特許5789281傾斜可能なオーバーヘッドＲＦ誘導源を備えたプラズマリアクタ

発明の名称　傾斜可能なオーバーヘッドＲＦ誘導源を備えたプラズマリアクタ

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（558件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（556件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5789281

公報発行日　2015年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5789281

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