特許第5797230号(P5797230)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5797230前駆体組成物、前駆体溶液の混合液、前駆体蒸気、前駆体組成物を供給する方法、及びチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）膜を形成する方法
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