特許5828887レーザ生成プラズマＥＵＶ光源におけるターゲット材料送出保護のためのシステム及び方法

発明の名称　レーザ生成プラズマＥＵＶ光源におけるターゲット材料送出保護のためのシステム及び方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 168 位（60件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 263 位（33件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5828887

公報発行日　2015年12月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5828887

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5828887「レーザ生成プラズマＥＵＶ光源におけるターゲット材料送出保護のためのシステム及び方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録