特許5818528極端紫外光生成装置

発明の名称　極端紫外光生成装置

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 529 位（50件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 614 位（36件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5818528

公報発行日　2015年11月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5818528

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