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特許第5847398号(P5847398)
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特許
5847398
ｎ型炭化ケイ素基板を少なくとも部分的に除去することによって炭化ケイ素パワーデバイスを作製する方法、およびそのように作製された炭化ケイ素パワーデバイス
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