２に対する板状ワークの着脱が行われる着脱エリアＡと、研削加工が行われる加工エリアＢとによって構成されている。複数の保持手段２は、ターンテーブル２ａによって自転及び公転可能に支持されており、個々の保持手段２は、ターンテーブル２ａの回転によって公転することにより、着脱エリアＡと加工エリアＢとの間を移動可能となっている。

【0014】

着脱エリアＡには、研削加工前の板状ワークが収容される供給カセット４ａと、研削加工後の板状ワークが収容される回収カセット４ｂとを備えている。また、供給カセット４ａ及び回収カセット４ｂに対面する位置には、供給カセット４ａからの被加工物の搬出及び回収カセット４ｂへの被加工物の搬入を行う搬送ロボット５が配設されている。

【0015】

搬送ロボット５の可動範囲には、加工前の被加工物を仮置きする仮置き手段６及び加工後の被加工物に付着した研削屑を洗浄する洗浄手段７が配設されている。

【0016】

仮置き手段６の近傍には、仮置き手段６に仮置きされた研削加工前の板状ワークを着脱エリアＡに位置する保持手段２に搬送する第１搬送手段８ａが配設されている。また、洗浄手段７の近傍には、着脱エリアＡに位置する保持手段２に保持された研削加工後の板状ワークを洗浄手段７に搬送する第２搬送手段８ｂが配設されている。

【0017】

加工エリアＢには、保持手段２に保持された板状ワークに対して粗研削を施す第１研削手段３ａと、粗研削された板状ワークに対して仕上げ研削を施す第２研削手段３ｂとが配設されている。第１研削手段３ａ及び第２研削手段３ｂは、保持手段２の移動経路の上方に配設されている。

【0018】

図２に示すように、第１研削手段３ａは、ほぼ鉛直方向の軸心を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、スピンドル３０の上端に連結されスピンドル３０を回転駆動するモータ３２と、スピンドル３０の下端に固定されたマウント３３と、マウント３３に固定されたホイール３４とから構成されている。ホイール３４の下面には、円環状に粗研削砥石３５ａが固着されている。

【0019】

第２研削手段３ｂも同様に構成されており、研削砥石の種類だけが第１研削手段３ａとは異なっており、粗研削砥石３５ａに代えて仕上げ研削砥石３５ｂを備えている。

【0020】

図１に示すように、第１研削手段３ａ及び第２研削手段３ｂは、ホイール３４を昇降させるための昇降機構３６を備えている。昇降機構３６は、スピンドル３０と同方向の軸心を有するボールスクリュー３６０と、ボールスクリュー３６０と平行に配設されたガイドレール３６１と、ボールスクリュー３６０に連結されボールスクリュー３６０を回動させるモータ３６２と、ボールスクリュー３６０に螺合するナットを内部に備えるとともに側部がガイドレール３６１に摺接しハウジング３１と連結された昇降部材３６３とから構成され、モータ３６２に駆動されてボールスクリュー３６０が回動するのにともない、ガイドレール３６１にガイドされて昇降部材３６３が昇降し、併せてハウジング３１が昇降する構成となっている。

【0021】

図２に示すように、保持手段２は、上部にポーラス部材２０を備えており、ポーラス部材２０は、図示しない吸引源に連通している。ポーラス部材２０の上面は、板状ワークの一方の面を保持する保持面２０ａとなっており、保持手段２は、保持面２０ａに直交するとともに保持面２０ａの中心を通る回転軸２００を中心として回転可能となっている。

【0022】

図１に示すように、加工エリアＢには、第１研削手段３ａの下方に位置する保持手段２に保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定ゲージ９ａと、第２研削手段３ｂの下方に位置する保持手段２に保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定ゲージ９ｂとが配設されている。

【0023】

個々の厚み測定ゲージ９ａ、９ｂは、厚み測定の基準面である保持手段２の保持面２０の高さ位置を計測する基準ハイトゲージ９０と、板状ワークの表面の高さ位置を計測するワークハイトゲージ９１とを備えており、基準ハイトゲージ９０の計測値とワークハイトゲージ９１の計測値との差を板状ワークの厚みとして認識する。

【0024】

図１に示すように、第２研削手段３ｂの下方には、保持手段２に保持された板状ワークの厚みを計測する非接触式の厚み測定手段１０が配設されている。この厚み測定手段１０は、保持面２０に保持される板状ワークの上方から複数箇所において板状ワークの厚みを非接触状態で測定する測定部１００と、測定部１００における測定値に基づき保持手段２の回転軸の傾きを算出する算出部１０１とを備えている。

【0025】

測定部１００は、ターンテーブル２ａの外周側に立設されたスタンド１０２と、スタンド１０２から保持手段２の上方に向けて延びるアーム部１０３とによって支持されており、測定部１００は、アーム部１０３に固定された３つのセンサ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃとから構成されている。センサ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃは、板状ワークに向けて測定光を照射し、板状ワークの上下の界面（上面と下面）にて反射した反射光を受光したタイミングの差から、板状ワークの厚さを算出することができる。

【0026】

算出部１０１は、少なくともＣＰＵ及びメモリを備えた制御部１０５に接続されており、算出部１０１において求めた保持手段２の回転軸の傾きの値は、制御部１０５に送られる。制御部１０５においては、保持手段２の回転軸の傾きの値に応じ、研削装置１の各部位の制御を行う。

【0027】

図３に示すように、個々の保持手段２は、回転軸２００の傾きを調整する傾き調整手段２１を備えている。

【0028】

傾き調整手段２１は、支持台２２と、支持台２２に連結された位置調整ユニット２３とから構成されている。支持台２２は、円筒状に形成された支持筒部２２０と、支持筒部２２０から拡径したフランジ部２２１とから構成され、図４に示すように、ベアリング２４を介して保持手段２の軸部２００ａを回転可能に支持している。傾き調整手段２１は、フランジ部２２１の傾きを調整することにより、軸部２００ａの傾きを調整する機能を有する。

【0029】

図３に示した位置調整ユニット２３は、フランジ部２２１の円弧に沿って、等間隔に２つ以上設けられている。例えば図５に示すように、１２０度間隔で、２つの位置調整ユニット２３と、フランジ部２２１を固定する固定部２３ａとが配設される。また、位置調整ユニット２３が３つ以上配設されるようにしてもよい。

【0030】

図６に示すように、位置調整ユニット２３は、ビス２５によってターンテーブル２ａに固定された筒部２３０と、筒部２３０を貫通するシャフト２３１と、シャフト２３１の下端に連結された駆動部２３２と、シャフト２３１の上端においてフランジ部２２１に固定された固定部２３３とから構成されている。駆動部２３２は、シャフト２３１を回転させるモータ２３２ａと、シャフト２３１の回転速度を弱める減速機２３２ｂとから構成されている。

【0031】

また、軸部２００ａにはベルト２６０が巻回されており、このベルト２６０は、回転軸２６１にも巻かれている。回転軸２６１は、モータ２６２によって回転駆動されるように構成されており、モータ２６２に駆動されて回転軸２６１が回転することにより、その回転力がベルト２６０によって軸部２００ａに伝わる。そして、軸部２００ａが回転することにより保持手段２が回転する構成となっている。軸部２００ａには配管２００ｂが貫通して形成されており、配管２００ｂは、図示しない吸引源に連通している。

【0032】

図７に示すように、シャフト２３１の上端部には、第１の雄ねじ２３１ａが形成されている。一方、固定部２３３は、第１の雄ねじ２３１ａに螺合する第１の雌ねじ２３４ａを有するナット２３４と、ボルト２３５ａによってナット２３４に固定された挟持ナット２３５とから構成され、ナット２３４と挟持ナット２３５とでフランジ部２２１を挟持している。ボルト２３５ａとシャフト２３１との間にはスプリング２３５ｂが介在している。

【0033】

筒部２３０は、ターンテーブル２ａに形成された孔１ｃにおいて支持されている。また、シャフト２３１の下端部には、カップリング２３２ｃを介して減速機２３２ｂ及びモータ２３２ａに連結されており、モータ２３２ａによる駆動によりシャフト２３１を回転させることができる。

【0034】

図８に示すように、保持手段２の保持面２０ａは、回転中心２００を頂点とした円錐面に形成されている。すなわち、保持面２０ａは回転中心から外周側に向けて下降する傾斜を有する斜面に形成されている。そして、かかる傾斜に対応し、第１研削手段３ａを構成する粗研削砥石３５ａ及び第２研削手段３ｂを構成する仕上げ研削砥石３５ｂの下面も、保持面２０ａと平行となっている。また、研削対象のワークＷも、円錐面にならって保持される。なお、図８においては円錐面の傾斜を誇張して示しているが、実際には肉眼では認識できないほどのわずかな傾斜である。

【0035】

また、図９に示すように、第２研削手段３ｂの下方に位置する保持手段２の保持面２０ａの一部の上方には、回転軸２００を中心とする径方向に、保持面２０ａと平行に３つのセンサ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃが直線状に並んでいる。

【0036】

このように構成される研削装置１においては、図１に示した搬送ロボット５が供給カセット４ａから研削前の板状ワークを取り出し、仮置き手段６に搬送する。そして、仮置き手段６において板状ワークの中心位置を一定の位置にあわせた後、第１搬送手段８ａが板状ワークを着脱エリアＡに位置する保持手段２に搬送する。そして、板状ワークＷは、保持面２０ａ上に保持される。

【0037】

（１）研削ステップ
板状ワークを保持した保持手段２は、ターンテーブル２ａの矢印Ｃ方向への回転によって加工エリアＢに進入し、第１研削手段３ａの下方に移動する。そして、図８に示すように、保持手段２が矢印Ｄ方向に自転するとともに、スピンドル３０を矢印Ｅ方向に回転させながら第１研削手段３ａを下降させ、回転する粗研削砥石３５ａを板状ワークＷの上面Ｗ１に接触させて粗研削を行う。研削は、粗研削砥石３５ａが常にワークＷの上面Ｗ１の回転中心に接触するようにして行う。

【0038】

粗研削の終了後、ターンテーブル２ａをさらに同方向に回転させることにより、粗研削された板状ワークＷを第２研削手段３ｂの下方に移動させる。そして、図９に示すように、保持手段２が矢印Ｄ方向に自転するとともに、スピンドル３０を矢印Ｅ方向に回転させながら第２研削手段３ｂを下降させ、回転する仕上げ研削砥石３５ｂを板状ワークＷの上面Ｗ１に接触させて仕上げ研削を行う。仕上げ研削は、図１０に示すように、仕上げ研削砥石３５ｂが常に板状ワークＷの上面Ｗ１の回転中心に接触するようにして行う。

【0039】

第２研削手段３ｂにおいては、板状ワークＷが所望の仕上げ厚みに形成される前に、ホイール３４を上昇させて研削を一時停止し、厚み測定手段１０によって板状ワークＷの厚みを測定する。具体的には、３つのセンサ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃによって、板状ワークＷの回転中心と、板状ワークＷの外周端と、板状ワークＷの回転中心と外周端との中間点との３箇所において、板状ワークＷの厚みがそれぞれ測定される。３箇所においてそれぞれ厚みを測定することにより、図１及び図２に示した算出部１０１において、板状ワークＷの厚さのバラツキが認識される。

【0040】

（２）傾き調整ステップ
次に、傾き調整手段２１によって、保持手段２の回転軸２００の傾きを調整する。最初に、算出部１０１において、３つのセンサ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃによる板状ワークＷの３箇所の厚さの測定値に基づき、例えば、１０４ａの測定値と１０４ｃの測定値の差もしくは、１０４ａの測定値と１０４ｃの測定値の平均値と１０４ｂの測定値の差から回転軸２００の傾きを求めることができる。そして、求めた回転軸２００の傾きが、所定の値となっていない場合は、回転軸２００の傾きが所定の値となるように調整する。なお、図９における保持面２０ａの傾き２０ｂが、仕上げ研削砥石３５ｂの下面３５ｃの傾き３５ｄと平行であれば、回転軸２００の傾きが当該所定の値になっていると判断することができる。

【0041】

回転軸２００の傾きが所定の値となっていない状態で研削を行うと、例えば図１１〜図１４に示す板状ワークＷａ〜Ｗｄのように、厚さばらつきが生じて厚さが均一にならない。図１１に示す板状ワークＷａは、回転軸２００の傾きが大きすぎるために、１０４ａの測定値−１０４ｃの測定値＞０（ゼロ）となり板状ワークＷの中心部分が厚く形成され、外周側が薄く形成されている。図１２に示す板状ワークＷｂは、回転軸２００の傾きが小さすぎるために、１０４ａの測定値−１０４ｃの測定値＜０（ゼロ）となり板状ワークＷの中心部分が薄く形成され、外周側が厚く形成されている。図１３に示す板状ワークＷｃは、（１０４ａの測定値＋１０４ｃの測定値）／２−１０４ｂの測定値＜０（ゼロ）で、図１４に示す板状ワークＷｄは、（１０４ａの測定値＋１０４ｃの測定値）／２−１０４ｂの測定値＞０（ゼロ）で回転軸２００の傾きが不適切であるために、板状ワークＷの上面（被研削面）が平らに形成されていない。

【0042】

回転軸２００の傾きの調整は、図５に示した２つの位置調整ユニット２３を用いて行う。具体的には、回転軸２００の傾きの実際の値と所定の値との差を算出部１０１が算出し、モータ２６２による保持手段２の回転駆動を停止させた状態で、図７に示した制御部１０５がモータ２３２ａを駆動し、シャフト２３１を回転させることにより、フランジ部２２１を上下動させる。なお、モータ２３２ａを駆動させる時、モータ２６２による保持手段２の回転駆動を停止させても良い。

【0043】

フランジ部２２１が上下動することにより、図４に示したようにフランジ部２２１を含む支持台２２によって支持された保持手段２の軸部２００ａの傾きが変化し、保持手段２の回転軸２００の傾きを調整することができる。このようにして回転軸２００の微調整が完了する。

【0044】

（３）再研削ステップ
このようにして傾き調整手段２１によって保持手段２の回転軸２００の傾き調整が行われた後、図１０に示したように、保持手段２が矢印Ｄ方向に自転するとともに、スピンドル３０を矢印Ｅ方向に回転させながら第２研削手段３ｂを下降させ、回転する仕上げ研削砥石３５ｂを板状ワークＷの上面Ｗ１に接触させて、再び仕上げ研削を行う。そして、図１に示した厚み測定ゲージ９ｂによって板状ワークＷが指定された厚みに形成されたことが確認されると、仕上げ研削を終了する。

【0045】

再研削ステップにおいては、保持手段２の回転軸２００が所定の傾きに修正された状態で仕上げ研削が行われるため、研削ステップにおいて仮に板状ワークＷに厚さばらつきがあったとしても、再研削ステップにおける研削によって厚さばらつきがなくなり、均一な厚さの板状ワークを形成することができる。

【0046】

仕上げ研削終了後は、板状ワークＷが第２搬送手段８ｂによって洗浄手段７に搬送されて洗浄された後、搬送ロボット５によって回収カセット４ｂに収容される。

【0047】

（４）厚み測定手段の変更例
なお、図２に示した厚み測定手段１０に代えて、図１５に示す厚み測定手段１１を用いることもできる。この厚み測定手段１１は、保持面２０に保持される板状ワークの上方から板状ワークの厚みを非接触状態で測定するセンサからなる測定部１１０と、測定部１１０における測定値に基づき保持手段２の回転軸の傾きを算出する算出部１１１とを備えている。

【0048】

測定部１１０は、ターンテーブル２ａの外周側に立設され回転可能なスタンド１１２から保持手段２の上方に向けて延びるアーム部１１３に固定されており、スタンド１１２の回転によって旋回可能となっている。スタンド１１２にはベルト１１４が巻回され、ベルト１１４は、モータ１１５の回転軸１１５ａに巻回されており、モータ１１５に駆動されて回転軸１１５ａが回転することにより、その回転力がベルト１１４によってスタンド１１２に伝わり、アーム部１１３が旋回動する構成となっている。

【0049】

保持手段２に保持されたワークＷの厚みを測定する際には、研削を一時中断し、アーム部１１３を旋回させて測定部１１０を保持面２０ａの面方向に移動させ、保持手段２に保持された板状ワークＷの回転中心から外周端Ｗ２もしくは外周端Ｗ２から回転中心に向けて測定部１１０を走査させる。

【0050】

測定部１１０の走査により、板状ワークＷの回転中心と外周端と外周端と回転中心の中間点（１／２Ｒ）との３箇所の厚さを測定することができる。そして、かかる厚さの測定値から保持手段２の回転軸２００の傾きを求め、傾き調整手段２１によって所望の傾きに修正する。そしてその後、研削を再開し、厚み測定ゲージ９ｂによる計測により板状ワークＷが所定の厚みに形成されると、研削を終了する。

【0051】

なお、図１に示した研削装置１は、２つの研削手段を備えているが、研削手段が１つのみまたは３つ以上の研削装置であってもよい。

【符号の説明】

【0052】

１：研削装置
Ａ：着脱エリア Ｂ：加工エリア
２：保持手段
２０：ポーラス部材 ２０ａ：保持面 ２００：回転軸 ２００ａ：軸部
２１：傾き調整手段
２２：支持台 ２２０：支持筒部 ２２１：フランジ部
２３：位置調整ユニット
２３０：筒部
２３１：シャフト
２３１ａ：第１の雄ねじ
２３２：駆動部 ２３２ａ：モータ ２３２ｂ：減速機 ２３２ｃ：カップリング
２３３：固定部
２３４：ナット ２３４ａ：第１の雌ねじ
２３５：挟持ナット ２３５ａ：ボルト
２４：ベアリング ２５：ビス
２６０：ベルト ２６１：回転軸 ２６２：モータ
２ａ：ターンテーブル
３ａ：第１研削手段 ３ｂ：第２研削手段
３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：モータ ３３：マウント
３４：ホイール ３５ａ：粗研削砥石 ３５ｂ：仕上げ研削砥石
３６：昇降機構
３６０：ボールスクリュー ３６１：ガイドレール ３６２：モータ
３６３：昇降部材
４ａ：供給カセット ４ｂ：回収カセット
５：搬送ロボット
６：仮置き手段 ７：洗浄手段
８ａ：第１搬送手段 ８ｂ：第２搬送手段
９ａ、９ｂ：厚み測定ゲージ
９０：基準ハイトゲージ ９１：ワークハイトゲージ
１０：厚み測定手段
１００：測定部 １０１：算出部 １０２：スタンド １０３：アーム部
１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃ：センサ １０５：制御部
１１：厚み測定手段１１０：測定部 １１１：算出部
１１２：スタンド １１３：アーム部 １１４：ベルト
１１５：モータ １１５ａ：回転軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】