特許5805105高アスペクト比ナノ構造におけるパターン崩壊の低減方法

発明の名称　高アスペクト比ナノ構造におけるパターン崩壊の低減方法

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（261件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 139 位（212件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5805105

公報発行日　2015年11月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5805105

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