【図1A】本発明の第１近接場光と磁界両方測定できるカンチレバーの概略の構成を示す平面図である。

【図1B】本発明の第１近接場光と磁界両方測定できるカンチレバーの概略の構成を示す側面図である。

【図2A】本発明の第１近接場光と磁界両方測定できるカンチレバーの製造方法を説明する図で、カンチレバーと探針の正面側の表面に薄い磁性膜を形成した状態を示すカンチレバーの側面図である。

【図2B】本発明の第１近接場光と磁界両方測定できるカンチレバーの製造方法を説明する図で、カンチレバーと探針の正面側の表面に形成した薄い磁性膜に貴金属の微粒子を付着させた状態を示すカンチレバーの側面図である。

【図2C】本発明の第１近接場光と磁界両方測定できるカンチレバーの別な製造方法を説明する図で、カンチレバーと探針の表面の薄い磁性膜が形成された面とは異なる背面側に貴金属の微粒子を付着させた状態を示すカンチレバーの側面図である。

【図3A】本発明の第１熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の概略の構成を示すブロック図である。

【図3B】本発明の第１熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置のローバーを載置していない状態のYステージと位置決め用の載置部の平面図である。

【図4A】本発明の第１熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する磁界を測定している状態を示すカンチレバーとローバーの断面の側面図である。

【図4B】本発明の第１熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する近接場光を測定している状態を示すカンチレバーと検出器及びローバーの断面の側面図である。

【図5】本発明の第１実施形態と第２熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置を用いて熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する手順を示すフロー図である。

【図6】本発明の第２熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の概略の構成を示すブロック図である。

【図7A】本発明の第２熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する磁界を測定している状態を示すカンチレバーとローバーの断面の側面図である。

【図7B】本発明の第２熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する近接場光を測定している状態を示すカンチレバーとローバーの断面の側面検査方式の概略図である。

【図8A】本発明の第３近接場光と磁界両方測定できる第１のカンチレバーの概略の構成を示す側面図である。

【図8B】本発明の第３近接場光と磁界両方測定できる第２のカンチレバーの概略の構成を示す側面図である。

【図9A】本発明の第３近接場光と磁界両方測定できる第２のカンチレバーの製造方法を説明する図で、カンチレバーと探針の正面側の表面に薄い磁性膜を形成した状態を示す第２のカンチレバーの側面図である。

【図9B】本発明の第３近接場光と磁界両方測定できる第２のカンチレバーの製造方法を説明する図で、カンチレバーと探針の正面側の表面に形成した薄い磁性膜に貴金属の微粒子を付着させた状態を示す第２のカンチレバーの側面図である。

【図9C】本発明の第３近接場光と磁界両方測定できる第２のカンチレバーの製造方法を説明する図で、カンチレバーと探針の正面側の表面に形成した薄い磁性膜と貴金属の微粒子の隙間に光の波長を変換可能な材料の微粒子を付着させた状態を示す第２のカンチレバーの側面図である。

【図10】本発明の第３熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の概略の構成を示すブロック図である。

【図11A】本発明の第３熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する磁界を測定している状態を示す第１のカンチレバーとローバーの断面の側面図である。

【図11B】本発明の第３熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する近接場光を測定している状態を示す第１のカンチレバーと検出器及びローバーの断面の側面図である。

【図12A】本発明の第３熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する磁界を測定している状態を示す第２のカンチレバーとローバーの断面の側面図である。

【図12B】本発明の第３熱アシスト磁気ヘッド素子検査装置の検出原理を説明する図で、ローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する近接場光を測定している状態を示す第２のカンチレバーと検出器及びローバーの断面の側面図である。