特許5791497シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの製造に好適なシリカ粉の判定方法

発明の名称　シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの製造に好適なシリカ粉の判定方法

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 660 位（37件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 365 位（72件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5791497

公報発行日　2015年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5791497

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