特許5861642露光装置、露光方法、露光装置のメンテナンス方法、露光装置の調整方法、デバイス製造方法、及びダミー基板

発明の名称　露光装置、露光方法、露光装置のメンテナンス方法、露光装置の調整方法、デバイス製造方法、及びダミー基板

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 153 位（214件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 128 位（215件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5861642

公報発行日　2016年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5861642

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