特許第5838212号(P5838212)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧

特許5838212半導体製造中にプラズマ成分のフラックス及び蒸着を制御するための方法、並びにそれを実現するための装置