【図1】本発明のフィルド性評価用基板を示す上面図であり、（ａ）は配線パターンを示し、（ｂ）は基板個片サイズのカバーレイに開口するクリアランスパターンを示す。

【図2】フィルド性評価用基板の有底構造の穴径及びピッチを異ならせた４例（（ａ）〜（ｄ））を示す上面図である。

【図3】本発明の銅鍍金液のフィルド性評価方法に用いる（Ａ）温調キットの斜視図、及び（Ｂ）被評価液投入用容器の上方から見た図である。

【図4】本発明の携帯型の銅鍍金液のフィルド性評価装置を示す斜視図である。

【図5】実施例２において、フィルド性評価用基板１０の電極１２を用いて測定した、新建浴液Ａに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図6】実施例２において、フィルド性評価用基板１０の電極２２を用いて測定した、新建浴液Ａに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図7】実施例３において、フィルド性評価用基板１０の電極１２を用いて測定した、液Ｂに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図8】実施例３において、フィルド性評価用基板１０の電極２２を用いて測定した、液Ｂに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図9】実施例４において、フィルド性評価用基板１０の電極１２を用いて測定した、液Ｃに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図10】実施例４において、フィルド性評価用基板１０の電極２２を用いて測定した、液Ｃに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図11】新建浴液Ａ、Ｂ、及びＣの−０．３５Ｖにおける電流絶対値について、液の初期状態の値を１００％として百分率で示した図である。

【図12】新建浴液Ａ、Ｂ、及びＣの−０．３５Ｖにおける積分絶対値について、液の初期状態の値を１００％として百分率で示した図である。

【図13】実施例５において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、新建浴液Ｄに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図14】新建浴液Ｄの−０．３５Ｖにおける電流絶対値について、液の初期状態の値を１００％として百分率で示した図である。

【図15】フィルド性および有底構造について説明するための概念図である。

【図16】実施例６において、フィルド性評価用基板１０の電極２４を用いて測定した、液Ａに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図17】実施例７において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、液Ｅに関する電圧―電流曲線を示す図である。

【図18】実施例７において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、液Ｅに関する比較的低い電圧領域の電圧―電流曲線を示す図である。

【図19】実施例７において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、Ｅ液に関する比較的低い電圧領域の電圧―電流密度曲線を示す図である。

【図20】実施例８において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、Ｅ液に関してレベラー濃度を変化させた場合の電圧―電流曲線を示す図である。

【図21】実施例９において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、Ｅ液に関してポリマー濃度を変化させた場合の電圧―電流曲線を示す図である。

【図22】実施例１０において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、Ｅ液に関してポリマー濃度を変化させた場合の電圧―電流曲線を示す図である。

【図23】実施例１０において、フィルド性評価用基板１０の電極２０を用いて測定した、Ｅ液に関してブライトナー濃度を変化させた場合の電圧に対する電流の微分曲線を示す図である。