特許5791144レジスト組成物、レジストパターン形成方法

発明の名称　レジスト組成物、レジストパターン形成方法

出願人　学校法人東京理科大学　（識別番号 125370）

　　　　特許公開件数ランキング 760 位（76件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 777 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5791144

公報発行日　2015年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5791144

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