特許5798283軸対称及び均一熱プロファイルの真空チャック型ヒーター

発明の名称　軸対称及び均一熱プロファイルの真空チャック型ヒーター

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5798283

公報発行日　2015年10月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5798283

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