特許5836906基板処理装置および基板処理方法

発明の名称　基板処理装置および基板処理方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 30 位（239件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25 位（244件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5836906

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5836906

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