特許5834632サセプタ、該サセプタを用いた気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法

発明の名称　サセプタ、該サセプタを用いた気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 918 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 452 位（17件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5834632

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5834632

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