期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第5826761号(P5826761)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
ラム リサーチ コーポレーション
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
青山学院大学
(神奈川県相模原市中央区淵野辺)
▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧
特許
5826761
小型のプラズマチャンバシステム及び方法
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1
2A
2B
2C
2D
3A
3B
3C
3D
3E
3F
3G
3H
3I
3J
3K
3L
3M
3N
3O
3P
4A
4B
4C
4D
5
6A
6B
7
8
9A
9B
10
11A
11B
11C
11D
12A
12B
12C
12D
12E
12F
12G
12H
12I
46
