特許5833600シリコン層にフィーチャーをエッチングする方法およびその装置

発明の名称　シリコン層にフィーチャーをエッチングする方法およびその装置

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 288 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 93 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5833600

公報発行日　2015年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5833600

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