特許 5793527 搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5793527

(24)【登録日】2015年8月14日

(45)【発行日】2015年10月14日

(54)【発明の名称】搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20150928BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

【請求項の数】8

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2013-64702(P2013-64702)

(22)【出願日】2013年3月26日

(65)【公開番号】特開2014-192244(P2014-192244A)

(43)【公開日】2014年10月6日

【審査請求日】2015年3月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100122507

【弁理士】

【氏名又は名称】柏岡 潤二

(72)【発明者】

【氏名】友安 義修

(72)【発明者】

【氏名】大谷 陽介

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 淳司

(72)【発明者】

【氏名】林 徳太郎

(72)【発明者】

【氏名】倉富 一紀

【審査官】 鈴木 和樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−２２７６２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３５８６３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１０１０２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１４１０９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／０２０２８６５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７ − ２１／６８３

Ｂ２５Ｊ １／００ − ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の搬送装置と、
前記搬送装置からアクセスされる複数のモジュールであって、前記複数の搬送装置からアクセスされるモジュールを含む該複数のモジュールと、
前記複数の搬送装置のうち、前記搬送装置が前記モジュールにアクセスしたときに同じ前記モジュールに対してアクセスしない前記搬送装置同士を同じグループにグループ分けをするグループ決定部と、
前記グループ決定部によって決定されたグループ毎に、前記搬送装置が前記モジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整の実行を指示する実行指示部と、
を備える搬送装置制御システム。

【請求項2】

一の前記モジュールに対して前記複数の搬送装置がアクセスし、他の前記モジュールに対して前記一のモジュールにアクセスする前記搬送装置とは異なる前記複数の搬送装置がアクセスする場合、
前記グループ決定部は、前記一のモジュールに対してアクセスする前記複数の搬送装置と前記他のモジュールに対してアクセスする前記複数の搬送装置とを、前記位置調整に要する時間が長い前記搬送装置から順に同じグループにグループ分けをする、
請求項１に記載の搬送装置制御システム。

【請求項3】

前記搬送装置による前記位置調整が実行できない前記モジュールがある場合、
前記実行指示部は、前記搬送装置に対し、前記位置調整が実行できない前記モジュールに対する前記位置調整の実行を指示しない、
請求項１又は２に記載の搬送装置制御システム。

【請求項4】

前記実行指示部は、一の前記搬送装置に対し、前記一の搬送装置が他の前記モジュールに対して実行した前記位置調整の結果に基づいて、一の前記モジュールに対する前記位置調整を実行するように指示を行う、請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送装置制御システム。

【請求項5】

複数の搬送装置と、前記搬送装置からアクセスされる複数のモジュールであって、前記複数の搬送装置からアクセスされるモジュールを含む該複数のモジュールとを備える搬送システムにおいて、前記搬送装置が前記モジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整をする方法であって、
前記複数の搬送装置のうち、前記搬送装置が前記モジュールにアクセスしたときに同じ前記モジュールに対してアクセスしない前記搬送装置同士を同じグループにグループ分けをする工程と、
決定されたグループ毎に、前記搬送装置が前記モジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整の実行を指示する工程と、
を含む方法。

【請求項6】

一の前記モジュールに対して前記複数の搬送装置がアクセスし、他の前記モジュールに対して前記一のモジュールにアクセスする前記搬送装置とは異なる前記複数の搬送装置がアクセスする場合、
前記グループ分けをする工程では、前記一のモジュールに対してアクセスする前記複数の搬送装置と前記他のモジュールに対してアクセスする前記複数の搬送装置とを、前記位置調整に要する時間が長い前記搬送装置から順に同じグループにグループ分けをする、
請求項５に記載の方法。

【請求項7】

前記搬送装置による前記位置調整が実行できない前記モジュールがある場合、
前記位置調整の実行を指示する工程では、前記搬送装置に対し、前記位置調整が実行できない前記モジュールに対する前記位置調整の実行を指示しない、
請求項５又は６に記載の方法。

【請求項8】

前記位置調整の実行を指示する工程では、一の前記搬送装置に対し、前記一の搬送装置が他の前記モジュールに対して実行した前記位置調整の結果に基づいて、一の前記モジュールに対する前記位置調整を実行するように指示を行う、請求項５〜７のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、複数の搬送装置からアクセスされるモジュールを備える搬送装置制御システム、及び、搬送装置のアクセス位置を調整する方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造におけるプロセスとして、フォトレジスト処理がある。フォトレジスト処理工程では、半導体の基板の表面にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、レジスト膜上に所定のパターンを露光した後、基板に現像液を塗布して現像処理が行われる。このような一連の処理を行う装置として、塗布現像装置が使用されている。

【0003】

この塗布現像装置は、塗布現像処理に必要な一連の処理を個別に行うプロセスモジュールを複数備えている。このプロセスモジュールのうち、塗布処理を行うモジュールはレジスト液の塗布を行い、現像処理を行うモジュールは露光後の基板を現像する。プロセスモジュール間の基板の搬送、並びに各プロセスモジュールに対する基板の搬入出には、基板を保持した状態で各プロセスモジュールに対してアクセス可能な搬送装置が用いられる。このような搬送装置を供える塗布現像装置が、特許文献１に記載されている。

【0004】

特許文献１に記載された塗布現像装置には、複数のプロセスモジュールと、複数の搬送装置とが設けられる。これらの搬送装置によって、プロセスモジュール間での基板の搬送等が行われる。また、特許文献１に記載されたレジスト処理装置には、複数の搬送装置からアクセスされるプロセスモジュールが設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２−９９７８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

このような搬送装置及びプロセスモジュールを供える装置では、搬送装置がプロセスモジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整が行われる。具体的には、搬送装置を、調整の対象となるプロセスモジュールにアクセスさせ、アクセス位置の位置調整を行っている。複数の搬送装置からアクセスされるプロセスモジュールがある場合、搬送装置の位置調整の際に、一のプロセスモジュールに対して複数の搬送装置が同時に位置調整を実行することがないように、即ち、搬送装置同士が干渉することがないようにする必要がある。このため、一つずつ順番に搬送装置の位置調整を行うことが考えられるが、位置調整のために長時間を要する。

【0007】

従って、本技術分野においては、短時間で位置調整が可能な搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一側面に係る搬送装置制御システムは、複数の搬送装置と、複数のモジュールと、グループ決定部と、実行指示部とを備える。モジュールは、搬送装置からアクセスされる。複数のモジュールは、複数の搬送装置からアクセスされるモジュールを含む。グループ決定部は、複数の搬送装置のうち、搬送装置がモジュールにアクセスしたときに同じモジュールに対してアクセスしない搬送装置同士を同じグループにグループ分けをする。実行指示部は、グループ決定部によって決定されたグループ毎に、搬送装置がモジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整の実行を指示する。

【0009】

一実施形態に係る搬送装置制御システムでは、一のモジュールに対して複数の搬送装置がアクセスし、他のモジュールに対して一のモジュールにアクセスする搬送装置とは異なる複数の搬送装置がアクセスし得る。この場合、グループ決定部は、一のモジュールに対してアクセスする複数の搬送装置と他のモジュールに対してアクセスする複数の搬送装置とを、位置調整に要する時間が長い搬送装置から順に同じグループにグループ分けしてもよい。

【0010】

一実施形態に係る搬送装置制御システムにおいて、搬送装置によって位置調整が実行できないモジュールがある場合、実行指示部は、搬送装置に対し、位置調整が実行できないモジュールに対する位置調整の実行を指示しなくてもよい。

【0011】

一実施形態に係る搬送装置制御システムにおいて、実行指示部は、一の搬送装置に対し、一の搬送装置が他のモジュールに対して実行した位置調整の結果に基づいて、一のモジュールに対する位置調整を実行するように指示を行ってもよい。

【0012】

本発明の他の一側面に係る、搬送装置がモジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整をする方法は、複数の搬送装置と、搬送装置からアクセスされる複数のモジュールであって、複数の搬送装置からアクセスされるモジュールを含む該複数のモジュールとを備える搬送システムにおいて行われ、グループ分けを行う工程と、位置調整の実行を指示する工程とを含む。グループ分けを行う工程では、複数の搬送装置のうち、搬送装置がモジュールにアクセスしたときに同じモジュールに対してアクセスしない搬送装置同士を同じグループにグループ分けをする。位置調整の実行を指示する工程では、決定されたグループ毎に、搬送装置がモジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整の実行を指示する。

【0013】

一実施形態に係る搬送装置のアクセス位置を調整する方法において、一のモジュールに対して複数の搬送装置がアクセスし、他のモジュールに対して一のモジュールにアクセスする搬送装置とは異なる複数の搬送装置がアクセスし得る。この場合、グループを決定する工程では、一のモジュールに対してアクセスする複数の搬送装置と他のモジュールに対してアクセスする複数の搬送装置とを、位置調整に要する時間が長い搬送装置から順に同じグループにグループ分けしてもよい。

【0014】

一実施形態に係る搬送装置の位置を調整する方法において、搬送装置によって位置調整が実行できないモジュールがある場合、位置調整の実行を指示する工程では、搬送装置に対し、位置調整が実行できないモジュールに対する位置調整の実行を指示しなくてもよい。

【0015】

一実施形態に係る搬送装置の位置を調整する方法において、位置調整の実行を指示する工程では、一の搬送装置に対し、一の搬送装置が他のモジュールに対して実行した位置調整の結果に基づいて、一のモジュールに対する位置調整を実行するように指示を行ってもよい。

【発明の効果】

【0016】

以上説明したように、本発明の種々の側面・種々の実施形態によれば、短時間で搬送装置のアクセス位置の位置調整が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】一実施形態に係る塗布現像装置の平面図である。

【図2】図１の塗布現像装置の斜視図である。

【図3】図１の塗布現像装置の概略構成を示すブロック図である。

【図4】図１の制御部の機能構成を示すブロック図である。

【図5】モジュール状態テーブルの一例を示す図である。

【図6】モジュール調整結果テーブルの一例を示す図である。

【図7】搬送アームがアクセスするプロセスモジュールの一例を示す図である。

【図8】図１の制御部によって行われる処理の流れを示すフローチャートである。

【図9】搬送アームの動作時に互いに干渉する搬送アームを示す図である。

【図10】搬送アーム組み合わせテーブルを示す図である。

【図11】搬送アームがプロセスモジュールに対して位置調整を行う際の調整時間を示す図である。

【図12】搬送アーム毎の位置調整に要する時間を示す図である。

【図13】（ａ）は組み合わせ１の位置調整の開始前におけるモジュール調整結果テーブルを示し、（ｂ）は組み合わせ１の位置調整の開始前におけるモジュール状態テーブルを示す。

【図14】位置調整の開始前に行う調整対象外判定処理の流れを示すフローチャートである。

【図15】位置調整の実行中に行う調整対象外判定処理の流れを示すフローチャートである。

【図16】組み合わせ１の位置調整の実行結果を示す図である。

【図17】（ａ）は組み合わせ１の位置調整後におけるモジュール調整結果テーブルを示し、（ｂ）は組み合わせ１の位置調整後におけるモジュール状態テーブルを示す。

【図18】（ａ）は組み合わせ２の位置調整の開始前におけるモジュール調整結果テーブルを示し、（ｂ）は組み合わせ２の位置調整の開始前におけるモジュール状態テーブルを示す。

【図19】組み合わせ２の位置調整の実行結果を示す図である。

【図20】（ａ）は組み合わせ２の位置調整後におけるモジュール調整結果テーブルを示し、（ｂ）は組み合わせ２の位置調整後におけるモジュール状態テーブルを示す。

【図21】（ａ）は組み合わせ３の位置調整の開始前におけるモジュール調整結果テーブルを示し、（ｂ）は組み合わせ３の位置調整の開始前におけるモジュール状態テーブルを示す。

【図22】（ａ）は組み合わせ３の位置調整後におけるモジュール調整結果テーブルを示し、（ｂ）は組み合わせ３の位置調整後におけるモジュール状態テーブルを示す。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照して、本発明に係る搬送装置制御システム及び搬送装置がモジュールにアクセスするときのアクセス位置の位置調整をする方法を適用した塗布現像装置の種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を付す。

【0019】

図１は、一実施形態に係る塗布現像装置の平面図であり、図２は、図１の塗布現像装置の斜視図である。図３は、図１の塗布現像装置の概略構成を示すブロック図である。図１〜図３に示すように、塗布現像装置（搬送システム）１は、キャリアブロックＳ１、処理ブロックＳ２、インターフェイスブロックＳ３、露光機Ｓ４、制御部Ｊ１を含んで構成される。

【0020】

キャリアブロックＳ１には、プロセスモジュールとしての複数のロードポートＡ１、及び、搬送アーム（搬送装置）Ｘ１が設けられる。ロードポートＡ１の載置台上に、基板Ｗを収容するキャリア１１が載置される。第１搬送アームＸ１は、キャリア１１内から基板Ｗを取り出し、処理ブロックＳ２の第１棚ユニットＢ１に設けられたプロセスモジュールＢ１０へ受け渡す。また、第１搬送アームＸ１は、処理ブロックＳ２の第１棚ユニットＢ１に設けられたプロセスモジュールＢ１０から処理済みの基板Ｗを受け取ってキャリア１１内に戻す。

【0021】

処理ブロックＳ２には、第２搬送アームＸ２、第３搬送アームＸ３、第１棚ユニットＢ１、第１処理ブロックＣ１、第２処理ブロックＤ１、第３処理ブロックＥ１、第４処理ブロックＦ１、第５処理ブロックＧ１、第４搬送アームＸ４、第５搬送アームＸ５、及び、第２棚ユニットＨ１が設けられる。なお、図１では、複数の処理ブロックＢ１〜Ｂ５のうち、最上段に設けられた第５処理ブロックＧ１を示している。

【0022】

第１棚ユニットＢ１には、複数のプロセスモジュールＢ１０（図３参照）が設けられる。プロセスモジュールＢ１０には、基板Ｗの受け渡しを行うモジュール等が含まれる。プロセスモジュールＢ１０は、鉛直方向に沿って並べて配置され得る。第２搬送アームＸ２及び第３搬送アームＸ３は、第１棚ユニットＢ１の両脇にそれぞれ配置される。第２搬送アームＸ２及び第３搬送アームＸ３は、第１棚ユニットＢ１内の所定のプロセスモジュールＢ１０間で基板Ｗを搬送する。

【0023】

第１処理ブロックＣ１〜第５処理ブロックＧ１は、鉛直方向に沿って並べて配置される。詳細には、第１処理ブロックＣ１の上に第２処理ブロックＤ１、第２処理ブロックＤ１の上に第３処理ブロックＥ１、第３処理ブロックＥ１の上に第４処理ブロックＦ１、第４処理ブロックＦ１の上に第５処理ブロックＧ１が配置される。第１処理ブロックＣ１、第２処理ブロックＤ１及び第３処理ブロックＥ１は、レジスト膜を形成するＣＯＴ層となっている。第４処理ブロックＦ１及び第５処理ブロックＧ１は、現像処理を行うＤＥＶ層となっている。

【0024】

第１処理ブロックＣ１には、第１１搬送アームＣ１１Ｘと、複数のプロセスモジュールＣ１１（図３参照）とが設けられる。複数のプロセスモジュールＣ１１には、基板Ｗの表面に対してレジスト膜を形成するモジュール等が含まれる。第１１搬送アームＣ１１Ｘは、プロセスモジュールＣ１１、第１棚ユニットＢ１内のプロセスモジュールＢ１０、及び、第２棚ユニットＨ１内のプロセスモジュールＨ１０のうち所定のプロセスモジュール間で基板Ｗを搬送する。

【0025】

第２処理ブロックＤ１には、第１２搬送アームＤ１２Ｘと、複数のプロセスモジュールＤ１２（図３参照）とが設けられる。複数のプロセスモジュールＤ１２には、基板Ｗの表面に対してレジスト膜を形成するモジュール等が含まれる。第１２搬送アームＤ１２Ｘは、プロセスモジュールＤ１２、第１棚ユニットＢ１内のプロセスモジュールＢ１０、及び、第２棚ユニットＨ１内のプロセスモジュールＨ１０のうち所定のプロセスモジュール間で基板Ｗを搬送する。

【0026】

第３処理ブロックＥ１には、第１３搬送アームＥ１３Ｘと、複数のプロセスモジュールＥ１３（図３参照）とが設けられる。複数のプロセスモジュールＥ１３には、基板Ｗの表面に対してレジスト膜を形成するモジュール等が含まれる。第１３搬送アームＥ１３Ｘは、プロセスモジュールＥ１３、第１棚ユニットＢ１内のプロセスモジュールＢ１０、及び、第２棚ユニットＨ１内のプロセスモジュールＨ１０のうち所定のプロセスモジュール間で基板Ｗを搬送する。

【0027】

第４処理ブロックＦ１には、第１４搬送アームＦ１４Ｘと、複数のプロセスモジュールＦ１４（図３参照）とが設けられる。複数のプロセスモジュールＦ１４には、基板Ｗに対して現像処理を行うモジュール等が含まれる。第１４搬送アームＦ１４Ｘは、プロセスモジュールＦ１４、第１棚ユニットＢ１内のプロセスモジュールＢ１０、及び、第２棚ユニットＨ１内のプロセスモジュールＨ１０のうち所定のプロセスモジュール間で基板Ｗを搬送する。

【0028】

第５処理ブロックＧ１には、第１５搬送アームＧ１５Ｘと、複数のプロセスモジュールＧ１５（図３参照）とが設けられる。複数のプロセスモジュールＧ１５には、基板Ｗに対して現像処理を行うモジュール等が含まれる。第１５搬送アームＧ１５Ｘは、プロセスモジュールＧ１５、第１棚ユニットＢ１内のプロセスモジュールＢ１０、及び、第２棚ユニットＨ１内のプロセスモジュールＨ１０のうち所定のプロセスモジュール間で基板Ｗを搬送する。

【0029】

第２棚ユニットＨ１には、複数のプロセスモジュールＨ１０（図３参照）が設けられる。複数のプロセスモジュールＨ１０には、基板Ｗの受け渡しを行うモジュール等が含まれる。プロセスモジュールＨ１０は、鉛直方向に沿って並べて配置され得る。第４搬送アームＸ４及び第５搬送アームＸ５は、第２棚ユニットＨ１内の所定のプロセスモジュールＨ１０間で基板Ｗを搬送する。

【0030】

インターフェイスブロックＳ３には、第６搬送アームＸ６が設けられる。第６搬送アームＸ６は、第２棚ユニットＨ１内の所定のプロセスモジュールＨ１０と、露光機Ｓ４との間で基板Ｗを搬送する。

【0031】

露光機Ｓ４は、搬入された基板Ｗに対して露光処理を行う。

【0032】

制御部Ｊ１は、第１〜第６搬送アームＸ１〜Ｘ６、及び、第１１〜第１５搬送アームＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘの駆動を制御する。また、制御部Ｊ１は、第１〜第６搬送アームＸ１〜Ｘ６及び第１１〜第１５搬送アームＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘに対し、搬送アームがプロセスモジュールにアクセスする際のアクセス位置（基板Ｗの受け渡し位置又は受け取り位置）の位置調整の実行を指示する。この位置調整とは、例えば、プロセスモジュールに対する搬送アームの水平方向の位置と、鉛直方向の位置とを調整してもよい。また、この位置調整は、実際に搬送アームをプロセスモジュールにアクセスさせることで行われる。なお、位置調整の実行の指示は、例えば、搬送アームの初期設定時等に行うことができる。

【0033】

ここで、本実施形態におけるプロセスモジュールＢ１０，Ｈ１０及びＣ１１〜Ｇ１５には、複数の第１〜第６搬送アームＸ１〜Ｘ６、及び、第１１〜第１５搬送アームＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘから基板Ｗの搬入等が行われる（アクセスされる）ものがある。このため、制御部Ｊ１は、位置調整を行う際に搬送アーム同士が干渉することがないように（複数の搬送アームが一つのプロセスモジュールに対して同時にアクセスすることがないように）、位置調整の実行の指示を行う。

【0034】

具体的には、制御部Ｊ１は、図４に示すように、グループ決定部Ｊ１０、調整結果テーブル作成部Ｊ１１、実行指示部Ｊ１２、調整結果テーブル出力部Ｊ１３、及び、テーブル保持部Ｊ１４を備える。

【0035】

グループ決定部Ｊ１０は、位置調整の実行を指示する際に同時に位置調整の実行を指示する搬送アームのグループを決定する。具体的には、グループ決定部Ｊ１０は、第１〜第６搬送アームＸ１〜Ｘ６、及び、第１１〜第１５搬送アームＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘのうち、搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５ＸがプロセスモジュールＢ１０、Ｈ１０及びＣ１１〜Ｇ１５にアクセスしたときに同じプロセスモジュールに対してアクセスしない搬送アーム同士を同じグループにグループ分けをする。

【0036】

また、プロセスモジュールＢ１０、Ｈ１０及びＣ１１〜Ｇ１５のうち、一のプロセスモジュールに対して複数の搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘがアクセスし、他のプロセスモジュールに対して一のプロセスモジュールにアクセスする搬送アームとは異なる複数の搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘがアクセスする場合がある。この場合、グループ決定部Ｊ１０は、一のプロセスモジュールに対してアクセスする複数の搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘと、他のプロセスモジュールに対してアクセスする複数の搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘとを、位置調整に要する時間が長い搬送アームから順に同じグループにグループ分けをする。

【0037】

なお、搬送アームが位置調整に要する時間は、予めテーブル保持部Ｊ１４に保存しておくことができる。これにより、グループ決定部Ｊ１０は、テーブル保持部Ｊ１４に保存された位置調整に要する時間に基づいて、グループ分けを行うことができる。

【0038】

グループ決定部Ｊ１０によって決定された搬送アームのグループ分け結果は、搬送アーム組み合わせテーブルとして、テーブル保持部Ｊ１４に保存される。

【0039】

調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、プロセスモジュールの状態を管理するモジュール状態テーブルを作成する。具体的には、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール状態テーブルとして、図５に示すように、「プロセスモジュール」の識別子と、プロセスモジュールの「状態」とを対応付けたテーブルを作成する。プロセスモジュールの「状態」には、「ノーマル」と、「エラー」とが含まれる。「ノーマル」とは、搬送アームがプロセスモジュールに対して正常に位置調整を行うことができるプロセスモジュールの状態を示す。「エラー」とは、搬送アームがプロセスモジュールに対して正常に位置調整を行うことができないプロセスモジュールの状態を示す。プロセスモジュールの状態が「エラー」になる場合として、例えば、プロセスモジュールのシャッターが正常に開閉できない場合等がある。なお、プロセスモジュール自体には異常はないが、搬送アームの位置調整が正常にできない場合がある。このような、搬送アームの位置調整が正常にできない場合として、例えば、搬送アームが位置調整の動作を繰り返しても所定の閾値を満たさないために位置調整処理が中断される「調整リトライオーバー」がある。調整リトライオーバー等の場合には、プロセスモジュール自体には異常はないため、モジュール状態は「ノーマル」となる。調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、搬送アームの位置調整が行われる毎にモジュール状態テーブルを更新する。調整結果テーブル作成部Ｊ１１によって作成されたモジュール状態テーブルは、テーブル保持部Ｊ１４に保存される。

【0040】

更に、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、プロセスモジュールに対する搬送アームの位置調整の結果を管理するためのモジュール調整結果テーブルを作成する。具体的には、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール調整結果テーブルとして、図６に示すように、位置調整を実行する「搬送アーム」の識別子と、位置調整の対象となる「プロセスモジュール」の識別子と、搬送アームの「調整方法」と、「コピー元」のプロセスモジュールの識別子と、位置調整が「調整対象外」であるか否かの情報と、「調整結果」とを対応付けたテーブルを作成する。調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、搬送アームの位置調整が行われる毎にモジュール調整結果テーブルを更新する。

【0041】

モジュール調整結果テーブルにおける「調整方法」として、「ノーマル」と、「コピー」とがある。「ノーマル」とは、実際に搬送アームをプロセスモジュールにアクセスさせてアクセス位置の位置調整を実行する調整方法である。「コピー」とは、所定の搬送アームが、あるプロセスモジュールに対して位置調整を行う際に、他のプロセスモジュールに対して行った位置調整の結果に基づいて位置調整を実行する調整方法である。調整方法が「コピー」の場合の例として、所定の搬送アームが、あるプロセスモジュールに対して位置調整を行う際に、搬送アームの水平方向のアクセス位置は他のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果を利用し、鉛直方向の位置調整のみを行う場合がある。モジュール調整結果テーブルにおいて「コピー元」とは、調整方法が「コピー」である場合に、位置情報のコピー元のプロセスモジュールの識別子である。

【0042】

モジュール調整結果テーブルにおける「調整対象外」とは、搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせが位置調整を実行しない組み合わせであることを示す。調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール状態テーブルのプロセスモジュールの状態が「エラー」の場合に、モジュール調整結果テーブルの「調整対象外」の欄に位置調整対象外であることを示す「○」を入力する。

【0043】

なお、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、グループ決定部Ｊ１０によってグループ分けされた搬送アームのグループ毎の位置調整の実行開始前に、モジュール状態テーブルに基づいてモジュール調整結果テーブルの「調整対象外」の欄を更新する。また、実行指示部Ｊ１２は、搬送アームの位置調整の実行中において、位置調整の実行を指示する搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせが位置調整を実行しない組み合わせであるか否かの判定を行っている。調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、位置調整の実行中においても、実行指示部Ｊ１２によって「調整対象外」と判定された搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせについて、モジュール調整結果テーブルの「調整対象外」の欄に位置調整対象外であることを示す「○」を入力する。

【0044】

モジュール調整結果テーブルにおける「調整結果」として、「未実施」、「正常終了」及び「異常終了」がある。「未実施」は位置調整の実行前の状態を示し、正常終了は位置調整が正常に終了したことを示す。また、「異常終了」とは、位置調整ができなかった場合を示す。この異常終了には、プロセスモジュール自体に異常があるために位置調整ができなかった場合と、例えば調整リトライオーバーのように、プロセスモジュール自体には異常がないものの位置調整ができなかった場合とを含む。調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、搬送アームの位置調整が行われる毎にモジュール調整結果テーブルの「調整結果」を更新する。調整結果テーブル作成部Ｊ１１によって作成されたモジュール調整結果テーブルは、テーブル保持部Ｊ１４に保存される。

【0045】

実行指示部Ｊ１２は、搬送アーム組み合わせテーブルに従って、搬送アームのグループ毎に、搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５ＸがプロセスモジュールＢ１０、Ｈ１０及びＣ１１〜Ｇ１５にアクセスするときのアクセス位置の位置調整の実行を指示する。例えば、一つの搬送アームが複数のプロセスモジュールにアクセスする場合、当該搬送アームは、所定の順序に従って各プロセスモジュールに対してそれぞれ位置調整を実行する。この所定の順序とは、例えば、プロセスモジュール毎に割り当てられた識別子（モジュール番号）の数字に基づいて設定してもよい。

【0046】

実行指示部Ｊ１２は、ある搬送アームに対して位置調整の指示を行う際に、モジュール調整結果テーブルの「調整方法」欄が「コピー」である場合、「コピー元」のプロセスモジュールに対してある搬送アームが位置調整を行った結果に基づいて位置調整を実行するように指示を行う。なお、位置調整の結果を、例えば、テーブル保持部Ｊ１４に記憶しておくことで、実行指示部Ｊ１２は、テーブル保持部Ｊ１４に記憶された位置調整結果を利用することができる。

【0047】

また、実行指示部Ｊ１２は、ある搬送アームに対して位置調整の指示を行う際に、モジュール調整結果テーブルの「調整対象外」欄が「○」である場合、この「調整対象外」欄に「○」が付されているプロセスモジュールに対して位置調整の実行を指示しない。

【0048】

また、実行指示部Ｊ１２は、搬送アームの位置調整の実行中において、位置調整の実行を指示する搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせが位置調整を実行しない組み合わせであるか否かの判定を行う。具体的には、実行指示部Ｊ１２は、他のプロセスモジュールに対して実行された位置調整結果を利用可能な搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせであり、且つ、モジュール状態テーブルにおける位置情報のコピー元のプロセスモジュールの状態が「エラー」である場合、この搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせを調整対象外とする。

【0049】

テーブル保持部Ｊ１４は、グループ決定部Ｊ１０によって作成された搬送アーム組み合わせテーブル、調整結果テーブル作成部Ｊ１１によって作成されたモジュール状態テーブル及びモジュール調整結果テーブルを記憶する。また、テーブル保持部Ｊ１４は、搬送アームの位置調整結果を記憶しておくこともできる。

【0050】

調整結果テーブル出力部Ｊ１３は、テーブル保持部Ｊ１４に記憶されたモジュール調整結果テーブルを、例えば表示装置或は他の装置に出力する。出力されたモジュール調整結果テーブルに基づいて、位置調整の結果を把握することができる。

【0051】

次に、搬送アームによって位置調整を行う際のより詳細な具体例について説明する。なお、以下では、説明を容易にするために、図３に示すように、ロードポートＡ１として、識別子が「１−１ ＦＵＳＴ」のロードポートが1台設けられているものとする。プロセスモジュールＢ１０として、識別子が「１０−１ ＴＲＳ」、「１０−２ ＴＲＳ」、「１０−３ ＴＲＳ」、「１０−４ ＴＲＳ」、「１０−５ ＴＲＳ」、「１１−３５ ＴＲＳ」、「１２−３５ ＴＲＳ」、「１３−３５ ＴＲＳ」、「１４−３５ ＴＲＳ」、及び、「１５−３５ ＴＲＳ」のプロセスモジュールが設けられているものとする。プロセスモジュールＣ１１として、識別子が「１１−１ ＣＯＴ」、及び、「１１−１１ＣＰＨＰ」のプロセスモジュールが設けられ、プロセスモジュールＤ１２として、識別子が「１２−１ ＣＯＴ」、及び、「１２−１１ＣＰＨＰ」のプロセスモジュールが設けられ、プロセスモジュールＥ１３として、識別子が「１３−１ ＣＯＴ」、及び、「１３−１１ＣＰＨＰ」のプロセスモジュールが設けられているものとする。

【0052】

プロセスモジュールＦ１４として、識別子が「１４−１ ＤＥＶ」、及び、「１４−１１ＣＰＨＰ」のプロセスモジュールが設けられ、プロセスモジュールＧ１５として、識別子が「１５−１ ＤＥＶ」、及び、「１５−１１ＣＰＨＰ」のプロセスモジュールが設けられているものとする。また、プロセスモジュールＨ１０として、識別子が「３０−１ ＣＰＬ」、「３０−２ ＴＲＳ」、「３０−３ ＣＰＬ」、「３０−４ ＴＲＳ」、「１１−４５ ＴＲＳ」、「１２−４５ ＴＲＳ」、「１３−４５ ＴＲＳ」、「１４−４５ ＴＲＳ」、及び、「１５−４５ ＴＲＳ」のプロセスモジュールが設けられているものとする。

【0053】

これらのプロセスモジュールにおいて、識別子に「ＴＲＳ」が付されているプロセスモジュールは、基板Ｗの受け渡しを行う。識別子に「ＣＯＴ」が付されているプロセスモジュールは、基板Ｗの表面にレジストを塗布し、基板Ｗを回転させてレジスト膜を形成する。識別子に「ＤＥＶ」が付されているプロセスモジュールは、基板Ｗの表面に現像液を塗布し、そして、現像処理を行う。識別子に「ＣＰＨＰ」が付されたプロセスモジュールは、基板Ｗに熱処理を行う。識別子に「ＣＰＬ」が付されたプロセスモジュールは、加熱された基板Ｗに対して冷却処理を行う。

【0054】

図７は、搬送アームがアクセスするプロセスモジュールを示す表である。図７の上段の搬送アームが、下段のプロセスモジュールにアクセス可能となっている。例えば、第１搬送アームＸ１は、識別子が「１−１ ＦＵＳＴ」及び「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールにアクセスする。また、図７において、プロセスモジュールの識別子の横に星印が付されているものは、複数の搬送アームからアクセスされるものである。例えば、識別子が「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールは、第１搬送アームＸ１と第３搬送アームＸ３とからアクセスされる。搬送アームのプロセスモジュールに対する位置調整は、位置調整の対象とする搬送アームがアクセス可能なすべてのプロセスモジュールに対して行われる。例えば、第１搬送アームＸ１は、識別子が「１−１ ＦＵＳＴ」、及び、「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して位置調整を行う。

【0055】

次に、制御部Ｊ１によって行われる処理の流れについて説明する。図８は、制御部Ｊ１によって行われる処理の流れを示すフローチャートである。図８に示すように、グループ決定部Ｊ１０は、同じプロセスモジュールに対してアクセスしない搬送アーム同士を同じグループにグループ分し、搬送アーム組み合わせテーブルを作成する（ステップＳ１０１：グループ分けをする工程）。具体的には、まず、グループ決定部Ｊ１０は、搬送アームの動作時に互いに干渉する搬送アームについての情報を取得する。この情報は、例えばテーブル保持部Ｊ１４に記憶させておくことができる。本実施形態では、図９の表に示すように、左側に記載された搬送アームの動作時に、右側に記載された搬送アームに干渉する場合が生じ得る。例えば、図９に示す例では、第１搬送アームＸ１と、第２搬送アームＸ２又は第３搬送アームＸ３とが同じプロセスモジュールにアクセスすることで互いに干渉する場合が生じ得る。グループ決定部Ｊ１０は、図９に示す表のように、対象となる搬送アームと、この搬送アームの動作時に干渉する場合が生じ得る搬送アームとが対応付けられた情報を取得する。

【0056】

次に、グループ決定部Ｊ１０は、図９に示す互いに干渉する搬送アームについての情報に基づいて、搬送アームＸ１〜Ｘ６及びＣ１１Ｘ〜Ｇ１５ＸがプロセスモジュールＢ１０、Ｈ１０及びＣ１１〜Ｇ１５にアクセスしたときに同じプロセスモジュールに対してアクセスしない搬送アーム同士を同じグループにグループ分けをする。具体的には、図１０に示すように、第１搬送アームＸ１と、第１１〜第１５搬送アームＣ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘと、第６搬送アームＸ６とを「組み合わせ１」のグループにグループ分けをする。ここで、第３搬送アームＸ３は、第４搬送アームＸ４と同時に動作させても互いに干渉することがなく、或は、第５搬送アームＸ５と同時に動作させても互いに干渉することがない。同様に、第２搬送アームＸ２は、第４搬送アームＸ４と同時に動作させても互いに干渉することがなく、或は、第５搬送アームＸ５と同時に動作させても互いに干渉することがない。このように、例えば、第３搬送アームＸ３を第５搬送アームＸ５と同じグループにするか、或は、第３搬送アームＸ３を第４搬送アームＸ４と同じグループにするかのように、グループ分けのパターンが複数存在する場合がある。

【0057】

以下では、グループ分けのパターンが複数存在する場合における第２〜第５搬送アームＸ２〜Ｘ５のグループ分け方法について具体的に説明する。まず、グループ決定部Ｊ１０は、搬送アームが各プロセスモジュールに対して位置調整を行う際の調整時間を取得する。この調整時間は、搬送アーム毎に、位置調整対象のプロセスモジュール毎の調整時間が求められている。本実施形態では、図１１に示す表のように、搬送アームの識別子と、位置調整対象のプロセスモジュールと、調整方法と、調整時間とが対応付けされた情報を取得する。この情報は、例えば、テーブル保持部Ｊ１４に保持させておくことができる。

【0058】

グループ決定部Ｊ１０は、取得した情報に基づき、搬送アーム毎の調整時間を算出する。本実施形態では、例えば、図１２に示すように、第２搬送アームＸ２の調整時間が６分３０秒、第３搬送アームＸ３の調整時間が１１分、第４搬送アームＸ４の調整時間が５分、第５搬送アームＸ５の調整時間が７分となっている。

【0059】

グループ決定部Ｊ１０は、第２搬送アームＸ２及び第３搬送アームＸ３のうち、位置調整時間が長いものを選択する。ここでは、第３搬送アームＸ３が選択される。なお、第２搬送アームＸ２と第３搬送アームＸ３とは、動作時に互いに干渉する場合が生じ得るもの同士である。また、グループ決定部Ｊ１０は、第４搬送アームＸ４及び第５搬送アームＸ５のうち、位置調整時間が長いものを選択する。ここでは、第５搬送アームＸ５が選択される。なお、第４搬送アームＸ４と第５搬送アームＸ５とは、動作時に互いに干渉する場合が生じ得るもの同士である。そして、グループ決定部Ｊ１０は、選択された、第３搬送アームＸ３と第５搬送アームＸ５とを「組み合わせ２」のグループにグループ分けをする。

【0060】

次に、グループ決定部Ｊ１０は、第２搬送アームＸ２及び第３搬送アームＸ３のうち、第３搬送アームＸ３の次に位置調整時間が長いもの、即ち、第２搬送アームＸ２を選択する。また、グループ決定部Ｊ１０は、第４搬送アームＸ４及び第５搬送アームＸ５のうち、第５搬送アームＸ５の次に位置調整時間が長いもの、即ち、第４搬送アームＸ４を選択する。そして、グループ決定部Ｊ１０は、選択された、第２搬送アームＸ２と第４搬送アームＸ４とを「組み合わせ３」のグループにグループ分けをする。

【0061】

なお、グループ決定部Ｊ１０は、第３搬送アームＸ３と第５搬送アームＸ５とのグループ、及び、第２搬送アームＸ２と第４搬送アームＸ４とのグループのうち、位置調整時間の長い方の組み合わせを「組み合わせ２」とし、位置調整時間の短い方の組み合わせを「組み合わせ３」とする（図１０参照）。なお、本実施形態では、「組み合わせ１」〜「組み合わせ３」の順に、搬送アームの位置調整を実行する。即ち、位置調整は、位置調整時間の長い方の組み合わせから先に実行する。グループ決定部Ｊ１０は、決定された搬送アームのグループ分け結果を、搬送アーム組み合わせテーブルとして、テーブル保持部Ｊ１４に保存する。

【0062】

次に、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、上述したように、モジュール調整結果テーブルと、モジュール状態テーブルとを作成する（ステップＳ１０２）。図１３（ａ）は、モジュール調整結果テーブルを示し、図１３（ｂ）はモジュール状態テーブルを示す。図１３（ａ）において、プロセスモジュールの横に星印が付されているものは、複数の搬送アームからアクセスされるものである。また、図１３（ａ）において、位置調整開始前の初期状態においては、位置調整が未実施であるため、調整結果欄に未実施が入力される。

【0063】

本実施形態では、例えば、第３搬送アームＸ３が、識別子「１０−４ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して位置調整を行う場合、第３搬送アームＸ３が識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果に基づいて位置調整を実行可能である。このため、図１３（ａ）の欄Ｌ１に示すように、「調整方法」が「コピー」となり、「コピー元」欄にはコピー元のプロセスモジュールの識別子「１０−３ ＴＲＳ」が入力される。また、図１３（ｂ）において、初期状態では、各プロセスモジュールの状態は「ノーマル」となっている。

【0064】

次に、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、位置調整開始前における調整対象外判定処理を行う。この処理では、位置調整の開始前に、位置調整の対象とするグループについて、予め位置調整を行わない搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせを判定する。具体的には、図１４に示すように、まず、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、調整対象外の判定を行う対象の搬送アームとプロセスモジュールとの組を抽出する。そして、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール状態テーブルを参照し、判定対象のプロセスモジュールの状態がノーマルであるか否かを判定する（ステップＳ２０１）。

【0065】

判定対象のプロセスモジュールの状態がノーマルである場合（ステップＳ２０１：ＹＥＳ）、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール調整結果テーブルを参照し、判定対象の搬送アームとプロセスモジュールとにおける位置の調整方法がコピーであるか否かを判定する（ステップＳ２０２）。位置の調整方法がコピーである場合（ステップＳ２０２：ＹＥＳ）、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール状態テーブルを参照し、コピー元のプロセスモジュールの状態がノーマルであるか否かを判定する（ステップＳ２０３）。

【0066】

コピー元のプロセスモジュールの状態がノーマルである場合（ステップＳ２０３：ＹＥＳ）、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、判定対象の搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせについて、位置調整の対象とする（ステップＳ２０４）。具体的には、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール調整結果テーブルの「調整対象外」欄に「○」を付さない。また、プロセスモジュールの状態がノーマルであり、且つ、位置の調整方法がコピーでない場合（ステップＳ２０２：ＮＯ）にも、判定対象の搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせについて、位置調整の対象とする（ステップＳ２０４）

【0067】

一方、判定対象のプロセスモジュールの状態がノーマルでない場合（ステップＳ２０１：ＮＯ）、或は、コピー元のプロセスモジュールの状態がエラーである場合（ステップＳ２０３：ＮＯ）、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、判定対象の搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせについて、位置調整の対象としない（ステップＳ２０５）。具体的には、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、モジュール調整結果テーブルの「調整対象外」欄に「○」を付す。調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、上述した調整対象外であるか否かの判定を、搬送アームとプロセスモジュールとの全ての組み合わせについて行う。

【0068】

なお、本実施形態では、位置調整開始前の初期状態において、プロセスモジュールの状態（図１３（ｂ）参照）が全てノーマルとなっているため、調整対象外となるプロセスモジュールは生じない。このため、位置調整開始前の初期状態においては、この調整対象外の判定を行わなくてもよい。但し、初期状態であっても、プロセスモジュールの状態がエラーである場合が生じ得る。このような場合、この調整対象外の判定処理を位置調整開始前の初期状態において実行することが好ましい。

【0069】

次に、実行指示部Ｊ１２は、搬送アームの組み合わせテーブルに従って、搬送アームに対して、プロセスモジュールにアクセスする際のアクセス位置の位置調整の実行を指示する。本実施形態では、まず「組み合わせ１」のグループに含まれる搬送アームに対して同時に位置調整の実行を指示する。組み合わせ１のグループに含まれる搬送アームは、同時に位置調整を実行しても、互いに干渉することがない。また、実行指示部Ｊ１２は、例えば、ある搬送アームが複数のプロセスモジュールに対して位置調整の実行を指示する場合、プロセスモジュールに付された識別子に基づいた順序に指示をする。

【0070】

また、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、位置調整の結果が行われる毎に、モジュール調整結果テーブルの「調整結果」欄及びモジュール状態テーブルの「状態」欄を更新する。

【0071】

更に、実行指示部Ｊ１２は、搬送アームとプロセスモジュールとのそれぞれの組について、位置調整の実行指示を行う前に、この組み合わせが位置調整の対象であるかの判定を行う。この判定は、位置調整を順次行う中で、あるプロセスモジュールにエラーが生じ、後続の組み合わせにおいて位置調整の対象外となる組を、位置調整の対象から除外するために行う。

【0072】

具体的には、図１５に示すように、まず、実行指示部Ｊ１２は、位置調整の実行指示の対象となる搬送アームとプロセスモジュールとの組において、調整方法がコピーであるか否かを判定する（ステップＳ３０１）。調整方法がコピーでない場合（ステップＳ３０１：ＮＯ）、実行指示部Ｊ１２は、この搬送アームとプロセスモジュールとの組を調整対象とし（ステップＳ３０４）、位置調整の実行を指示する（図８のステップＳ１０４：位置調整の実行を指示する工程）。

【0073】

一方、調整方法がコピーである場合（ステップＳ３０１：ＹＥＳ）、実行指示部Ｊ１２は、コピー元のプロセスモジュールの調整結果が異常終了であるか否かを判定する（ステップＳ３０２）。プロセスモジュールが異常終了であるか否かは、モジュール調整結果テーブルを参照することで把握することができる。コピー元のプロセスモジュールの調整結果が異常終了でない場合（ステップＳ３０２：ＮＯ）、実行指示部Ｊ１２は、この搬送アームとプロセスモジュールとの組を調整対象とし（ステップＳ３０４）、位置調整の実行を指示する（図８のステップＳ１０４）。

【0074】

一方、コピー元のプロセスモジュールの調整結果が異常終了である場合（ステップＳ３０２：ＹＥＳ）、実行指示部Ｊ１２は、この搬送アームとプロセスモジュールとの組を調整対象外とする（ステップＳ３０３）。そして、調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、実行指示部Ｊ１２によって調整対象外であると判定された搬送アームとプロセスモジュールとの組み合わせについてモジュール状態結果テーブルの「調整対象外」欄に「○」を付す（モジュール状態テーブルを更新する）。

【0075】

例えば、組み合わせ１の位置調整の実行結果が、図１６に示すように、第１搬送アームＸ１が識別子「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果が調整リトライオーバー、第１１搬送アームＣ１１Ｘが識別子「１１−１１ ＣＰＣＨ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果がモジュールエラー、・・・、であったとする。この場合における、調整結果テーブル作成部Ｊ１１が行うモジュール調整結果テーブルの更新結果は例えば図１７（ａ）に示すものとなり、モジュール状態テーブルの更新結果は例えば図１７（ｂ）に示すものとなる。

【0076】

図１７（ａ）に示す例では、欄Ｌ２において、第１搬送アームＸ１が識別子「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果欄が「異常終了」となる。但し、この第１搬送アームＸ１が識別子「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整の結果は異常終了であるが、この異常終了は調整リトライオーバーであるため、図１７（ｂ）に示すように、識別子「１０−１ ＴＲＳ」のプロセスモジュールの「状態」欄は、ノーマルのままとなる。また、図１７（ａ）に示す例では、欄Ｌ３において、第１１搬送アームＣ１１Ｘが識別子「１１−１１ ＣＰＨＰ」に対して行った位置調整結果欄が「異常終了」となる。この場合の異常終了は、プロセスモジュールのエラーであるため、図１７（ｂ）に示すように、識別子「１１−１１ ＣＰＨＰ」のプロセスモジュールの「状態」欄は、エラーとなる。

【0077】

また、図１７（ａ）に示す例では、欄Ｌ４において、第６搬送アームＸ６が識別子「３０−２ ＴＲＳ」に対して行う位置調整は、識別子「３０−１ ＣＰＬ」のプロセスモジュールの位置調整結果に基づいて行うものである。しかしながら、コピー元の識別子「３０−１ ＣＰＬ」のプロセスモジュールに対して行われた位置調整の結果は、異常終了となっている（図１７（ａ）の欄Ｌ４ａ参照）。このため、第６搬送アームＸ６と識別子「３０−２ ＴＲＳ」との組み合わせについては調整対象外となる。実行指示部Ｊ１２は、調整対象外であるこの組み合わせについては位置調整の実行を指示しない。従って、モジュール調整結果テーブルの「調整結果」欄は、未実施のままとなる。なお、実行指示部Ｊ１２は、コピー元のプロセスモジュールに対する位置調整の実行を先に指示し、コピー元のプロセスモジュールの位置調整の実行指示のあとに、コピー元のプロセスモジュールの位置調整結果を利用するプロセスモジュールに対する位置調整の実行を指示する。このように、組み合わせ１の位置調整の結果に基づいてモジュール調整結果テーブル、及び、モジュール状態テーブルを更新することで、組み合わせ１の位置調整が終了する。

【0078】

次に、実行指示部Ｊ１２は、すべての組み合わせ（組み合わせ１、組み合わせ２、組み合わせ３）について位置調整が終了したか否かを判定し（図８のステップＳ１０５）、全ての組み合わせの位置調整が終了していない場合（ステップＳ１０５：ＮＯ）、上述のステップＳ１０３の処理に戻り、位置調整の実行を指示する。本実施形態では、組み合わせ１についての位置調整の後、組み合わせ２の位置調整を行う。以下、組み合わせ２の位置調整を行う場合の具体例について説明する。

【0079】

組み合わせ１の位置調整の終了後、組み合わせ２のグループについての位置調整の実行の前に、組み合わせ２のグループについての調整対象外判定処理を行う（ステップＳ１０３）。この組み合わせ２について行う位置調整の開始前の調整対象外判定処理は、上述した、組み合わせ１について行った処理と同様である。例えば、図１７（ｂ）に示すように、識別子「１２−３５」及び「１３−４５」のプロセスモジュールの状態がエラーであるため、図１８（ａ）の欄Ｌ５及びＬ６に示す搬送アームとプロセスモジュールの組み合わせが、調整対象外となる。

【0080】

そして、組み合わせ２についての位置調整が実行され（図８のステップＳ１０４）、例えば、組み合わせ２の位置調整の実行結果が、図１９に示すように、第３搬送アームＸ３が識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果が調整リトライオーバー、第５搬送アームＸ５が識別子「３０−３ ＣＰＬ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果がモジュールエラーであったとする。この場合における、調整結果テーブル作成部Ｊ１１が行うモジュール調整結果テーブルの更新結果は例えば図２０（ａ）に示すものとなり、モジュール状態テーブルの更新結果は例えば図２０（ｂ）に示すものとなる。

【0081】

図２０（ａ）に示す例では、例えば、欄Ｌ７において、第３搬送アームＸ３が識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整結果欄が「異常終了」となる。但し、この第３搬送アームＸ３が識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行った位置調整の結果は異常終了であるが、この異常終了は調整リトライオーバーであるため、図２０（ｂ）に示すように、識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールの「状態」欄は、ノーマルのままとなる。また、図２０（ａ）に示す例では、例えば、欄Ｌ８において、第３搬送アームＸ３が識別子「１０−４ ＴＲＳ」に対して行う位置調整は、識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールの位置調整結果に基づいて行うものである。しかしながら、識別子「１０−３ ＴＲＳ」のプロセスモジュールに対して行われた位置調整の結果は、異常終了（調整リトライオーバー）となっている（図２０（ａ）の欄Ｌ７参照）。このため、第３搬送アームＸ３と識別子「１０−４ ＴＲＳ」との組み合わせについては調整対象外となる。実行指示部Ｊ１２は、調整対象外であるこの組み合わせについては位置調整の実行を指示しない。従って、モジュール調整結果テーブルの「調整結果」欄は、未実施のままとなる。このように、組み合わせ２の位置調整の結果に基づいてモジュール調整結果テーブル、及び、モジュール状態テーブルを更新することで、組み合わせ２の位置調整が終了する。

【0082】

次に、実行指示部Ｊ１２は、すべての組み合わせ（組み合わせ１、組み合わせ２、組み合わせ３）について位置調整が終了したか否かを判定し（図８のステップＳ１０５）、全ての組み合わせの位置調整が終了していない場合（ステップＳ１０５：ＮＯ）、上述のステップＳ１０３の処理に戻り、位置調整の実行を指示する。本実施形態では、組み合わせ２についての位置調整の後、組み合わせ３の位置調整を行う。以下、組み合わせ３の位置調整を行う場合の具体例について説明する。

【0083】

組み合わせ２の位置調整の終了後、組み合わせ３のグループについての位置調整の実行の前に、組み合わせ３のグループについて調整対象外判定処理を行う（ステップＳ１０３）。この組み合わせ３について行う位置調整の開始前の調整対象外判定処理は、上述した、組み合わせ１について行った処理と同様である。例えば、図２０（ｂ）に示すように、識別子「３０−１ ＣＰＬ」のプロセスモジュールの状態がエラーであるため、図２１（ａ）の欄Ｌ９に示す搬送アームとプロセスモジュールの組み合わせが、調整対象外となる。また、図２１（ａ）の欄Ｌ１０に示す組み合わせでは、識別子「３０−１ ＣＰＬ」のプロセスモジュールの位置調整の結果に基づいて位置調整が行われる。しかしながら、コピー元の識別子「３０−１ ＣＰＬ」のプロセスモジュールの状態がエラーであるため、図２１（ａ）の欄Ｌ１０に示す搬送アームとプロセスモジュールの組み合わせも、調整対象外となる。

【0084】

そして、組み合わせ３についての位置調整が実行され（ステップＳ１０４）、例えば、組み合わせ３の位置調整は、すべて正常に終了したものとする。この場合、図２２（ａ）に示すように、位置調整が行われた搬送アームとプロセスモジュールの組み合わせにおいて、「調整結果」欄がすべて「正常終了」となる。また、位置調整がすべて正常に終了したため、図２２（ｂ）に示すモジュール状態テーブルは、更新されない。

【0085】

すべての組み合わせ（組み合わせ１、組み合わせ２、組み合わせ３）について位置調整が終了した場合（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、調整結果テーブル出力部Ｊ１３は、調整結果テーブル作成部Ｊ１１によって更新されたモジュール状態テーブルを出力する（ステップＳ１０６）。このモジュール状態テーブルの出力とは、作業者等が視認可能なようにモニタ等の表示装置に出力してもよく、他の装置において利用可能なように、他の装置に出力してもよい。

【0086】

本実施形態は以上のように構成され、グループ決定部Ｊ１０が、同じプロセスモジュールに対して同時にアクセスしない搬送アーム同士を同じグループにグループ分けをする。そして、実行指示部Ｊ１２は、調整結果テーブル作成部Ｊ１１によって決定されたグループ毎に、アクセス位置の位置調整の実行を指示する。この場合、複数の搬送アームからアクセスされるプロセスモジュールがある場合であっても、位置調整の際に搬送アーム同士が干渉することがない。また、互いに干渉しない搬送アーム同士を同じグループにグループ分けし、グループ毎に位置調整の実行を指示することで、例えば、搬送アーム同士の干渉を避けるために一つずつ順番に位置調整の実行を指示する場合に比べて短時間で位置調整を行うことができる。

【0087】

調整結果テーブル作成部Ｊ１１は、位置調整に要する時間が長い搬送アームから順に同じグループにグループ分けをすることができる。この場合、位置調整に長時間を要する搬送アーム同士が同じグループとなるので、位置調整に長時間を要する搬送アームが複数のグループに分散することがなくなり、より一層、短時間で位置調整を行うことができる。

【0088】

プロセスモジュールにエラーが生じている場合、実行指示部Ｊ１２は、搬送アームに対し、エラーが生じているプロセスモジュールに対する位置調整の実行を指示しなくてもよい。これにより、より一層、短時間で位置調整を行うことができる。

【0089】

実行指示部Ｊ１２は、ある搬送アームに対して位置調整の指示を行う際に、他のプロセスモジュールに対して実行された位置調整の結果に基づいて、あるプロセスモジュールの位置調整を実行することができる場合、他のプロセスモジュールに対して行われた位置調整の結果に基づいて位置調整の指示を行ってもよい。この場合には、より一層、短時間で位置調整を完了することができる。

【0090】

以上、種々の実施形態について説明したが、上述した実施形態に限定されることなく、種々の変形形態を構成可能である。例えば、搬送アーム及びプロセスモジュールの数や種類は、上述した構成に限定されない。また、塗布現像装置１に設けられた搬送アームの位置調整を行う場合について説明したが、塗布現像装置１以外の装置に設けられた搬送アームの位置調整を行うこともできる。また、搬送アームの位置調整は、水平方向及び鉛直方向の位置調整に限定されず、種々の位置調整を行うことができる。

【符号の説明】

【0091】

１…塗布現像装置、Ａ１…ロードポート（モジュール）、Ｂ１０，Ｃ１１，Ｄ１２，Ｅ１３，Ｆ１４，Ｇ１５，Ｈ１０…プロセスモジュール（モジュール）Ｊ１０…グループ決定部、Ｊ１２…実行指示部、Ｘ１〜Ｘ６…第１〜第６搬送アーム（搬送装置）、Ｃ１１Ｘ〜Ｇ１５Ｘ…第１１〜第１５搬送アーム（搬送装置）、Ｗ…基板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図15】

【図16】

【図19】

【図13】

【図14】

【図17】

【図18】

【図20】

【図21】

【図22】