特許5836230パターン形成方法、感電子線性又は感極紫外線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法

発明の名称　パターン形成方法、感電子線性又は感極紫外線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法

出願人　富士フイルム株式会社　（識別番号 306037311）

　　　　特許公開件数ランキング 27 位（709件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 21 位（811件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5836230

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5836230

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