特許5797230前駆体組成物、前駆体溶液の混合液、前駆体蒸気、前駆体組成物を供給する方法、及びチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）膜を形成する方法

発明の名称　前駆体組成物、前駆体溶液の混合液、前駆体蒸気、前駆体組成物を供給する方法、及びチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）膜を形成する方法

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 300 位（103件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 340 位（75件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5797230

公報発行日　2015年10月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5797230

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