特許5836031感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び、電子デバイスの製造方法

発明の名称　感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び、電子デバイスの製造方法

出願人　富士フイルム株式会社　（識別番号 306037311）

　　　　特許公開件数ランキング 30 位（95件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 19 位（133件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5836031

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5836031

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