特許5838138欠陥観察システムおよび欠陥観察方法

発明の名称　欠陥観察システムおよび欠陥観察方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（57件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 62 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5838138

公報発行日　2015年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5838138

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