特許第5813005号(P5813005)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5813005広範囲ウエハ温度制御のための多機能ヒータ/冷却装置ペデスタル
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  • 特許5813005-広範囲ウエハ温度制御のための多機能ヒータ/冷却装置ペデスタル 図000011
  • 特許5813005-広範囲ウエハ温度制御のための多機能ヒータ/冷却装置ペデスタル 図000012