発明の名称 検査方法および検査装置
出願人 株式会社SCREENホールディングス (識別番号 207551)
特許公開件数ランキング 94 位(47件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 59 位(56件)(共同出願を含む)
出願人 国立大学法人大阪大学 (識別番号 504176911)
特許公開件数ランキング 438 位(33件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 250 位(23件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5835795
公報発行日 2015年12月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5835795
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