特許 5857776 基板保持具及び縦型熱処理装置並びに縦型熱処理装置の運転方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5857776

(24)【登録日】2015年12月25日

(45)【発行日】2016年2月10日

(54)【発明の名称】基板保持具及び縦型熱処理装置並びに縦型熱処理装置の運転方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20160128BHJP

   H01L 21/31 20060101ALI20160128BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/31 E

【請求項の数】7

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2012-26464(P2012-26464)

(22)【出願日】2012年2月9日

(65)【公開番号】特開2013-65808(P2013-65808A)

(43)【公開日】2013年4月11日

【審査請求日】2013年10月29日

(31)【優先権主張番号】特願2011-86618(P2011-86618)

(32)【優先日】2011年4月8日

(33)【優先権主張国】JP

(31)【優先権主張番号】特願2011-186264(P2011-186264)

(32)【優先日】2011年8月29日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091513

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 俊夫

(72)【発明者】

【氏名】松浦 廣行

(72)【発明者】

【氏名】戸羽 勝也

【審査官】 正山 旭

(56)【参考文献】

【文献】 特表２００９−５０６５７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０８１２５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−２３５５０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−００５３７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／０１９１０４２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数枚の基板が棚状に保持された基板保持具を昇降機構により縦型の熱処理炉内に搬入し、基板を熱処理する縦型熱処理装置において、
互いに分割可能に合体された第１の保持具部分及び第２の保持具部分からなる基板保持具と、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分を夫々載置するための第１の載置部及び第２の載置部と、
前記第１の載置部及び第２の載置部を互いに直線に沿って相対的に接離させる機構と前記第１の載置部及び第２の載置部の各々の鉛直軸周りの向きを変える機構とを含み、前記第１の載置部に載置された第１の保持具部分及び前記第２の載置部に載置された第２の保持具部分を互いに合体させるための合体機構と、
互いに合体された前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分に跨って装着することにより両方の保持具部分を互いに結合する結合部材を保持し、当該結合部材を前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分に対して着脱するための結合機構と、
前記第１の載置部及び第２の載置部が互いに離れている状態で、前記第１の載置部及び第２の載置部の各々に対して基板の移載を行うための基板移載機構と、
前記第１の載置部及び第２の載置部と前記昇降機構との間で、前記第１の保持具部分と第２の保持具部分とが合体された前記基板保持具を移載するための保持具移載機構と、を備え、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の各々は、
互いに上下に対向する天板及び底板と、
前記天板及び底板の各々の周縁部に沿って複数設けられ、当該天板と底板とを互いに連結する支柱と、
前記複数の支柱の各々において互いに対応する位置に設けられ、各基板の下面を保持するための保持部と、を備え、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の各々の保持部は、当該第１の保持具部分及び第２の保持具部分が互いに合体したときに、第１の保持具部分に保持された基板と第２の保持具部分に保持された基板とが交互に配列されるように高さ位置が設定されていることを特徴とする縦型熱処理装置。

【請求項2】

前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の各々の保持部は、支柱から伸びだした保持用の爪部として構成されていることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。

【請求項3】

基板は円形基板であり、
前記保持部の少なくとも一つは、基板が載置される保持面が基板の周縁に沿った円弧状に形成されることを特徴とする請求項２記載の縦型熱処理装置。

【請求項4】

第１の保持具部分及び第２の保持具部分に基板を受け渡す側から見て基板の両側に各々設けられた複数の保持部は、基板の保持面が基板の中心側に向けて下方側に傾斜するように設けられ、この保持面により基板の下縁が保持されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の縦型熱処理装置。

【請求項5】

前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の一方には被処理面が下を向くように基板が保持され、前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の他方には被処理面が上を向くように基板が保持され、
前記第１の保持具部分と第２の保持具部分とが合体された状態において、互いに対向する基板の被処理面同士の間隔が互いに対向する基板の裏面同士の間隔よりも大きくなるように、各保持具部分の保持部の高さ位置が設定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の縦型熱処理装置。

【請求項6】

複数枚の基板が棚状に保持された基板保持具を昇降機構により縦型の熱処理炉内に搬入し、基板を熱処理する縦型熱処理装置において、
前記基板保持具として請求項１に記載の基板保持具を用い、
基板移載機構により、第１の載置部に載置された第１の保持具部分及び第２の載置部に載置された第２の保持具部分の各々に対して基板を棚状に保持する工程と、
次いで、前記第１の載置部及び第２の載置部の向きを、第１の保持具部分に対して基板が搬出入される間口及び第２の保持具部分に対して基板が搬出入される間口同士が互いに対向するように設定し、前記第１の載置部及び第２の載置部を直線に沿って接近させることにより前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分を互いに合体させて基板保持具を構成する工程と、
その後、結合部材を前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分に跨って装着することにより両方の保持具部分を互いに結合する工程と、
次に、保持具移載機構により、前記第１の保持具部分と第２の保持具部分とが合体された前記基板保持具を、前記第１の載置部及び第２の載置部から前記昇降機構に移載する工程と、
しかる後、前記昇降機構により基板保持具を縦型の熱処理炉内に搬入して基板に対して熱処理を行う工程と、を含むことを特徴とする縦型熱処理装置の運転方法。

【請求項7】

前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の一方に対して被処理面が下を向くように基板を保持する工程と、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の他方に対して被処理面が上を向くように基板を保持する工程と、を含み、
前記第１の保持具部分と第２の保持具部分とが合体された状態において、互いに対向する基板の被処理面同士の間隔が互いに対向する基板の裏面同士の間隔よりも大きくなるように、各保持具部分の保持部の高さ位置が設定されていることを特徴とする請求項６記載の縦型熱処理装置の運転方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば半導体ウエハ等の基板を多段に保持して縦型熱処理炉に搬入するための基板保持具に基板を搭載する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置の一つとして、多数の半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）に対して一括（バッチ）で熱処理を行う縦型熱処理装置がある。この熱処理装置では、ウエハボートにウエハを棚状に保持させた後、このウエハボートを上昇させて熱処理炉内にロードし、多数枚のウエハに対して所定の熱処理を行うことが行われている。前記ウエハボートでは、支柱に形成された溝部にウエハの裏面側周縁部が載置されることにより、多数枚例えば１００枚のウエハＷが多段に保持されるようになっている。この際、ウエハボートの溝部にウエハを移載するときには、ウエハを保持したフォークを当該溝部の上方側に進入してから下降させて溝部にウエハを受け渡し、溝部の下方側において後退することが行われている。

【0003】

この熱処理装置では、スループットの向上を図るために、搭載するウエハの配列ピッチをできるだけ狭くして、ウエハボートに搭載するウエハの枚数を増やすことが要請されている。しかしながら、ウエハを移載時にはフォークの移載マージンが必要であり、このマージンを狭くすると、ウエハの移載に厳しい精度が必要となって移載作業が困難となる。従って、ウエハＷの配列ピッチを現状の６．３ｍｍ程度から、さらに狭めることは現実的ではないという問題がある。

【0004】

ところで、特許文献１には、被処理基板の下面周辺の一部を支える第１基板載置部を備えた固定ボートと、前記被処理基板の下面周辺の他部を支える第２基板載置部を備えた可動側ボートと、を備えた半導体製造装置が記載されている。この構成では、固定ボートの第１基板載置部に移載ホークにより被処理基板を移載した後、可動側ボートを上昇させて、第２基板載置部により当該被処理基板の他部を支えることが行われている。

【0005】

しかしながら、特許文献１の構成では、第１基板載置部に対して移載ホークにより被処理基板を受け渡しが行われるので、移載マージンを確保するために配列ピッチを狭めることはできず、この構成を用いても本発明の課題を解決することはできない。

【0006】

【特許文献1】特開２０００−２３５９７４号公報（段落００３３、００３５）

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、複数枚の基板が多段に配列される基板保持具において、移載マージンを確保しながら、基板の配列間隔を狭くすることができる技術を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、複数枚の基板が棚状に保持された基板保持具を昇降機構により縦型の熱処理炉内に搬入し、基板を熱処理する縦型熱処理装置において、
互いに分割可能に合体された第１の保持具部分及び第２の保持具部分からなる基板保持具と、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分を夫々載置するための第１の載置部及び第２の載置部と、
前記第１の載置部及び第２の載置部を互いに直線に沿って相対的に接離させる機構と前記第１の載置部及び第２の載置部の各々の鉛直軸周りの向きを変える機構とを含み、前記第１の載置部に載置された第１の保持具部分及び前記第２の載置部に載置された第２の保持具部分を互いに合体させるための合体機構と、
互いに合体された前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分に跨って装着することにより両方の保持具部分を互いに結合する結合部材を保持し、当該結合部材を前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分に対して着脱するための結合機構と、
前記第１の載置部及び第２の載置部が互いに離れている状態で、前記第１の載置部及び第２の載置部の各々に対して基板の移載を行うための基板移載機構と、
前記第１の載置部及び第２の載置部と前記昇降機構との間で、前記第１の保持具部分と第２の保持具部分とが合体された前記基板保持具を移載するための保持具移載機構と、を備え、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の各々は、
互いに上下に対向する天板及び底板と、
前記天板及び底板の各々の周縁部に沿って複数設けられ、当該天板と底板とを互いに連結する支柱と、
前記複数の支柱の各々において互いに対応する位置に設けられ、各基板の下面を保持するための保持部と、を備え、
前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分の各々の保持部は、当該第１の保持具部分及び第２の保持具部分が互いに合体したときに、第１の保持具部分に保持された基板と第２の保持具部分に保持された基板とが交互に配列されるように高さ位置が設定されていることを特徴とする。

【0010】

他の発明である縦型熱処理装置の運転方法は、複数枚の基板が棚状に保持された基板保持具を昇降機構により縦型の熱処理炉内に搬入し、基板を熱処理する縦型熱処理装置において、
前記基板保持具として請求項１に記載の基板保持具を用い、
基板移載機構により、第１の載置部に載置された第１の保持具部分及び第２の載置部に載置された第２の保持具部分の各々に対して基板を棚状に保持する工程と、
次いで、前記第１の載置部及び第２の載置部の向きを、第１の保持具部分に対して基板が搬出入される間口及び第２の保持具部分に対して基板が搬出入される間口同士が互いに対向するように設定し、前記第１の載置部及び第２の載置部を直線に沿って接近させることにより前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分を互いに合体させて基板保持具を構成する工程と、
その後、結合部材を前記第１の保持具部分及び第２の保持具部分に跨って装着することにより両方の保持具部分を互いに結合する工程と、
次に、保持具移載機構により、前記第１の保持具部分と第２の保持具部分とが合体された前記基板保持具を、前記第１の載置部及び第２の載置部から前記昇降機構に移載する工程と、
しかる後、前記昇降機構により基板保持具を縦型の熱処理炉内に搬入して基板に対して熱処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、基板保持具を、互いに分割可能に合体された第１の保持具部分及び第２の保持具部分より構成し、第１の保持具部分及び第２の保持具部分には、これらが互いに合体したときに、第１の保持具部分に保持された基板と第２の保持具部分に保持された基板とが交互に配列されるように、夫々保持部が設けられている。このため、第１の保持具部分及び第２の保持具部分に夫々基板を移載してから、これら第１の保持具部分及び第２の保持具部分を合体させて基板保持具を構成すると、基板保持具に搭載される基板の配列間隔は、第１の保持具部分及び第２の保持具部分へ移載するときの配列間隔よりも狭くなる。このため、移載マージンを確保しながら、基板保持具に搭載される基板の配列間隔を狭くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明にかかるウエハボートの一実施の形態の概略を示す側面図である。

【図2】前記ウエハボートを示す斜視図である。

【図3】前記ウエハボートを構成する第１のボート部と第２のボート部を示す斜視図である。

【図4】前記ウエハボートの天板を示す平面図である。

【図5】前記ウエハボートの保持部を示す平面図である。

【図6】前記第１のボート部及び第２のボート部を示す側面図である。

【図7】前記ウエハボートの一部を示す斜視図である。

【図8】前記第１のボート部及び第２のボート部を示す斜視図である。

【図9】前記第１のボート部及び第２のボート部を示す側面図である。

【図10】前記ウエハボートを備えた熱処理装置の一例を示す平面図である。

【図11】前記熱処理装置を示す側面図である。

【図12】前記熱処理装置に設けられたボート合体機構の一例を示す構成図である。

【図13】前記ウエハボートを備えた熱処理装置の一例を示す平面図である。

【図14】前記熱処理装置に設けられた結合機構の一例を示す構成図である。

【図15】前記結合機構を示す側面図である。

【図16】前記結合機構を示す平面図である。

【図17】前記熱処理装置に設けられたボート搬送機構の一例を示す平面図である。

【図18】前記ボート搬送機構を示す側面図である。

【図19】前記熱処理装置に設けられた断熱ユニットの一例を示す側面図である。

【図20】本発明のウエハボートの他の例を示す側面図である。

【図21】本発明のウエハボートの他の例を示す側面図である。

【図22】前記他の例のウエハボートを備えた熱処理装置に設けられる基板移載機構と第２のボート部を示す側面図である。

【図23】前記他の例のウエハボートを備えた熱処理装置に設けられる基板移載機構と第１のボート部１を示す側面図である。

【図24】本発明のさらに他の例のウエハボートを示す平面図である。

【図25】本発明のさらに他の例のウエハボートを示す側面図である。

【図26】本発明のさらに他の例のウエハボートを示す側面図である。

【図27】本発明のさらに他の例のウエハボートを示す平面図である。

【図28】本発明の保持部の他の例を示す平面図である。

【図29】本発明の保持部の他の例を示す平面図である。

【図30】本発明の保持部のさらに他の例を示す側面図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0013】

以下に本発明に係る縦型熱処理装置の一実施の形態について説明する。先ず、前記縦型熱処理装置に設けられる本発明の基板保持具の概要について、図１の概略図を用いて説明する。前記基板保持具は、複数枚の基板であるウエハＷを棚状に保持し、これらウエハＷを熱処理するために縦型の熱処理炉内に搬入するものであり、互いに分割可能に合体された第１の保持具部分をなす第１のボート部１と、第２の保持具部分をなす第２のボート部２とにより構成されている。前記第１のボート部１は、第１のウエハＷ１を上下方向に所定間隔で配列保持する第１の保持部１１を備えており、前記第２のボート部２は、第２のウエハＷ２を上下方向に所定間隔で配列保持する第２の保持部２１を備えている。

【0014】

前記第１の保持部１１と第２の保持部２１とは、上下方向に隣接する第１の保持部１１同士の間の高さ位置に、第２の保持部２１が対応するように構成されている。そして、第１のボート部１及び第２のボート部２は、夫々第１のウエハＷ１及び第２のウエハＷ２を搭載された後に、１つのウエハボート３に合体されるように構成されている。こうして、当該ウエハボート３には、第１のウエハＷ１と第２のウエハＷ２とが交互に搭載された状態になる。

【0015】

続いて、前記ウエハボート３の詳細について、図２〜図９を用いて説明する。第１のボート部１及び第２のボート部２は、夫々半円形状の天板１２，２２と、半円形状の底板１３，２３と、を備え、これら天板１２，２２と底板１３，２３は互いに上下に対向するように設けられている。前記天板１２，２２は、例えば図２〜図４に示すように、円の中心を通る中心線で切断した一方側の半円と他方側の半円とにより構成され、前記底板１３，２３は、例えば天板１２，２２と同じ形状に夫々形成されている。これにより、前記第１のボート部１及び第２のボート部２の天板１２，２２同士及び、底板１３，２３同士は、互いに前記中心線よりなる直線領域１４，２４が接合できるように構成されている。そして、夫々の天板１２，２２及び底板１３，２３を接合すると、ウエハボート３の円形状の天板３１及び底板３２が形成されるようになっている。

【0016】

また、第１のボート部１は、前記天板１２及び底板１３の各々の周縁部に沿って複数設けられ、当該天板１２と底板１３とを互いに連結する例えば３本の支柱１５ａ〜１５ｃを備えている。例えば支柱１５ａ〜１５ｃは、図２〜図５に示すように、天板１２及び底板１３の周縁部に沿って互いに離れて設けられており、中央の支柱１５ｂは、天板１２及び底板１３の外縁のほぼ中央部に設けられ、両側の支柱１５ａ，１５ｃは、夫々天板１２及び底板１３の直線領域１４の近傍に設けられている。

【0017】

これら支柱１５ａ〜１５ｃには、これら支柱１５ａ〜１５ｃの各々において互いに対応する位置に設けられ、各ウエハＷ１の下面を保持するための保持部１６ａ〜１６ｃが夫々設けられている。この例では、保持部１６ａ〜１６ｃは、支柱から伸びだした保持用の爪部として構成されており、ウエハＷ１を略水平に保持するために、この例では、両側の支柱１５ａ，１５ｃには、天板１２及び底板１３から直線領域１４を越えて外部に略水平に突出するように、側方保持部１６ａ，１６ｃが夫々設けられている。また、例えば中央の支柱１５ｂには、直線領域１４の中央に向って略水平に伸びるように、中央保持部１６ｂが設けられている。

【0018】

これら中央保持部１６ｂ及び側方保持部１６ａ，１６ｃは、夫々幅狭な板状体により構成され、夫々支柱１５ｂ，１５ａ，１５ｃに、配列間隔Ａで固定されている。この例では、中央保持部１６ｂ及び側方保持部１６ａ，１６ｃにより第１の保持部が構成されている。ここで、配列間隔とは、図６に示すように、上段側の保持部１６ａ〜１６ｃの表面と、下段側の保持部１６ａ〜１６ｃの表面との間の間隔をいう。

【0019】

同様に、第２のボート部２は、前記天板２２及び底板２３の各々の周縁部に沿って複数設けられ、当該天板２２と底板２３とを互いに連結する例えば３本の支柱２５ａ〜２５ｃを備えている。また、前記支柱２５ａ〜２５ｃの各々には、互いに対応する位置に設けられ、各ウエハＷ２の下面を保持するための保持部２６ａ〜２６ｃが設けられており、これら保持部２６ａ〜２６ｃは支柱２５ａ〜２５ｃから伸び出した保持用の爪部として構成されている。これら支柱２５ａ〜２５ｃ、及び中央保持部２６ｂ，側方保持部２６ａ，２６ｃのレイアウトや形状は、図４及び図５に示すように、天板１２，２２（底板１３，２３）同士を接合させて、円形の天板３１（底板３２）を形成したときに、直線領域１４，２４に基づいて互いに線対称になるように設定されている。これら中央保持部２６ｂ及び側方保持部２６ａ，２６ｃは、夫々支柱２５ｂ，２５ａ，２５ｃに、第１の保持部１６ａ〜１６ｃと同じ個数分、配列間隔Ａで固定されている。これら中央保持部２６ｂ及び側方保持部２６ａ，２６ｃにより第２の保持部が構成され、この例では、ウエハＷ２を略水平に保持するために、側方保持部２６ａ，２６ｃが天板２２（底板２３）から伸び出すように構成されている。

【0020】

そして、これら第１のボート部１及び第２のボート部２は、天板１２，２２及び底板１３，２３の直線領域１４，２４同士を接合するように合体できるように構成されている。この際、前記第１の保持部１６ａ〜１６ｃ及び第２の保持部２６ａ〜２６ｃの各々は、第１のボート部１及び第２のボート部２が互いに合体したときに、第１のボート部１に保持されたウエハＷ１と第２のボート部２に保持されたウエハＷ２とが交互に配列されるように高さ位置が設定されている。より具体的には、例えば最上段の第２の保持部２６ａ〜２６ｃの表面が最上段の第１の保持部１６ａ〜１６ｃの表面よりもＡ／２分低い位置になるように設定されている。これにより、第１及び第２のボート部１，２を合体させると、図７〜図９に示すように、上下方向に隣接する第１の保持部１６ａ〜１６ｃ同士の間の高さ位置に、第２の保持部２６ａ〜２６ｃが入り込み、これら第１の保持部１６ａ〜１６ｃと第２の保持部２６ａ〜２６ｃとが、Ａ／２の配列間隔で上下に配列されるように構成されている。

【0021】

図５に示すように、前記第１の保持部１６ａ〜１６ｃ及び第２の保持部２６ａ〜２６ｃは、ウエハＷを保持する保持面が細長く伸びる長ツメ形状に形成されている。このウエハＷの保持面とは、保持部１６ａ〜１６ｃ，２６ａ〜２６ｃにおいて、ウエハＷの裏面側が載置される領域であり、これら保持部１６ａ〜１６ｃ，２６ａ〜２６にウエハＷを受け渡す際に、多少ウエハＷが移動する場合もあることから、このウエハＷの移動分も見込んだ領域である。

【0022】

これら保持部１６ａ〜１６ｃ，２６ａ〜２６ｃは、保持面を大きくすると、ウエハの自重による応力を分散できる上、ウエハを安定して保持することができるが、ウエハＷの面内において、保持面と接触する部位と接触していない部位との間で、温度差が生じるおそれもある。従って、熱処理の面内均一性を妨げない程度に保持面を大きくとることが要求され、上述の実施の形態では、保持面は、幅が狭く、長さが大きい長ツメ形状に構成されている。例えば前記保持部１６ａ〜１６ｃ、２６ａ〜２６ｃの幅Ｌ１は例えば１０ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは２０ｍｍに設定される。

【0023】

また、パターン形成領域の熱処理の面内均一性を考慮すると、パターン形成領域の内側へ伸び出す程度を抑えることが好ましい。このため、例えば中央保持部１６ａ，２６ｂの保持面の長さＬ２は例えば２０ｍｍ〜４０ｍｍ、好ましくは３０ｍｍに設定される。

【0024】

また、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）は、直線領域１４（２４）を越えて伸び出すように設けられればよいが、前記パターン形成領域への影響を考えて、ウエハＷの周縁近傍に伸び出すように設けることが好ましい。さらに、この例では、熱処理の面内均一性を高めるために、保持面の先端部のウエハＷの外縁からの距離が、中央保持部１６ａ，２６ｂと揃えられている。つまり、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）の先端部は、ウエハＷの外縁から距離Ｌ２分内側の位置まで伸び出すように設けられ、これにより、中央保持部１６ａ，２６ｂの先端部と、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）の先端部の位置は、共にウエハＷの外縁から距離Ｌ２分内側の位置することになる。

【0025】

このような側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）の寸法の一例を示すと、保持面の長さ例えば直線領域１４，２４から最も離れた端部Ｐ１と先端部との距離Ｌ３は例えば４０ｍｍ〜８０ｍｍ、好ましくは６０ｍｍに設定される。また、直線領域１４（２４）から外側へ突出した部位の長さ（中心領域１４，２４から最も離れた部位Ｐ２と先端部との距離）Ｌ４は例えば２０ｍｍ〜６０ｍｍ、好ましくは４０ｍｍに設定される。さらに、例えば直線領域１４（２４）とのなす角θは例えば５０度〜７０度、好ましくは６０度に設定される。

【0026】

このようなウエハボート３は、図８に示すように、第１のボート部１及び第２のボート部２に夫々ウエハＷ１及びウエハＷ２を搭載してから、両ボート部１，２が合体されるように構成されている。そして、こうして構成されたウエハボート３は、結合部材３３により天板１２，２２同士が互いに結合されるように構成されている。この結合部材３３は、前記第１のボート部１及び第２のボート部２を互いに結合させるために、前記第１のボート部１及び第２のボート部２に対して着脱自在に設けられており、例えば図２に示すように、キャップ部３４の下部に２本の足部３５ａ，３５ｂを備えて構成されている。一方、天板１２，２２には、前記足部３５ａ，３５ｂに対応する位置に孔部１２ａ，２２ａが夫々形成されている。こうして、前記第１のボート部１及び第２のボート部２を合体させた後、夫々の天板１２，２２の孔部１２ａ，２２ａに、結合部材３３の足部３５ａ，３５ｂを夫々挿入することにより、天板１２，２２同士が結合されるようになっている。

【0027】

また、底板１３，２３の下面には、図２及び図３に示すように、支持脚３６ａ，３６ｂが設けられている。これら支持脚３６ａ，３６ｂは、ウエハＷ１，Ｗ２を搭載した第１のボート１及び第２のボート２を支えることができる形状に設定されている。なお、図１、図６、図８、図９では、図示の便宜上、支持脚３６ａ，３６ｂを省略して描いている。前記第１のボート部１及び第２のボート部２を構成する部材、例えば天板１２，２２、底板１３，２３、支柱１５ａ〜１５ｃ，２５ａ〜２５ｃ，保持部１６ａ〜１６ｃ，２６ａ〜２６ｃ、結合部材３３、支持脚３６ａ，３６ｂは例えば石英により構成されている。

【0028】

続いて、既述のウエハボート３を備えた縦型熱処理装置４の一例について、図１０〜図１９を参照して説明する。図１０中４０は処理室、４１は多数枚のウエハＷが多段に収納されたＦＯＵＰであり、この後段側には、基板移載機構４２と、ボート合体機構５とが、この順序で設けられている。前記基板移載機構４２は、ＦＯＵＰ４１とボート合体機構５に載置された第１のボート部１及び第２のボート部２との間でウエハＷの移載を行うものである。このため、基板移載機構４２は、図１１に示すように、基台４３に沿って進退自在に構成されたフォーク４４を備えると共に、前記基台４３が駆動機構４５により昇降自在及び鉛直軸回りに回転自在に構成されている。

【0029】

前記ボート合体機構５は、第１のボート部１及び第２のボート部２を合体させてウエハボート３を構成する機構である。図１２は、ボート合体機構５をＦＯＵＰ４１側から見た構成図である。以下、処理室４０をＦＯＵＰ４１側から見たときに、処理室４０の左右方向を図１０中Ｘ方向、長さ方向を図１０中Ｙ方向として説明を続ける。

【0030】

前記ボート合体機構５は、図１２に示すように、第１のボート１を載置する第１のステージ５１と、第２のボート５２を載置する第２のステージ５２とが、前記左右方向に並ぶように構成されている。前記第１のステージ５１は、第１の載置部をなすものであり、第２のステージ５２は、第２の載置部をなすものである。この例では、ＦＯＵＰ４１から見て左側に第１のステージ５１、右側に第２のステージ５２が夫々設けられている。

【0031】

前記第１のステージ５１は、左右方向に水平移動する第１の移動ベース５１１と、この移動ベース５１１の上に設けられ、鉛直軸回りに回転する第１の回転ベース５１２とを備えている。前記第１の移動ベース５１１は、その下面にボールネジ機構のナット部５１３が設けられ、処理室４０の左右方向に伸びるボールネジ５３をモータＭ１により回転させることによって、前記左右方向に移動自在に設けられている。５３１はカップリング、５３２はガイド部材（図１０参照）である。また、第１の回転ベース５１２は、モータＭ２により回転されるプーリ５１４とベルト５１５との組み合わせにより回転軸５１６が回転するように構成されている。

【0032】

前記第２のステージ５２も、第１のステージ５１と同様に、左右方向に水平移動する第２の移動ベース５２１と、この移動ベース５２１の上に設けられ、鉛直軸回りに回転する第２の回転ベース５２２とを備えている。前記第２の移動ベース５２１は、その下面にボールネジ機構のナット部５２３が設けられ、前記ボールネジ５３をモータＭ１により回転させることによって、前記左右方向に移動自在に設けられている。また、第２の回転ベース５２２は、モータＭ３により回転されるプーリ５２４とベルト５２５との組み合わせにより回転軸５２６が回転するように構成されている。

【0033】

前記ボールネジ５３は、第１のステージ５１のナット側は左ネジが形成されると共に、第２のステージ５２のナット側は右ネジが形成されている。こうして、モータＭ１を回転させると、第１のステージ５１の移動ベースは、処理室４０の一端側の移載位置（図１２及び図１３に示す位置）と、中央の合体位置（図１０に示す位置）との間で、移動自在に構成されている。一方、第２のステージ５２の移動ベースは、モータＭ１の回転により、処理室４０の他端側の移載位置と、中央の合体位置との間で移動自在に構成されている。前記移載位置とは、基板移載機構４２が第１のボート部１及び第２のボート部２との間でウエハＷの受け渡しを行う位置であり、前記合体位置とは、第１のボート部１及び第２のボート部２が接合される位置である。

【0034】

また、モータＭ２，Ｍ３の駆動により、第１及び第２の回転ベース５１２，５２２は、移載方向（図１３に示す方向）と合体方向（図１０に示す方向）との間で向きを変えることができるように構成されている。前記移載方向とは、第１及び第２のボート部１，２の天板１２，２２（底板１３，２３）の直線領域１４，２４が基板移載機構４１側に向く方向である。また、前記合体方向とは、第１及び第２のボート部１，２の前記直線領域１４，２４が互いに対向する方向である。

【0035】

ここで、第１の移動ベース５１１を移載位置にし、第１の回転テーブル５１２を移載方向に向けた状態を第１のステージ５１が移載位置にある状態とし、第２の移動ベース５２１を移載位置にし、第２の回転テーブル５２２を移載方向に向けた状態を第２のステージ５２が移載位置にある状態とする。この場合、第１のステージ５１が移載位置にあるときに、第１のボート部１の第１の保持部１６ａ〜１６ｃに対して、基板移載機構４２のフォーク４４がアクセスでき、第２のステージ５２が移載位置にあるときに、第２のボート部２の第２の保持部２６ａ〜２６ｃに対して、基板移載機構４２のフォーク４４がアクセスできるように、基板移載機構４２やボート合体機構５、第１及び第２のボート部１，２が夫々構成されている。

【0036】

また、第１の回転ベース５１２及び第２の回転ベース５２２を前記合体方向に向けてから、第１の移動ベース５１１及び第２の移動ベース５２１を前記合体位置に移動することにより、第１のボート部１及び第２のボート部２の天板１２，２２及び底板１３，２３の夫々直線領域１４，２４同士が互いに接合され、第１のボート部１及び第２のボート部２が合体して、ウエハボート３が構成されるようになっている。この際、第１の移動ベース５１１及び第２の移動ベース５２１を前記合体位置に移動させてから、第１の回転ベース５１２及び第２の回転ベース５２２を前記合体方向に向けることにより、第１及び第２のボート部１，２を合体させるようにしてもよい。以降では、第１及び第２の回転ベース５１２，５２２が合体方向を向き、第１及び第２の移動ベース５１１，５２１が合体位置にあるときに、第１及び第２のステージ５１，５２が合体位置にあるという。

【0037】

また、前記第１のステージ５１の第１の回転ベース５１２上面には、第１のボート部１の下端である支持脚３６ａが載置される載置部５１７が設けられており、第２のステージ５２の第２の回転ベース５２２の上面には、第２のボート部２の下端である支持脚３６ｂが載置される載置部５２７が設けられている。第１及び第２のボート部１，２の自重により、これらボート部１，２は、載置部５１７，５２７に支持脚３６ａ，３６ｂを介して安定した状態で載置されるので、第１及び第２のステージ５１，５２の移動時に、第１及び第２のボート部１，２の位置ずれが抑えられる。

【0038】

ボート合体機構５の上部側には、図１０及び図１４に示すように、結合機構６が設けられている。この例における結合機構６はアーム部材６１を備えており、このアーム部材６１の基端側は駆動機構６２に接続されている。この駆動機構６２は、図１４〜図１６に示すように、アーム６１を昇降させるシリンダよりなる昇降機構６３と、アーム６１を結合位置とこの結合位置の外方の待機位置との間で旋回移動させるモータＭ４とを備えている。図１４及び図１６中６５ａ，６５ｂはガイド部材である。前記結合位置とは、アーム部材６１の先端が合体位置にて合体されたウエハボート３の天板３１の中央部の上方側にある位置である。

【0039】

また、アーム部材６１の先端には、結合部材３３を保持する保持機構６６が設けられている。この保持機構６６は、ロッド部材６７を介してシリンダ６８に接続され、これらにより開閉自在に構成されている。つまり、シリンダ６８によりロッド部材６７を押圧すると、保持機構６６が閉じて結合部材３３のキャップ部３４を保持することができ、ロッド部材６７の押圧を解除すると、保持機構６６が開いて結合部材３３を離すように構成されている。

【0040】

さらに、処理室４０内におけるボート合体機構５の後段側には、ボート搬送機構７と、ボートエレベータ８と、がこの順序で設けられている。このボート搬送機構７は、第１のボート部１と第２のボート部２とが合体されたウエハボート３をボートエレベータ８に移載するための保持具移載機構をなすものである。この例では、ボート搬送機構７は、ボート合体機構５の合体位置にある第１及び第２のステージ５１，５２と、ボートエレベータ８上の断熱ユニット８１との間でウエハボート３を搬送するように構成されている。

【0041】

ボート搬送機構７は、図１７及び図１８に示すように、ウエハボート３が載置される板状の搬送アーム７１を備え、この搬送アーム７１は、進退機構により進退自在及び昇降機構により昇降自在、かつ回転機構により鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。この例では、前記進退機構はボールネジ機構よりなり、モータＭ５によりカップリング７２１を介してボールネジ７２２を回転させることにより、ナット７２３の上面に設けられた移動ベース７２がボールネジ７２２に沿って移動するように構成されている。図１７中７２５はガイド部材である。

【0042】

また、前記移動ベース７２の上部には、昇降機構をなすシリンダ７３１を介して昇降ベース７３が設けられており、さらに、昇降ベース７３の上には、回転ベース７４を介して搬送アーム７１が水平に設けられている。前記回転ベース７４は、モータＭ６により回転駆動されるプーリ７４１とベルト７４２との組み合わせにより、前記搬送アーム７１を鉛直軸まわりに回転させるようになっている。こうして、モータＭ６、プーリ７４１、ベルト７４２、回転ベース７４により、前記回転機構が構成されている。

【0043】

この例では、第１及び第２のステージ５１，５２が前記合体位置にあるときに、これらステージ５１，５２の直ぐ奥側に搬送アーム７１が位置するように、ボート搬送機構７が設けられている。そして、搬送アーム７１が処理室４０の長さ方向に沿って進退するように配置され、図１１及び図１８に示すように前記合体位置にあるウエハボート３の底板３２の下方側において進退できるように構成されている。この際、搬送アーム７１は前記合体位置にあるウエハボート３を受け取るときには、支持脚３６ａ，３６ｂが設けられている高さ位置にて進退するようになっている。

【0044】

また、搬送アーム７１の先端側は、アーム本体７０から２本の腕部７０ａ，７０ｂが伸び出すように構成されており、一方の腕部７０ａの先端側には、可動アーム７５が取り付けられている。この可動アーム７５は、前記腕部７０ａに沿って伸びる通常位置（図１７中実線で示す位置）と、腕部７０ａに直交する搬送位置（図１７中点線で示す位置）との間で、駆動機構７６により可動自在に構成されている。この駆動機構７６としては、図１７に示すように、例えばロッド７６１とシリンダ７６２とを組み合わせたものが用いられ、シリンダ７６２によりロッド７６１を押圧したときに、可動アーム７５が腕部７０ａに直交するように曲がって搬送位置になり、前記押圧を解除したときには、可動アーム７５が通常位置に戻るようになっている。こうして、可動アーム７５が搬送位置にあるときには、腕部７０ａ，７０ｂ及び可動アーム７５により、合体位置にあるウエハボート３の支持脚３６ａ，３６ｂが囲まれるようになっている。

【0045】

このようなボート搬送機構７では、搬送アーム７１の上にウエハボート３の底板３２を載置して搬送するが、搬送アーム７１における前記底板３２が載置される領域には、図１７及び図１８に示すように、ボート受け部７７が設けられている。この例では、ボート受け部７７は、例えばアーム本体７０と、２本の腕部７０ａ，７０ｂ、可動アーム７５の上面に夫々に設けられている。一方、前記ウエハボート３の底板３２における、ボート受け部７７に対応する領域には段部３２ａが形成されていて、ボート受け部７７にウエハボート３を載置したときの位置合わせを行い、かつウエハボート３の位置ずれを防止できるようになっている。

【0046】

続いて、ボートエレベータ８及び断熱ユニット８１について説明する。前記ボートエレベータ８は、図１１に示すように、ウエハボート３を縦型熱処理炉８５内に搬入、搬出するための保持具昇降機構をなすものであり、図示しない昇降機構により昇降自在に構成されている。また、断熱ユニット８１は例えば石英により構成された保温筒をなすものであり、図１９に示すように、ボートエレベータ８に蓋体８２及び回転テーブル８３を介して設けられている。この断熱ユニット８１の上面における、ウエハボートの支持脚３６ａ，３６ｂが載置される領域には、載置部８４が設けられている。

【0047】

前記ボート合体機構５の合体位置にあるウエハボート３は、搬送アーム７１により底板３２を支持した状態で断熱ユニット８１の上方側まで搬送され、支持脚３６ａ，３６ｂを対応する載置部８４の上方側に位置させてから下降することにより、載置部８４上に受け渡されることになる。こうして、断熱ユニット８１にウエハボート３を載置した後、ボートエレベータ８を上昇させることにより、縦型熱処理炉８５内にウエハボート３を搬入し、蓋体８２により縦型熱処理炉８５の下端側が塞がれるように構成されている。

【0048】

前記縦型熱処理装置４は制御部１００により制御されるように構成されている。この制御部１００は例えばコンピュータからなり、プログラム、メモリ、ＣＰＵを備えている。前記プログラムには制御部１００から縦型熱処理装置４の各部に制御信号を送り、所定の熱処理を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。このプログラムは、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部１００にインストールされる。

【0049】

ここで前記プログラムには、基板移載機構４２、ボート合体機構５、結合機構６、ボート搬送機構７、ボートエレベータ８を制御するためのプログラムも含まれており、制御部１００のメモリに予め記憶されたプロセスレシピに応じて、前記各部が制御されるようになっている。

【0050】

続いて、上述の縦型熱処理装置４の作用について説明する。先ず、ボート合体機構５の第１のステージ５１及び第２のステージ５２を移載位置にして、第１のステージ５１及び第２のステージ５２に夫々第１のボート部１及び第２のボート部２を載置する。また、結合機構６には、結合部材３３のキャップ部３４を保持させて、合体位置の上方側の結合位置に移動しておく。

【0051】

そして、基板移載機構４２により、ＦＯＵＰ４１内のウエハＷを第１のボート部１及び第２のボート部２に夫々移載する。次いで、例えばボート合体機構５の第１の回転ベース５１２及び第２の回転ベース５２２を合体方向にしてから、第１の移動ベース５１１及び第２の移動ベース５２１を合体位置に移動させる。これにより、第１のボート部１及び第２のボート部２が合体され、ウエハＷが搭載されたウエハボート３が構成される。

【0052】

次いで、結合機構６のアーム６１を下降させて、ウエハボート３の天井部３１の孔部１２ａ，２２ａに結合部材３３の足部３５ａ，３５ｂを挿入して、第１のボート部１及び第２のボート部２を結合する。続いて、保持部材６６を開いて結合部材３３のキャップ部３４を離した後、アーム６１を上昇させてから、待機位置まで移動させる。

【0053】

この後、合体位置にあるウエハボート３を、ボート搬送機構７により、断熱ユニット８１に搬送する。先ず、ボート搬送機構７の可動アーム７５を通常位置にした状態で搬送アーム７１をウエハボート３を搬送する位置まで前進させる。次いで、可動アーム７５を搬送位置に移動してから、搬送アーム７１を上昇させ、第１及び第２のステージ５１，５２から搬送アーム７１のボート受け部７７上にウエハボート３を受け取る。そして、断熱ユニット８１の上方側にウエハボート３を搬送した後、搬送アーム７１を下降させて、断熱ユニット８１の載置部８４に支持脚３６ａ，３６ｂを載置する。こうして、断熱ユニット８１にウエハボート３を受け渡した後、搬送アーム７１を後退させる。

【0054】

続いて、ボートエレベータ８を上昇させて、縦型熱処理炉８５内にウエハボート３を搬入し、ウエハボート３に搭載されたウエハＷに対して一括して熱処理を行う。熱処理が終了した後、ボートエレベータ８を下降させて、ウエハボート３を縦型熱処理炉８５から搬出し、ボート搬送機構７により、合体位置にある第１のステージ５１及び第２のステージ５２上に、ウエハボート３を搬送する。

【0055】

この後、結合機構６を待機位置から前記結合位置に移動した後、保持機構６６を開いてから下降させ、結合部材３３のキャップ部３４の周囲に保持機構６６を位置させる。次いで、保持機構６６を閉じて前記キャップ部３４を把持させてから、アーム部６１を上昇させることにより、ウエハボート３から結合部材３３を抜き取る。

【0056】

然る後、第１のステージ５１及び第２のステージ５２を移載位置に移動する。例えば、第１及び第２の移動ベース５１１，５１２を合体位置にしたまま、第１及び第２の回転ステージ５２１，５２２を移載方向に開いてウエハボート３を第１のボート部１及び第２のボート部２に分割し、次いで第１及び第２の移動ベース５１１，５１２を移載位置に移動させる。また、第１及び第２の回転ベース５１２，５２２を合体方向にしたまま、第１及び第２の移動ベース５１１，５２１を移載位置に移動させることにより、ウエハボート３を第１のボート部１及び第２のボート部２に分割し、次いで、第１及び第２の回転ベース５１２，５２２を移載方向にしてもよい。この後、第１のボート部１及び第２のボート部２に搭載されている熱処理後のウエハＷを、基板移載機構４２によりＦＯＵＰ４１に夫々移載する。

【0057】

上述の実施の形態によれば、第１のボート部１及び第２のボート部２にウエハＷ１，Ｗ２を移載するときには、これらボート部１及びボート部２に夫々配列間隔Ａで上下に設けられた第１の保持部１６ａ〜１６及び第２の保持部２６ａ〜２６ｃに対してウエハＷ１及びＷ２を移載している。この際、前記配列間隔Ａは例えば１２ｍｍに設定されており、上下方向の移載マージンが大きいため、ウエハＷ１，Ｗ２の移載作業を容易に行うことができる。

【0058】

また、第１及び第２のボート部１，２にウエハＷ１，Ｗ２を移載した後は、第１及び第２のボート部１，２を合体してウエハボート３を構成している。ここで、ウエハボート３には、第１のボート部１のウエハＷ１と第２のボート部２のウエハＷ２とが上下方向に交互に配列されるため、ウエハボート３には移載時よりも狭い配列間隔Ａ／２（例えば６ｍｍ）でウエハＷが配列保持される。

【0059】

従って、ウエハボート３への移載作業を容易にしながら、ウエハボート３のウエハＷの配列間隔を狭くできる。これにより、ウエハボート３の大きさを変えずに、ウエハＷの搭載枚数を増加することができる。この結果、縦型熱処理炉８５にて、同時に熱処理されるウエハＷの枚数が増大するので、縦型熱処理装置４のスループットを向上させることができる。また、ウエハボート３に搭載されるウエハＷの枚数が従来と同じである場合には、ウエハボート３及び縦型熱処理炉８５の小型化を図ることができる。また、縦型熱処理炉８５にて同時に処理するウエハＷの枚数が増大することから、１枚のウエハＷを処理するために必要なエネルギーが減少し、省エネルギー化を図ることができる。

【0060】

さらに、第１の保持部１６ａ〜１６ｃ及び第２の保持部２６ａ〜２６ｃは長ツメ形状に構成されているので、ウエハＷが載置されるウエハ載置領域（保持面）が大きい。ここで、既述のようにウエハＷが側方の支柱１５ａ，１５ｃ（２５ａ，２５ｃ）からはみ出して載置される構成では、保持面が小さいと、ウエハＷの裏面側における保持面と接触する部位において、当該部位にウエハＷの自重による応力が集中し、ウエハＷ裏面側の接触部位に疵が付きやすい。この疵は、熱処理時における結晶欠陥（スリップ）の発生原因の一つとして知られている。一方、既述のように、第１の保持部１６ａ〜１６ｃ及び第２の保持部２６ａ〜２６ｃの保持面を大きくすれば、前記応力を分散させることができる。従って、ウエハＷ裏面側の疵の発生を抑え、ひいては前記疵が原因となる結晶欠陥の発生を抑制することができるので、結果として製品の歩留まりの向上を図ることができる。

【0061】

さらにまた、第１の保持部１６ａ〜１６ｃ及び第２の保持部２６ａ〜２６ｃが長ツメ形状に形成され、保持面が大きいことから、ウエハＷを安定して保持することができる。このため、第１及び第２のボート部１，２にウエハＷ１，Ｗ２を移載した後、第１及び第２のボート部１，２を合体させるために、これら第１及び第２のボート部１，２を移動させるときでも、ウエハＷの脱落を防止することができる。特に、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）は、前記直線領域１４、２４を越えて外側に伸び出すように設けられていることから、側方の支柱１５ａ，１５ｃ（２５ａ，２５ｃ）がウエハＷの中心よりも背面側にある場合であっても、ウエハＷを安定して保持することができる。なお、これら保持部１６ａ〜１６ｃ、２６ａ〜２６ｃに対して、ウエハＷは直線領域１４，２４側から受け渡されるため、直線領域１４，２４側をウエハＷの正面側、中央の支柱１５ｂ，２５ｂ側をウエハＷの背面側としている。

【0062】

さらにまた、本発明のウエハボート３は、第１及び第２のボート部１，２を合体して構成しており、合体後のウエハボート３では、第１のボート部１の支柱１５ａ〜１５ｃと、第２のボート部２の支柱２５ａ〜２５ｃが、当該ボート３に搭載されたウエハＷの周方向に沿って互いに間隔をおいて配列されており、この際、図５に示すように、隣接する支柱同士の間隔はウエハＷの直径よりも小さく設定されている。

【0063】

これにより、ウエハＷを搭載したウエハボート３に対して、地震や搬送中のトラブルでウエハボート３に振動が与えられる場合であっても、ウエハＷはその周囲を支柱１５ａ〜１５ｃ，２５ａ〜２５ｃにより囲まれているため、ウエハボート３からの飛び出しが防止される。従って、ウエハボート３に振動が与えられる場合であっても、ウエハボート３からのウエハＷの落下が抑えられ、ウエハＷの破損を防止することができる。

【0064】

また、このようにウエハＷの外縁の位置が支柱１５ａ〜１５ｃ、２５ａ〜２５ｃにより規制されており、かつ側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）が、前記直線領域１４、２４を越えて外側に伸び出すように設けられているため、仮に大きな振動がウエハボート３に与えられる場合であっても、ウエハＷが側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）から脱落するおそれがない。このため、ウエハボート３が振動しても、ウエハＷが保持部から落下し、他のウエハＷに衝突するといった事故の発生が抑えられる。

【0065】

続いて、前記ウエハボートの他の例について、図２０〜図２３を参照して説明する。この例のウエハボート３Ａは、前記第１のボート部１Ａ及び第２のボート部２Ａの一方には被処理面が下を向くようにウエハＷが保持され、前記第１のボート部１Ａ及び第２のボート部２Ａの他方には被処理面が上を向くようにウエハＷが保持されるように構成されている。この例では、前記ウエハボート３Ａは、図２０に示すように、第１のボート部１Ａに載置されるウエハＷ１は裏面側を上にして配設され、第２のボート部２Ａに載置されるウエハＷ２は、被処理面側を上にして配設されている。

【0066】

第１のボート部１Ａ及び第２のボート部２Ａは、第１のボート部１Ａに設けられる保持部１７ａ〜１７ｃと、第２のボート部２Ａに設けられる保持部２７ａ〜２７ｃとの配列間隔が異なる以外は、上述のウエハボート３の第１及び第２のボート部１，２と同様に構成されている。これにより、ウエハボート３Ａはウエハボート３と同様に、第１のボート部１Ａ及び第２のボート部２Ａを合体させて構成され、当該ウエハボート３Ａでは、第１のボート部１Ａに搭載されているウエハＷ１と第２のボート部２Ａに搭載されているウエハＷ２が、上下方向において交互に配列される。

【0067】

従って、第１及び第２のボート部１，２には、上下に隣接する前記ウエハＷ１とウエハＷ２の被処理面同士が互いに対向すると共に、前記ウエハＷ１とウエハＷの裏面同士が互いに対向するように載置されることになる。この際、第１のボート部１Ａの保持部１７ａ〜１７ｃと、第２のボート部２Ａの保持部２７ａ〜２７ｃの高さ位置は、第１のボート部１と第２のボート部２とが合体された状態において、互いに対向するウエハＷの被処理面同士の間隔が、互いに対向するウエハＷの裏面同士の間隔よりも大きくなるように設定されている。具体的には、第１のボート部１Ａの保持部１７ａ〜１７ｃ及び、第２のボート部２Ａの保持部２７ａ〜２７ｃは、夫々１２ｍｍの配列間隔で設けられ、互いに対向するウエハＷの被処理面同士の間隔は８ｍｍ、互いに対向するウエハＷの裏面同士の間隔は４ｍｍになるように夫々の高さ位置が設定される。

【0068】

このような第１のボート部１Ａ及び第２のボート部２Ａを備えた縦型熱処理装置は、基板移載装置９が図２２及び図２３に示すように構成されている以外は、図１０に示す縦型熱処理装置４と同様に構成されている。前記基板移載装置９は、ウエハＷを保持する水平なフォーク９１が進退機構９２により基台９３に沿って進退自在に構成されると共に、前記基台９３が駆動機構９４により昇降自在及び鉛直軸回りに回転自在に構成されている。

【0069】

また、前記フォーク９１の基端側は、水平軸まわりに回転する回転機構９５に接続されている。さらに、フォーク９１の表面には、バルブＶを備えた吸引路９６ａを介して真空ポンプ９７に接続された吸引孔９６が形成されている。こうして、ウエハＷをフォーク９１に載置してから、バルブＶ１を開いて真空ポンプ９７により排気することにより、ウエハＷが吸引孔９６によってフォーク９１に真空吸着保持されるように構成されている。また、真空吸着の代わりに、静電力によりウエハＷをフォーク９１に吸着保持するようにしてもよい。

【0070】

このような第１及び第２のボート部１Ａ，２Ａを備えた縦型熱処理装置では、図２２に示すように、ＦＯＵＰ４１からフォーク９１により被処理面が上になるようにウエハＷ２を受け取った後、第２のボート部２の保持部２７（２７ａ〜２７ｃ）に被処理面が上になるようにウエハＷ２が受け渡される。また、図２３に示すように、ＦＯＵＰ４１からフォーク９１により被処理面が上になるようにウエハＷ１を受け取った後、例えばフォーク９１の基端側が基台９３の先端より前になるように前進させてから、回転機構９５によりウエハＷ１が下になるようにフォーク９１を回転させる。この状態では、ウエハＷ１は裏面が上を向き、被処理面が下を向いた状態である。続いて、第１のボート部１の保持部１７（１７ａ〜１７ｃ）に、裏面が上を向いた状態でウエハＷ１が受け渡される。

【0071】

こうして、第１及び第２のボート部１Ａ，２ＡにウエハＷ１，ウエハＷ２を移載した後、既述のように、ボート合体機構５によりこれらボート部１Ａ，２Ａを合体させてウエハボート３Ａを構成する。次いで、ウエハボート３Ａを結合部材３３により結合した後、ボート搬送機構７により断熱ユニット８１上に搬送する。そして、ボートエレベータ８を上昇させて、ウエハボート３Ａを縦型熱処理炉８５内に搬入し、ウエハＷ１，Ｗ２に対して、所定の熱処理を行う。

【0072】

このような構成によれば、上述の実施の形態と同様に、ウエハＷ１,Ｗ２の移載時には、大きい配列間隔で第１及び第２のボート部１Ａ，２ＡにウエハＷ１，Ｗ２が受け渡され、ウエハＷ１，Ｗ２の移載後にウエハボート３Ａを合体している。これにより、移載マージンを大きくして移載作業を容易にしながら、ウエハボート３に搭載されるウエハＷ１，Ｗ２の配列間隔を小さくすることができる。このため、ウエハボート３に搭載されるウエハＷ１，Ｗ２の枚数が増大し、スループットの向上を図ることができる。

【0073】

また、第１のボート部１Ａには、裏面が上を向いたウエハＷ１を移載し、第２のボート部２Ｂには、被処理面が上を向いたウエハＷ２を移載してから、ウエハボート３Ａを構成しているので、上下方向に隣接するウエハＷ１，Ｗ２が、被処理体面同士及び裏面同士が互いに対向するように配列される場合であっても、移載作業を容易に行うことができる。さらに、上下方向に隣接するウエハＷ１，Ｗ２において、被処理面同士が対向する領域は、裏面同士が対向する領域よりも、間隔が大きくなるように設定されている。このため、ウエハＷ１，Ｗ２の被処理面が互いに対向する領域には、処理ガスが入り込みやすく、十分にウエハＷ１，Ｗ２の被処理面に処理ガスが行き渡るので、処理ムラの発生を抑えて、面内均一性の高い熱処理を行うことができる。

【0074】

以上において、本発明は、第１のボート部に搭載されたウエハＷ１と、第２のボート部に搭載されたウエハＷ２同士が完全に（１００％）重なっていることを要件とするものではない。これらウエハＷ１，Ｗ２同士を完全に重ねない場合には、必ずしも支柱から保持部を伸び出してウエハＷ１，Ｗ２を保持する構成としなくてもよく、例えば支柱の上下に配列され、各々水平に切り欠かれた溝を保持部として構成することもできる。

【0075】

この構成について、図２４〜図２６を用いて説明する。図中１１０は第１のボート部、１２０は第２のボート部であり、これらボート部１１０，１２０には夫々複数本例えば３本の支柱１１１〜１１３，１２１〜１２３が設けられている。第１のボート部１１０の両側の支柱１１１，１１３は、中央の支柱１１２が設けられている側を一端側とすると、ウエハＷ１の中心Ｏ１よりも他端側に位置するように設けられている。また、同様に第２のボート部１２０の両側の支柱１２１，１２３は、ウエハＷ２の中心Ｏ２よりも一端側に設けられている。なお、図２４及び図２５中１１４，１２４は、夫々第１のボート部１１０、第２のボート部１２０の天板であり、１１５，１２５は、夫々第１のボート部１１０、第２のボート部１２０の底板である。

【0076】

前記支柱１１１〜１１３，１２１〜１２３には、ウエハＷ１，Ｗ２の周縁部が載置される溝部１１６，１２６が、夫々上下に配列されるように、各々水平に切り欠かれて形成されている。この際、溝部１１６，１２６は、第１のボート部１１０に載置されるウエハＷ１と、第２のボート部１２０に載置されるウエハＷ２とが、上下方向に交互に配置されるように形成される。既述のように、両側の支柱１１１，１１３、１２１，１２３がウエハＷ１，Ｗ２の中心Ｏ１，Ｏ２よりも夫々外側に形成されているので、夫々の溝部１１１〜１１３、１２１〜１２３にウエハＷの周縁が載置されることにより、第１のボート部１１０及び第２のボート部１２０にウエハＷ１，Ｗ２が夫々水平に保持されることになる。

【0077】

また、第１のボート部１１０の両側の支柱１１１，１１３には、第２のボート部１２０に搭載されたウエハＷ２と干渉しないように溝部１１７が切り欠かれて形成されている。同様に、第２のボート部１２０の両側の支柱１２１，１２３にも、第１のボート部１１０に搭載されたウエハＷ１と干渉しないように溝部１２７が形成されている。

【0078】

こうして、第１のボート部１１０及び第２のボート部１２０に夫々ウエハＷ１，Ｗ２を搭載した後、これらボート部１１０，１２０同士を合体させることにより、図２４及び図２６に示すようにウエハボート１３０が構成される。この場合、これらの図に示すように、ウエハボート１３０上では、ウエハＷ１，Ｗ２同士は完全に重ならないが、ウエハボート１３０を縦型熱処理炉内に搬入することにより、ウエハＷ１，Ｗ２に対して、一括して熱処理を行うことができる。

【0079】

以上において、ウエハボートは第１のボート部及び第２のボート部に完全に２分割する場合に限らず、図２７に示すように、ウエハＷの移載時には、第１のボート部２１０及び第２のボート部２２０の一部が繋がっている状態で、第１のボート部２１０と第２のボート部２２０を開く構成も本発明の範囲に含まれる。この場合、例えば共通の支柱２３０を設け、この支柱２３０に図示しない蝶番機構を用いて第１のボート部２１０及び第２のボート部２２０の天板及び底板の接合及び分離が行われる。

【0080】

また、本発明では、支柱に形成される保持部は上述の構成に限らず、中央の支柱から天板（底板）を越えて外部に伸び出すように保持部を設け、側方の支柱には天板（底板）近傍に伸びる保持部を設けるようにしてもよい。さらに、支柱に形成される保持部としては、支柱から伸び出す爪部と、支柱に切り欠かれた溝部を組み合わせて構成してもよい。

【0081】

さらに、本発明では、第１の載置部（第１のステージ）及び第２の載置部（第２のステージ）の一方を固定しておき、他方を移動させることによって、これら載置部上の第１の保持具部分（第１のボート部）と第２の保持具部分（第２のボート部）を合体させる構成としてもよい。さらにまた、第１の保持具部分及び第２の保持具部分を夫々保持具移載機構により、保持具昇降機構上に搬送し、当該保持具昇降機構上にて第１の保持具部分及び第２の保持具部分を合体させるようにしてもよい。

【0082】

さらにまた、本発明では、ウエハＷの側方を保持する側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）を、保持部１６ａ〜１６ｃ（２６ａ〜２６ｃ）にて保持されるウエハＷの中心よりも正面側に伸び出すように設けると共に、図２８に側方保持部１６ａ，１６ｃを例にして示すように、その保持面をウエハＷの周縁に沿った円弧状に形成するようにしてもよい。図２９は、第１のボート部１及び第２のボート部２を接合した状態を示している。また、中央保持部１６ａ，２６ｂは、上述の図５に示す例と同様に構成したが、当該中央保持部１６ａ，２６ｂも、ウエハＷの周縁に沿った円弧状に形成してもよい。

【0083】

このような構成では、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）がウエハＷの周縁に沿って設けられているので、ウエハＷの側方では、周方向に沿った長い保持面が形成される。このため、ウエハＷが側方の支柱１５ａ，１５ｃ（２５ａ，２５ｃ）からはみ出して載置され、ウエハＷの自重による応力が集中しやすいウエハＷの側方の周縁部位において、前記応力を分散することができる。これにより、ウエハ裏面側の疵の発生が抑えられ、この疵が原因となる結晶欠陥の発生を抑制することができ、結果として製品の歩留まりの向上を図ることができる。

【0084】

さらに、第１のボート部１及び第２のボート部２にウエハＷを受け渡す側から見てウエハＷの両側に各々設けられた複数の保持部この例では前記側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）は、ウエハＷの保持面がウエハＷの中心側に向けて下方側に傾斜するように設けるようにしてもよい。このような構成では、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）の保持面により、ウエハＷの下縁が傾斜面にて位置決めされた状態で保持される。この場合、中央保持部１６ｂ，２６ｂの保持面の高さ位置は、側方保持部１６ａ，１６ｃ（２６ａ，２６ｃ）にて保持されるウエハＷの高さ位置に対応して設定される。この際、ウエハＷの下縁における前記保持面と接触する領域は、ある程度の長さが確保されているので、前記応力が分散され、結晶欠陥の発生が抑えられる。また、ウエハＷの下縁が前記保持面と接触しているため、仮にこの接触領域に結晶欠陥が発生したとしても、パターンの形成領域の外側であるため、製品の品質への悪影響を抑制することができる。

【0085】

さらに、既述のように、ウエハＷが位置決めされていることから、ウエハＷの側方側への移動が抑えられる。このため、第１のボート部１及び第２のボート部２を移動させる場合にも、ウエハＷが安定して保持され、ウエハＷの脱落を抑えることができる。ここで、中央支持部１６ａ，２６ａの保持面も、下方側に傾斜するように構成してもよい。また、図２４〜図２６に示す、例えば支柱の上下に配列され、各々水平に切り欠かれた溝よりなる保持部においても、保持面をウエハＷの中心側に向けて下方側に傾斜するように構成してもよい。

【符号の説明】

【0086】

Ｗ 半導体ウエハ
１，１Ａ 第１のボート部
２，２Ａ 第２のボート部
３ ウエハボート
１２，２２，３１ 天板
１３，２３，３２ 底板
１２ａ，２２ａ 孔部
１６ａ〜１６ｃ、２６ａ〜２６ｃ 保持部
１７ａ〜１７ｃ、２７ａ〜２７ｃ 保持部
３３ 結合部材
４１ ＦＯＵＰ
４２ 基板移載機構
５ ボート合体機構
６ 結合機構
７ ボート搬送機構
８ ボートエレベータ
８１ 断熱ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】