発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献１では、光学系に存在する残留する収差を、ロンチグラムの局所領域の変化として観察することが開示されている。また、観察者が正焦点位置付近にてフォーカスを変化させ、中心部に方向性を持った線がないロンチグラムを得ることで二回非点を補正している。すなわち、収差測定では、フォーカスやビームの傾斜角を変えて複数枚取得された電子顕微鏡画像から収差の特徴量を抽出し、収差の大きさと方向を表す収差係数を求める。しかし、収差が非常に大きい場合には電子顕微鏡画像が大きく歪むため、特徴量の抽出が困難になる。例えば２回対称１次非点収差（以下Ａ１と表記する）と１回対称２次コマ収差（以下Ｂ２と表記する）は、加速電圧の切り替えや試料交換などの操作に伴って大きく変化することがある。そうした場合、引用文献１のようにユーザーがフォーカスを振りながら電子顕微鏡画像の変化を観察し、Ａ１とＢ２に特徴的なパターンが減少するように電子線の偏向量などを手動で調整しようとすると、以下のような問題が生じる。 すなわち、大きなＡ１とＢ２が残存する場合には、それぞれに起因する歪み量も大きいため、Ａ１とＢ２の調整量を大きく変えないと特徴的なパターンの変化を認めることができない。なので、調整経験の浅いユーザーにとっては、パターンの変化が認められない状態にて、補正したい特定の収差の調整量の大小を適宜判断しながら、正しい方向に調整を進めるのは難しい。調整の前後に係る画像を比較してもパターンの変化が認められない状態では、その前後の調整が正しかったのか判別できないためである。本発明の目的は、従来発明では測定が困難になるほど大きな収差量（例えばＡ１とＢ２）が残留した状態からでも収差を測定することのできる荷電粒子線装置を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、従来方法では測定が困難な収差においても収差を補正することが可能となる。