特許5835981プラズマエッチング確認装置

発明の名称　プラズマエッチング確認装置

出願人　株式会社ディスコ　（識別番号 134051）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（566件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 42 位（494件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5835981

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5835981

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