特許 5863411 マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5863411

(24)【登録日】2016年1月8日

(45)【発行日】2016年2月16日

(54)【発明の名称】マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/34 20060101AFI20160202BHJP

   C22C 19/07 20060101ALI20160202BHJP

   C22C 27/06 20060101ALI20160202BHJP

   C22C 5/04 20060101ALI20160202BHJP

   C22C 1/04 20060101ALI20160202BHJP

   C22C 1/05 20060101ALI20160202BHJP

   B22F 3/00 20060101ALI20160202BHJP

   G11B 5/851 20060101ALI20160202BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/34 A

   C22C19/07 C

   C22C27/06

   C22C5/04

   C22C1/04 F

   C22C1/05 Z

   B22F3/00 E

   G11B5/851

【請求項の数】19

【全頁数】65

(21)【出願番号】特願2011-252103(P2011-252103)

(22)【出願日】2011年11月17日

(65)【公開番号】特開2013-108110(P2013-108110A)

(43)【公開日】2013年6月6日

【審査請求日】2014年9月26日

(73)【特許権者】

【識別番号】509352945

【氏名又は名称】田中貴金属工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100076129

【弁理士】

【氏名又は名称】松山 圭佑

(74)【代理人】

【識別番号】100080458

【弁理士】

【氏名又は名称】高矢 諭

(74)【代理人】

【識別番号】100089015

【弁理士】

【氏名又は名称】牧野 剛博

(74)【代理人】

【識別番号】100144299

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 崇

(72)【発明者】

【氏名】宮下 敬史

(72)【発明者】

【氏名】後藤 康之

【審査官】 延平 修一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１７５７２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００４−５３２９３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／０１７３６２７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特許第４４９９１８３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特許第４６７３４５３（ＪＰ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／００ − １４／５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

強磁性金属元素を有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
前記強磁性金属元素を含む磁性相と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相と、酸化物相とを有しており、
前記複数の非磁性相のうちの少なくとも１つは、前記磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項2】

請求項１において、
前記複数の非磁性相のうちの１つは、他の非磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項3】

請求項１または２において、
前記磁性相は、相の平均の大きさが４０〜８０μｍであることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記複数の非磁性相は、２種の非磁性相であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記強磁性金属元素は、Ｃｏであることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項6】

請求項５において、
前記磁性相は、Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上であるＣｏ−Ｃｒ合金相からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項7】

請求項５において、
前記磁性相は、Ｃｏ単体であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項8】

請求項５〜７のいずれかにおいて、
前記非磁性相のうちの少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７５ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ合金相またはＣｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項9】

請求項５〜８のいずれかにおいて、
前記非磁性相のうちの少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が１２ａｔ％以下であるＣｏ−Ｐｔ合金相からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項10】

請求項１〜９のいずれかにおいて、
前記酸化物相は、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｔｉ₂Ｏ₃、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｏＯ、Ｃｏ₃Ｏ₄、Ｂ₂Ｏ₅、Ｆｅ₂Ｏ₃、ＣｕＯ、Ｙ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＭｏＯ₃、ＣｅＯ₂、Ｓｍ₂Ｏ₃、Ｇｄ₂Ｏ₃、ＷＯ₂、ＷＯ₃、ＨｆＯ₂、ＮｉＯ₂のうちの少なくとも１種を含むことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項11】

請求項１〜１０のいずれかにおいて、
前記ターゲットは、磁気記録層の形成に用いられることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。

【請求項12】

強磁性金属元素を含む第１の非磁性金属粉末を酸化物粉末と混合分散して非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、前記強磁性金属元素を含む磁性金属粉末と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合が前記第１の非磁性金属粉末とは異なる第２の非磁性金属粉末と、を混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項13】

強磁性金属元素を含む第１の非磁性金属粉末を酸化物粉末と混合分散して非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、前記強磁性金属元素を含む磁性金属粉末と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合が前記第１の非磁性金属粉末とは異なる第２の非磁性金属粉末と、酸化物粉末と、を混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項14】

請求項１２または１３において、
前記複数の非磁性金属粉末は、２種の非磁性金属粉末であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項15】

請求項１２〜１４のいずれかにおいて、
前記強磁性金属元素は、Ｃｏであることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項16】

請求項１５において、
前記磁性金属粉末はＣｏおよびＣｒを主成分として含み、該磁性金属粉末におけるＣｏの含有割合が８５ａｔ％以上であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項17】

請求項１５において、
前記磁性金属粉末はＣｏ単体からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項18】

請求項１２〜１７のいずれかにおいて、
前記複数の非磁性金属粉末のうち少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７５ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ合金またはＣｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【請求項19】

請求項１２〜１８のいずれかにおいて、
前記複数の非磁性金属粉末のうち少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が１２ａｔ％以下であるＣｏ−Ｐｔ合金からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、強磁性金属元素を有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

マグネトロンスパッタリングでは、ターゲットの裏面に磁石を配置し、ターゲットの表面側に漏れ出る漏洩磁束によりプラズマを高密度に集中させる。これにより、安定した高速スパッタリングを可能としている。

【0003】

このため、マグネトロンスパッタリングに用いられるターゲットには、ターゲットの表面側に漏れ出る漏洩磁束の量を多くすることが求められる。

【0004】

例えば、特許文献１には、Ｃｏを有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、Ｃｏを含む磁性相と、Ｃｏを含む非磁性相と、酸化物相と、を有し、該磁性相と該非磁性相と該酸化物相とが互いに分散しており、該磁性相はＣｏおよびＣｒを主成分として含み、該磁性相におけるＣｏの含有割合は、７６ａｔ％以上８０ａｔ％以下であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットや、Ｃｏを有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、Ｃｏを含む磁性相と、Ｃｏを含む非磁性相と、を有し、該磁性相と該非磁性相とが互いに分散しており、該非磁性相はＰｔを主成分として含むＰｔ−Ｃｏ合金相であり、該Ｐｔ−Ｃｏ合金相におけるＣｏの含有割合は、０ａｔ％より大きく１３ａｔ％以下であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットが記載されている。

【0005】

これらのマグネトロンスパッタリング用ターゲットは、ターゲットに含まれる強磁性金属元素であるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第４４２２２０３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、ターゲットに含まれる強磁性金属元素の含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量をさらに増加させることが求められている。

【0008】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、ターゲットに含まれる強磁性金属元素の含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量を従来よりも増加させることができるマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、強磁性金属元素を有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、前記強磁性金属元素を含む磁性相と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相と、酸化物相とを有しており、前記複数の非磁性相のうちの少なくとも１つは、前記磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットにより、前記課題を解決したものである。

【0010】

ここで、「磁性相」とは、磁性を有している相（通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい相を除く）のことであり、「非磁性相」とは、磁性がゼロの相だけでなく、通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい相も含む概念である。

【0011】

本発明では、強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相を設けるので、ターゲット全体における強磁性金属元素の量を一定に保ったまま、前記強磁性金属元素を含む磁性相のターゲット全体に対する体積分率を従来よりも減少させることができ、ターゲット全体の磁性を従来よりも減少させることができる。これにより、ターゲットに含まれる強磁性金属元素の含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を従来よりも増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。

【0012】

また、「前記複数の非磁性相のうちの少なくとも１つは、前記磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っている」とは、前記複数の非磁性相のうちの少なくとも１つの、前記酸化物相と分散し合っている非磁性相の平均の大きさが、前記磁性相の平均の大きさよりも小さい状態のことを意味する。

【0013】

本発明では、複数の非磁性相のうちの少なくとも１つは、磁性相よりも細かく酸化物相と分散し合っているので、磁性相の大きさを比較的大きくしても（磁性相の平均の大きさが例えば４０〜８０μｍの範囲内に入るようにしても）、酸化物が凝集して大きな酸化物相が生じてしまうことが抑制されており、スパッタリング時にノジュールやパーティクルの発生等の不具合も発生しにくい。

【0014】

また、前記複数の非磁性相のうちの１つが、他の非磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っているようにした場合には、他の非磁性相の大きさを比較的大きくすることができるので、ターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる可能性がある。ここで、「前記複数の非磁性相のうちの１つは、他の非磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っている」とは、前記複数の非磁性相のうちの１つの非磁性相の平均の大きさが、他の非磁性相の平均の大きさよりも小さい状態のことを意味する。

【0015】

前記磁性相は、ターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させる点で、相の平均の大きさが４０〜８０μｍであることが好ましい。

【0016】

前記複数の非磁性相は、例えば２種の非磁性相とすることができる。

【0017】

前記強磁性金属元素は、例えばＣｏであり、この場合、前記ターゲットを用いてマグネトロンスパッタリングを行うと、磁気記録特性に優れた磁気記録媒体を得やすい。

【0018】

前記磁性相は、例えばＣｏおよびＣｒを主成分として含むＣｏ−Ｃｒ合金相とすることができ、この場合、ターゲット全体に対する非磁性相の体積分率を大きくして磁性相の体積分率を小さくし、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させる点で、該磁性相におけるＣｏの含有割合は、８５ａｔ％以上であることが好ましい。さらに、前記の点で、前記磁性相をＣｏ単体からなる相とすることはより好ましい。

【0019】

前記非磁性相のうちの少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７５ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ合金相またはＣｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相からなることが好ましく、また、前記非磁性相のうちの少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が１２ａｔ％以下であるＣｏ−Ｐｔ合金相からなることが好ましい。

【0020】

前記酸化物相は、例えば、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｔｉ₂Ｏ₃、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｏＯ、Ｃｏ₃Ｏ₄、Ｂ₂Ｏ₅、Ｆｅ₂Ｏ₃、ＣｕＯ、Ｙ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＭｏＯ₃、ＣｅＯ₂、Ｓｍ₂Ｏ₃、Ｇｄ₂Ｏ₃、ＷＯ₂、ＷＯ₃、ＨｆＯ₂、ＮｉＯ₂のうちの少なくとも１種を含むものとすることができる。

【0021】

前記ターゲットの中には、磁気記録層の形成に好適に用いることができるものがある。

【0022】

前記ターゲットは、例えば、強磁性金属元素を含む第１の非磁性金属粉末を酸化物粉末と混合分散して非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、前記強磁性金属元素を含む磁性金属粉末と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合が前記第１の非磁性金属粉末とは異なる第２の非磁性金属粉末と、を混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。

【0023】

また、前記ターゲットは、例えば、強磁性金属元素を含む第１の非磁性金属粉末を酸化物粉末と混合分散して非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、前記強磁性金属元素を含む磁性金属粉末と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合が前記第１の非磁性金属粉末とは異なる第２の非磁性金属粉末と、酸化物粉末と、を混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。

【0024】

ここで、磁性金属粉末とは、磁性を有している粉末（通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい粉末を除く）のことであり、非磁性金属粉末とは、磁性がゼロの粉末だけでなく、通常の磁性体と比べて磁性が十分に小さい粉末も含む概念である。

【0025】

前記複数の非磁性金属粉末は、例えば２種の非磁性金属粉末とすることができる。

【0026】

前記強磁性金属元素は、例えばＣｏであり、この場合、前記製造方法により製造したターゲットを用いてマグネトロンスパッタリングを行うと、磁気記録特性に優れた磁気記録媒体を得やすい。

【0027】

前記磁性金属粉末はＣｏおよびＣｒを主成分として含み、該磁性金属粉末におけるＣｏの含有割合が８５ａｔ％以上であることは、製造されるターゲットの漏洩磁束率を向上させる点で好ましく、前記磁性金属粉末はＣｏ単体からなることがより好ましい。

【0028】

前記複数の非磁性金属粉末のうち少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７５ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ合金またはＣｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金からなることが好ましく、また、前記複数の非磁性金属粉末のうち少なくとも１つは、Ｃｏの含有割合が１２ａｔ％以下であるＣｏ−Ｐｔ合金からなることが好ましい。

【発明の効果】

【0029】

本発明によれば、ターゲットに含まれる強磁性金属元素の含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を従来よりも増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができるとともに、スパッタリング時にノジュールやパーティクルの発生等の不具合も発生しにくい。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】本実施形態に係るターゲットのミクロ構造を示す一例の金属顕微鏡写真

【図2】Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合と磁性との関係を示すグラフ図

【図3】Ｃｏ−Ｐｔ合金において、Ｃｏの含有割合と磁性との関係を示すグラフ図

【図4】実施例１のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図5】実施例１のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図6】実施例２のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図7】実施例２のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図8】比較例１のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図9】比較例１のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図10】比較例２のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図11】比較例２のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図12】比較例３のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図13】比較例３のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図14】比較例４のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図15】比較例４のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図16】参考例１のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図17】参考例１のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図18】参考例２のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図19】参考例２のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図20】実施例３のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図21】実施例３のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図22】比較例５のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図23】比較例５のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図24】比較例６のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図25】比較例６のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図26】比較例７のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図27】比較例７のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図28】比較例８のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図29】比較例８のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図30】実施例４のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図31】実施例４のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図32】実施例５のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図33】実施例５のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図34】実施例６のテストピースの厚さ方向断面の低倍率（撮影時の写真倍率１００倍、写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）の金属顕微鏡写真

【図35】実施例６のテストピースの厚さ方向断面の高倍率（撮影時の写真倍率４００倍、写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）の金属顕微鏡写真

【発明を実施するための形態】

【0031】

本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットは、強磁性金属元素を有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、前記強磁性金属元素を含む磁性相と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相と、酸化物相とを有しており、前記複数の非磁性相のうちの少なくとも１つは、前記磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っていることを特徴とする。

【0032】

本発明は、強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相を設けることにより、ターゲット全体における強磁性金属元素を含む各構成元素の含有割合を一定に保ったまま、ターゲット全体に対する非磁性相の体積分率を大きくすることができ、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率を小さくすることができる。これによりターゲット全体としての磁性を弱めることができ、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。

【0033】

例えば、後述するように、Ｃｏ−Ｃｒ合金ではＣｏの含有割合が７５ａｔ％以下のときその磁性はほとんどゼロになり、Ｃｏ−Ｐｔ合金ではＣｏの含有割合が１２ａｔ％以下のときその磁性はほとんどゼロになる。したがって、ターゲットに含まれる金属元素がＣｏ、Ｃｒ、Ｐｔの三元素の場合、非磁性相をＣｏの含有割合が７５ａｔ％以下のＣｏ−Ｃｒ合金相の１相またはＣｏの含有割合が１２ａｔ％以下のＣｏ−Ｐｔ合金相の１相とするより、非磁性相をＣｏの含有割合が７５ａｔ％以下のＣｏ−Ｃｒ合金相およびＣｏの含有割合が１２ａｔ％以下のＣｏ−Ｐｔ合金相の２相とする方が、ターゲット全体の組成を一定に保ったまま、ターゲット全体に対する非磁性相の体積分率を大きくすることができ、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率を小さくすることができる。

【0034】

このように、強磁性金属元素を含む非磁性相を、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相とすることにより、非磁性相を１つとした場合よりも、ターゲット全体の組成を一定に保ったまま、ターゲット全体に対する非磁性相の体積分率を大きくすることができ、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率を小さくすることができ、ターゲット全体としての磁性を弱めることができる。

【0035】

なお、ターゲット全体の組成を一定に保ったまま、ターゲット全体に対する非磁性相の体積分率を大きくすると、磁性相の体積分率が小さくなり、磁性相の強磁性金属元素の含有割合は大きくなるが、後述するように、例えば、Ｃｏ−Ｃｒ合金ではＣｏの含有割合が８５ａｔ％以上となるとその磁性はＣｏ単体の磁性と同程度となり、それ以上Ｃｏの含有割合が増えても磁性は同程度を保つ。したがって、磁性相の強磁性金属元素の含有割合が一定の値以上となると、磁性相の強磁性金属元素の含有割合がそれ以上大きくなっても、磁性相の磁性は大きくは上昇しないと考えられる。このため、磁性相の強磁性金属元素の含有割合が大きくなっても、ターゲット全体に対する非磁性相の体積分率を大きくして、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率を小さくすることにより、ターゲット全体としての磁性を弱めることができる。

【0036】

また、磁性相の大きさを比較的大きくすると（磁性相の平均の大きさが例えば４０〜８０μｍの範囲内に入るようにすると）、理由は現段階では明確にはなっていないが、ターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができるので、磁性相の大きさは比較的大きくすること（磁性相の平均の大きさを例えば４０〜８０μｍの範囲内に入るようにすること）が好ましい。ここで、本発明では、複数の非磁性相のうちの１つが、磁性相よりも細かく酸化物相と分散し合っているので、磁性相の大きさを比較的大きくしても（磁性相の平均の大きさが例えば４０〜８０μｍの範囲内に入るようにしても）、酸化物が凝集して大きな酸化物相が生じてしまうことが抑制されており、スパッタリング時にノジュールやパーティクルの発生等の不具合も発生しにくい。

【0037】

磁性相の平均の大きさが４０μｍを下回ると、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させる効果が小さくなり、一方、磁性相の平均の大きさが８０μｍを上回ると、ターゲットの組織の均一性の崩れが大きくなりすぎて、スパッタリング時に不具合の発生するおそれがある。

【0038】

ここで、本明細書において磁性相の大きさを求める際には、撮影時の倍率が４００倍の金属顕微鏡写真において、磁性相と考えられる白色の相の長径と短径の値を求め、それらの値の平均値を個々の磁性相の大きさとする。そして、撮影時の倍率が４００倍の金属顕微鏡写真に写った磁性相と考えられる白色の相の全てについてその相の大きさを求め、求めた相の大きさの平均値を磁性相の平均の大きさとする。ただし、大きさが１０μｍ以下の磁性相は、ターゲットの漏洩磁束量への影響は極めて小さいと考えられるので、磁性相の平均の大きさを算出する際には無視するものとする。

【0039】

また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットは、強磁性金属元素を有するので、磁気記録媒体の作製に用いることができる。本発明に適用可能な強磁性金属元素は、特に限定されず、例えばＣｏ、Ｆｅ、Ｎｉを用いることができる。強磁性金属元素としてＣｏを用いた場合、保磁力の大きい記録層（磁性層）を形成しやすくなり、ハードディスクの作製に好適なターゲットとしやすくなる。

【0040】

また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットにおいて、磁性相および非磁性相に含まれる強磁性金属元素以外の金属元素は特に限定されず、例えば、Ｃｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂ、Ｍｏ等の金属元素を磁性相および／または非磁性相に含ませることができる。

【0041】

また、強磁性金属元素が含まれない非磁性相を設けてもよい。即ち、強磁性金属元素を含む磁性相と、強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相以外に、強磁性金属元素が含まれない非磁性相を設けてもよい。強磁性金属元素が含まれない非磁性相としては、例えば、Ｃｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂ、Ｍｏ等の金属元素を含む相を設けてもよい。

【0042】

以下では、磁気記録層の作製に好適に用いることができるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−ＳｉＯ₂−ＴｉＯ₂−Ｃｒ₂Ｏ₃ターゲットを本発明の実施形態の例として取り上げ、具体的に説明する。本実施形態では、金属相を１つの磁性相と２つの非磁性相で構成した３相構造とするが、磁性相を構成元素またはその含有割合の異なる２つ以上の磁性相とすることができ、また、非磁性相を構成元素またはその含有割合の異なる３つ以上の非磁性相とすることもでき、ターゲットの相構造を４相以上の多相構造とすることもできる。

【0043】

１．ターゲットの構成成分
本実施形態に係るターゲットの構成成分は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−ＳｉＯ₂−ＴｉＯ₂−Ｃｒ₂Ｏ₃である。Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔは、スパッタリングによって形成される磁気記録層のグラニュラ構造において、磁性粒子（微小な磁石）の構成成分となる。酸化物（ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃）は、グラニュラ構造において、磁性粒子（微小な磁石）を仕切る非磁性マトリックスとなる。

【0044】

ターゲット全体に対する金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）の含有割合および酸化物（ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃）の含有割合は、目的とする磁気記録層の成分組成によって決まり、ターゲット全体に対する金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）の含有割合は８８〜９４ｍｏｌ％、ターゲット全体に対する酸化物（ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃）の含有割合は６〜１２ｍｏｌ％である。

【0045】

Ｃｏは強磁性金属元素であり、磁気記録層のグラニュラ構造の磁性粒子（微小な磁石）の形成において中心的な役割を果たす。Ｃｏの含有割合は金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）全体に対して６０〜８０ａｔ％である。

【0046】

Ｃｒは、所定の組成範囲でＣｏと合金化することによりＣｏの磁気モーメントを低下させる機能を有し、磁性粒子の磁性の強さを調整する役割を有する。Ｃｒの含有割合は金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）全体に対して４〜２４ａｔ％である。

【0047】

Ｐｔは、所定の組成範囲でＣｏと合金化することによりＣｏの磁気モーメントを増加させる機能を有し、磁性粒子の磁性の強さを調整する役割を有する。Ｐｔの含有割合は金属（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔ）全体に対して１〜２２ａｔ％である。

【0048】

なお、本実施形態では酸化物としてＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃を用いたが、用いる酸化物はＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃に限定されず、例えば、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｔｉ₂Ｏ₃、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｏＯ、Ｃｏ₃Ｏ₄、Ｂ₂Ｏ₅、Ｆｅ₂Ｏ₃、ＣｕＯ、Ｙ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＭｏＯ₃、ＣｅＯ₂、Ｓｍ₂Ｏ₃、Ｇｄ₂Ｏ₃、ＷＯ₂、ＷＯ₃、ＨｆＯ₂、ＮｉＯ₂のうちの少なくとも１種を含む酸化物を用いることもできる。

【0049】

２．ターゲットのミクロ構造
図１（実施例１のターゲットの厚さ方向断面のＳＥＭ写真）を例にとって示すように、本実施形態に係るターゲット１０のミクロ構造は、磁性相１２（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金相）、第１の非磁性相１４（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相）、第２の非磁性相１６（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下のＣｏ−Ｐｔ合金相）がお互いに分散し、かつ、第１の非磁性相１４（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相）と酸化物相１８（ＳｉＯ₂−ＴｉＯ₂−Ｃｒ₂Ｏ₃相）とは、磁性相１２および第２の非磁性相１６よりも細かく酸化物相１８と分散し合っている。なお、本実施形態では、磁性相１２（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金相）をＣｏの含有割合が１００ａｔ％のＣｏ単体相としてもよく、Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金相には、Ｃｏの含有割合が１００ａｔ％のＣｏ単体相も含まれるものとする。

【0050】

図１において、磁性相１２は大きな略円形の白色の相であり、第１の非磁性相１４は酸化物相１８と細かく分散し合っている白色の微細な細長い相であり、第２の非磁性相１６は小さな略円形の白色の相であり、酸化物相１８は濃い灰色の相である。

【0051】

なお、図１は実施例１で作製した焼結体断面の金属顕微鏡写真であるが、ここでは本実施形態に係るターゲット１０の組織の説明のために便宜的に取り上げただけであり、本実施形態のターゲットが実施例１に限定されるわけではなく、また、ここで説明する組成が、符号で指し示す相の実施例１における実際の組成と一致していない場合もある。

【0052】

本実施形態では、金属相をＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相の単相とせず、１つの磁性相（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金相）と２つの非磁性相（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相、Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下のＣｏ−Ｐｔ合金相）で構成した３相構造としており、これにより、ターゲット全体における強磁性金属元素を含む各構成元素の含有割合を一定に保ったまま、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率を小さくすることができる。これにより、ターゲット全体における各構成元素の含有割合を一定に保ったまま、ターゲット全体としての磁性を弱めることができ、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。

【0053】

本実施形態において、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相において、Ｃｏの含有割合を８５ａｔ％以上とした理由について説明する。

【0054】

下記の表１は、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合を振って測定した磁性の評価尺度の引張応力（後述するように引張応力の値が大きいほど磁性が強くなる）についての実験結果であり、図２は、下記の表１をグラフにしたもので、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合と磁性との関係を示すグラフ図であり、横軸がＣｏの含有割合、縦軸が磁性の評価尺度の引張応力である。

【0055】

【表1】

【0056】

表１、図２に示すように、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｏの含有割合が７５ａｔ％以下では、Ｃｏ−Ｃｒ合金の磁性はほとんど零であり、Ｃｏの含有割合が７５ａｔ％を超えると、磁性が急激に大きくなり始め、Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％以上になると、磁性の増加が穏やかになりほぼ一定値となる。したがって、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金においては、Ｃｏの含有割合を８３ａｔ％より増やしても、Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％以上のときと比べて磁性はほとんど大きくならない。

【0057】

そこで、本実施形態においては、Ｃｏ−Ｃｒ合金相におけるＣｏの含有割合を８５ａｔ％以上とし、Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％のときと比べて磁性をほとんど大きくせずに、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相におけるＣｏの含有割合を大きくしている。Ｃｏ−Ｃｒ合金相におけるＣｏの含有割合が大きいほど、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相の体積分率を小さく、非磁性相（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相、Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下のＣｏ−Ｐｔ合金相）の体積分率を大きくすることができ、ターゲット全体の磁性を小さくすることができる。

【0058】

次に、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相において、Ｃｏの含有割合を０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下としている理由について説明する。

【0059】

表１、図２に示すように、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、ＣｏとＣｒの合計に対するＣｏの含有割合を７５ａｔ％以下とすることにより、Ｃｏ−Ｃｒ合金の磁性をほとんど零のレベルにしたまま、合金中にＣｏを含有させることができる。Ｃｏ−Ｃｒ合金にＰｔを添加したＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金においても同様の傾向を示すと考えられるので、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｐｔの合計に対するＣｏの含有割合を７５ａｔ％以下とすれば、Ｃｏ−Ｃｒ合金の磁性をほとんど零のレベルにしたまま、合金中にＣｏを含有させることができると考えることもできる。しかしながら、前述したようにＰｔは所定の組成範囲でＣｏと合金化することによりＣｏの磁気モーメントを増加させる機能を有するので、本実施形態ではＣｏ、Ｃｒ、Ｐｔの合計に対するＣｏの含有割合を７３ａｔ％以下とした。実際、後に示す実施例では、第１の非磁性相を６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相（Ｃｏの含有割合は６８ａｔ％であり、７３ａｔ％以下である。）とすることにより、大きい漏洩磁束率が得られている。ただし、Ｃｏの含有割合が零では、非磁性相であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相にＣｏを含有させたことにならず、ターゲット１０全体におけるＣｏを含む構成元素の含有割合を一定に保ったまま、Ｃｏ−Ｃｒ合金相（磁性相）の体積分率を減少させることに寄与しない。そこで、本実施形態においては、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相におけるＣｏの含有割合を０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下として、ターゲット１０全体におけるＣｏを含む構成元素の含有割合を一定に保ったまま、Ｃｏ−Ｃｒ合金相（磁性相）の体積分率を減少させ、ターゲット全体の磁性を減少させて、良好なマグネトロンスパッタリングができるようにしている。

【0060】

次に、Ｃｏ−Ｐｔ合金相において、Ｃｏの含有割合を０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下としている理由について説明する。

【0061】

下記の表２は、Ｃｏ−Ｐｔ合金において、Ｃｏの含有割合を振って測定した磁性の評価尺度の引張応力（後述するように引張応力の値が大きいほど磁性が強くなる）についての実験結果であり、図３は、下記の表２をグラフにしたもので、Ｃｏ−Ｐｔ合金において、Ｃｏの含有割合と磁性との関係を示すグラフ図であり、横軸がＣｏの含有割合、縦軸が磁性の評価尺度の引張応力である。

【0062】

【表2】

【0063】

表２、図３に示すように、Ｃｏ−Ｐｔ合金において、ＣｏとＰｔの合計に対するＣｏの含有割合を１２ａｔ％以下とすることにより、Ｃｏ−Ｐｔ合金の磁性をほとんど零のレベルにしたまま、合金中にＣｏを含有させることができる。ただし、Ｃｏの含有割合が零では、ターゲット１０全体におけるＣｏを含む構成元素の含有割合を一定に保ったまま、Ｃｏ−Ｃｒ合金相（磁性相）の体積分率を減少させてターゲット全体の磁性を減少させることに寄与しない。そこで、本実施形態においては、Ｃｏ−Ｐｔ合金相におけるＣｏの含有割合を０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下として、ターゲット１０全体におけるＣｏを含む構成元素の含有割合を一定に保ったまま、Ｃｏ−Ｃｒ合金相（磁性相）の体積分率を減少させ、ターゲット全体の磁性を減少させて、良好なマグネトロンスパッタリングができるようにしている。

【0064】

なお、表１、表２、図２、図３のデータは、本発明者が測定して得たデータであり、具体的には下記のようにして測定した。表１、図２のデータの場合、ＣｏとＣｒを体積が１ｃｍ³になるように配材してアーク溶解し、底面積が０．７８５ｃｍ²である円盤状のサンプルを組成比を変えて作製した。そして、この円盤状のサンプルの底面を、残留磁束密度が５００ガウスの磁石（材質フェライト）に付着させた後、底面と垂直な方向に引っ張り、磁石から離れたときの力を測定した。この力を底面積０．７８５ｃｍ²で除して求めた引張応力はサンプルの磁性と正の相関があるので、これを磁性の評価尺度とし、表１の数値、図２の縦軸とした。表２、図３のデータの場合、ＰｔとＣｏを体積が１ｃｍ³になるように配材した以外は、表１、図２のデータの場合と同様にしてデータの取得を行った。

【0065】

以上説明したように、本実施形態に係るターゲット１０では、Ｃｏを含む非磁性相であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金相（Ｃｏの含有割合は０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下）およびＣｏ−Ｐｔ合金相（Ｃｏの含有割合は０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下）を設けているので、ターゲット１０全体におけるＣｏを含む各構成元素の含有割合を一定に保ったまま、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相の体積分率を減少させることができ、ターゲット１０全体の磁性を減少させることができる。また、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相において、Ｃｏの含有割合を８５ａｔ％以上としているので、Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％のときと比べて磁性をほとんど大きくせずに、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相におけるＣｏの含有割合を大きくすることができ、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ、磁性相であるＣｏ−Ｃｒ合金相の体積分率を小さくすることができ、ターゲット全体の磁性を小さくすることができる。

【0066】

したがって、本実施形態では、ターゲットに含まれる強磁性金属元素の含有量を減少させず（ターゲットに含まれる各構成元素の含有割合を変えず）に、マグネトロンスパッタリング時に、ターゲット表面からの漏洩磁束の量を増加させることができ、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。

【0067】

また、磁性相（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金相）の大きさを比較的大きくすると（相の平均の大きさを例えば４０〜８０μｍの範囲内にすると）、理由は現段階では明確にはなっていないが、ターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができるので、磁性相（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金相）の大きさは比較的大きくすること（相の平均の大きさを例えば４０〜８０μｍの範囲内にすること）が好ましい。

【0068】

また、第２の非磁性相の大きさを第１の非磁性相よりも大きくすると、理由は現段階では明確にはなっていないが、ターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させる傾向があるので、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）は酸化物粉末とボールミルで混合しなくてもよく、第２の非磁性相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）の大きさを第１の非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）よりも大きくしてもよい。

【0069】

ここで、本実施形態では、複数の非磁性相のうちの少なくとも１つが、磁性相および他の非磁性相よりも細かく酸化物相と分散し合っているので、磁性相の大きさを比較的大きくしても（磁性相の平均の大きさが例えば４０〜８０μｍの範囲内に入るようにしても）、さらには他の非磁性相の大きさを比較的大きくしても、酸化物が凝集して大きな酸化物相が生じてしまうことが抑制されており、スパッタリング時にノジュールやパーティクルの発生等の不具合も発生しにくい。

【0070】

３．ターゲットの製造方法
本実施形態に係るターゲット１０は、以下のようにして製造することができる。

【0071】

（１）磁性金属粉末の作製
所定の組成（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上）となるようにＣｏ、Ｃｒを秤量し、合金溶湯を作製して、ガスアトマイズを行い、所定の組成（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上）のＣｏ−Ｃｒ合金アトマイズ磁性粉末を作製する。作製したＣｏ−Ｃｒ合金アトマイズ磁性粉末は分級して、粒径が所定の粒径以下（例えば１０６μｍ以下）となるようにする。ここで、Ｃｒを含有させずにＣｏ単体のアトマイズ磁性粉末としてもよく、本実施形態では、所定の組成（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上）のＣｏ−Ｃｒ合金アトマイズ磁性粉末には、Ｃｏ単体のアトマイズ磁性粉末も含まれるものとする。

【0072】

（２）第１の非磁性金属粉末および非磁性混合粉末の作製
所定の組成（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下）となるようにＣｏ、Ｃｒ、Ｐｔを秤量し、合金溶湯を作製して、ガスアトマイズを行い、所定の組成（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく７３ａｔ％以下）の第１の非磁性金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末）を作製する。作製した第１の非磁性金属粉末（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末）は分級して、粒径が所定の粒径以下（例えば１０６μｍ以下）となるようにする。

【0073】

作製した分級後のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ₂粉末、ＴｉＯ₂粉末、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末）とを混合分散して、非磁性混合粉末を作製する。酸化物粉末（ＳｉＯ₂粉末、ＴｉＯ₂粉末、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末）は、微細な１次粒子が凝集して２次粒子を形成しているが、混合分散は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ₂粉末、ＴｉＯ₂粉末、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末）とが十分に細かく分散し合うまで行う（例えば、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末とのボールミルによる累計回転回数が１００万回以上になるまで混合分散を行う）。

【0074】

（３）第２の非磁性金属粉末の作製
所定の組成（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下）となるようにＣｏ、Ｐｔを秤量し、合金溶湯を作製して、ガスアトマイズを行い、所定の組成（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下）である第２の非磁性金属粉末（Ｃｏ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末）を作製する。作製した第２の非磁性金属粉末は分級して、粒径が所定の粒径以下（例えば１０６μｍ以下）となるようにする。

【0075】

（４）加圧焼結用混合粉末の作製
（２）で作製した非磁性混合粉末と、（１）で作製した磁性金属粉末と、（３）で作製した第２の非磁性金属粉末とを概ね均一になるまで混合分散して、加圧焼結用混合粉末を作製する。この加圧焼結用混合粉末の作製の際には、（２）で作製した非磁性混合粉末、（１）で作製した磁性金属粉末、（３）で作製した第２の非磁性金属粉末に、必要に応じ酸化物粉末を加えて混合分散を行ってもよい。なお、この工程での混合分散は、各粒子径が小さくならない程度に止める。各粒子径が小さくなる程度まで混合分散を行うと、得られるターゲットの漏洩磁束量が小さくなってしまうおそれがある。

【0076】

（５）成形
（４）で作製した加圧焼結用混合粉末を、例えば真空ホットプレス法により加圧焼結して成形し、ターゲットを作製する。

【0077】

（６）製造方法の特徴
本実施形態に係る製造方法の特徴は、（２）で作製した第１の非磁性金属粉末と酸化物粉末とを、（２）で記載したように、十分に細かく分散し合うまで混合分散を行って、非磁性混合粉末を得ていることである。

【0078】

（２）で作製した非磁性混合粉末において、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とは十分に細かく分散し合っているので、（２）で作製した非磁性混合粉末と、（１）で作製した磁性金属粉末と、（３）で作製した第２の非磁性金属粉末とを混合分散して、加圧焼結用混合粉末を作製する際の混合の程度を、各粒子径が小さくならない程度に止めても、得られるターゲット中において酸化物が凝集して大きな酸化物相が生じてしまうことが抑制されており、スパッタリング時にノジュールやパーティクルの発生等の不具合は発生しにくい。

【0079】

このため、本実施形態に係る製造方法によれば、スパッタリング時のノジュールやパーティクル等の発生を抑制しつつ、加圧焼結用混合粉末中の磁性金属粉末（Ｃｏの含有割合が８５ａｔ％以上のＣｏ−Ｃｒ合金粉末）および第２の非磁性金属粉末（Ｃｏの含有割合が０ａｔ％より大きく１２ａｔ％以下のＣｏ−Ｐｔ合金粉末）の粒径を大きくすることができ、得られるターゲットの漏洩磁束量を大きくすることができる。

【実施例】

【0080】

（実施例１）
実施例１として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、以下のようにしてターゲットの作製を行うとともに評価を行った。

【0081】

合金組成がＣｏ：６８ａｔ％、Ｃｒ：２２ａｔ％、Ｐｔ：１０ａｔ％となるように各金属を秤量し、１７００℃まで加熱して６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金溶湯とし、ガスアトマイズを行って６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）を作製した。

【0082】

また、合金組成がＣｏ：５ａｔ％、Ｐｔ：９５ａｔ％となるように各金属を秤量し、２０００℃まで加熱して５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金溶湯とし、ガスアトマイズを行って５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）を作製した。

【0083】

また、Ｃｏ単体を１７００℃まで加熱してＣｏ単体の溶湯とし、ガスアトマイズを行ってＣｏ粉末（磁性金属粉末）を作製した。

【0084】

作製した３種類のアトマイズ金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末、Ｃｏ粉末）をそれぞれ１５０メッシュのふるいで分級して、粒径が１０６μｍ以下の３種類のアトマイズ金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末、Ｃｏ粉末）を得た。

【0085】

Ｃｏ粉末については、さらに３２５メッシュのふるいで分級して、粒径が４５〜１０６μｍのアトマイズ金属粉末とした。

【0086】

分級後の６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末７３５．７０ｇに、ＳｉＯ₂粉末１０６.５３ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１５．４６ｇ、Ｒｕ粉末（粒径１０６μｍ以下）１１５．２６ｇを添加してボールミルで混合分散を行い、非磁性混合粉末を得た。ボールミルの累計回転回数は４,１３６,４００回であった。

【0087】

次に、得られた非磁性混合粉末４９３．１４ｇと、分級後の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）１９７．６８ｇと、分級後のＣｏ粉末（磁性金属粉末）２４６．１８ｇとを、ターブラーシェイカーで６７ｒｐｍ、３０ｍｉｎの条件で混合して、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0088】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１２００℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．８ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．６５％であった。

【0089】

図４および図５は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図４は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図５は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0090】

図４および図５において、濃い灰色の相は酸化物相であり、この酸化物相と混ざり合って分散し合っている白色の小さな細長い相が６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金であり、略円形の白色の相はＣｏ相および５Ｃｏ−９５Ｐｔ相であると考えられる。６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末は酸化物粉末とボールミルで累計回転回数４,１３６,４００回まで混合を行っているので、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく混ざり合うとともに、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相は変形して細長くなると考えられる一方、Ｃｏ粉末および５Ｃｏ−９５Ｐｔ粉末はボールミルによる混合がなされていないので略球状の形状を保っていると考えられるからである。

【0091】

なお、本実施例１では、Ｃｏ粉末および５Ｃｏ−９５Ｐｔ粉末はボールミルによる混合がなされていないので、図４および図５において、ターゲット中のＣｏ相および５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相はどちらも略円形の形状だと考えられ、両者を区別することは困難である。このため、本実施例１では、ターゲット中のＣｏ相の大きさを算出することはしていない。ただし、Ｃｏ粉末については、２回分級して、粒径が４５〜１０６μｍの範囲に揃えられており、４５μｍ未満の小さい粒径のものは含まれていないのに対し、５Ｃｏ−９５Ｐｔ粉末は分級が１回のみで、粒径の範囲が１０６μｍ以下であるので、図４および図５において、大きい略円形の白色の相はＣｏ相が主体で、小さい略円形の白色の相は５Ｃｏ−９５Ｐｔ相が主体であると考えられる。

【0092】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１２００℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９９．８５％、９９．８６％であり、平均の相対密度は９９．８６％であった。

【0093】

作製した２つのターゲットについて、ＡＳＴＭ Ｆ２０８６−０１に基づき、漏洩磁束についての評価を行った。磁束を発生させるための磁石には馬蹄形磁石（材質：アルニコ）を用いた。この磁石を漏洩磁束の測定装置に取り付けるとともに、ホールプローブにガウスメータを接続した。ホールプローブは、前記馬蹄形磁石の磁極間の中心の真上に位置するように配置した。

【0094】

まず、測定装置のテーブルにターゲットを置かずに、テーブルの表面における水平方向の磁束密度を測定し、ＡＳＴＭで定義されるＳｏｕｒｃｅ Ｆｉｅｌｄを測定したところ８９７（Ｇ）、８９７（Ｇ）であった。

【0095】

次に、ホールプローブの先端を、ターゲットの漏洩磁束測定時の位置（テーブル表面からターゲットの厚さ＋２ｍｍの高さ位置）に上昇させ、テーブル面にターゲットを置かない状態で、テーブル面に水平な方向の漏洩磁束密度を測定し、ＡＳＴＭで定義されるＲｅｆｅｒｅｎｃｅ ｆｉｅｌｄを測定したところ６１６（Ｇ）、６１４（Ｇ）であった。

【0096】

次に、ターゲット表面の中心と、ターゲット表面のホールプローブ直下の点の間の距離が４３．７ｍｍになるようにターゲットをテーブル面に配置した。そして、中心位置を移動させずにターゲットを反時計回りに５回転させた後、中心位置を移動させずにターゲットを０度、３０度、６０度、９０度、１２０度回転させ、それぞれの位置で、テーブル面に水平な方向の漏洩磁束密度を測定した。得られた５つの漏洩磁束密度の値をＲｅｆｅｒｅｎｎｃｅ ｆｉｅｌｄの値で割って１００を掛けて漏洩磁束率（％）とした。５点の漏洩磁束率（％）の平均をとり、その平均値をそのターゲットの平均漏洩磁束率（％）とした。下記の表３、表４に示すように、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率は７２．２％、７３．３％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は７２．８％であった。

【0097】

【表3】

【0098】

【表4】

【0099】

（実施例２）
実施例２として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例１と同じであり、また、作製した３種類のアトマイズ金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末、Ｃｏ粉末）の組成も同じである。ただし、実施例１では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）のみであったが、本実施例２では、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）だけでなく、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が異なる。

【0100】

本実施例２のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0101】

実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を得た。

【0102】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末７４２．３８ｇに、ＳｉＯ₂粉末７６．５５ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．８１ｇ、Ｒｕ粉末（粒径１０６μｍ以下）１１６．３１ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４,１３６,４００回）を行い、第１の非磁性混合粉末を得た。

【0103】

また、得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末８９１．４３ｇに、ＳｉＯ₂粉末２６．９２ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末３１．０７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,３０８,９６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を得た。

【0104】

また、得られたＣｏ粉末７９０．００ｇに、ＳｉＯ₂粉末２６．３５ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末３０．３９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４９３,５６０回）を行い、磁性混合粉末を得た。

【0105】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）４６５．６０ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２１０．５４ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２６３．８６ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0106】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１２１０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．８ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９９．１２％であった。

【0107】

図６および図７は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図６は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図７は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0108】

図６および図７において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本実施例２では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせたためと考えられる。ただし、Ｃｏ粉末のボールミルによる混合の際の累計回転回数は４９３,５６０回であり、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末の累計回転回数４,１３６,４００回および５Ｃｏ−９５Ｐｔ粉末の累計回転回数１,３０８,９６０回のそれぞれ８分の１以下、５分の２以下であるので、Ｃｏ粉末は６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末および５Ｃｏ−９５Ｐｔ粉末ほどには細長くはなっていないと考えられる。したがって、図６および図７において、アスペクト比が３以下の大きな白色の相はＣｏ相であると考えることも可能である。

【0109】

図７においてアスペクト比が３以下の白色の相がＣｏ相であると考えたときのＣｏ相の平均の大きさは４５μｍであった。なお、個々の相の大きさを算出する際には、長径と短径の平均の値を相の大きさとした。また、図７におけるＣｏ相の大きさの平均値の算出に際しては、１０μｍ以下の大きさの相については無視した。

【0110】

なお、図６および図７において、濃い灰色の相である酸化物相と混ざり合って分散し合っている白色の小さな細長い相は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相であると考えられる。

【0111】

また、本実施例２の図６および図７を実施例１の図４および図５と比較してみると、金属相を示す白色の相の大きさの最大値および白色の相の写真全体に対する割合は、実施例１の図４および図５の方が大きいように観察される（実施例１の図４における白色の相の大きさの最大値は９２μｍであるのに対し、本実施例２の図７における白色の相の大きさの最大値は７１μｍである。また、白色の相の写真全体に対する割合は、実施例１の図４および図５の方が本実施例２の図６および図７よりも大きいことは一見して明らかである）ので、実施例１のターゲット中のＣｏ相および５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相の大きさは本実施例２のターゲット中のＣｏ相よび５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相の大きさよりも大きいと思われる。本実施例２では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせたため、白色の金属相の大きさが小さくなるとともに、金属相が酸化物相と細かく分散し合うことにより白色の相として観察される領域の割合が小さくなったと思われる。

【0112】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１２１０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９９．７３％、９９．８２％であり、平均の相対密度は９９．７８％であった。

【0113】

作製した２つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表５、表６に示すように、平均漏洩磁束率は６５．０％と６５．３％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は６５．２％であった。

【0114】

【表5】

【0115】

【表6】

【0116】

（比較例１）
比較例１として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃で、実施例１、２と同じである。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）であり、実施例１、２の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）に替えて、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（磁性金属粉末）を作製している。また、本比較例１では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）と５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）であり、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）については、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせることはしていない。

【0117】

本比較例１のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0118】

実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0119】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末７７５．５３ｇに、ＳｉＯ₂粉末６８．３０ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末７４．０４ｇ、Ｒｕ粉末（粒径１０６μｍ以下）１２１．５１ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４,１３６,４００回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0120】

また、合金組成のみを変更した以外は実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。なお、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末を得るアトマイズの際の加熱温度および噴射温度は１８００℃であった。

【0121】

得られた５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末１１２１．２５ｇにＳｉＯ₂粉末８５．４１ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末９２．５４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,８０５,８４０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0122】

また、実施例１と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。なお、得られたＣｏ粉末については、ボールミルで酸化物と混合分散させることはしなかった。

【0123】

次に、非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）４５５．９３ｇ、磁性混合粉末（５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２９３．５７ｇ、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）１９０．５１ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0124】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１２００℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．８ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．１４％であった。

【0125】

図８および図９は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図８は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図９は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0126】

図８および図９において、略円形の白色の相はボールミルによる混合を行っていないＣｏ相であると考えられる。ボールミルによる混合を行っていないので、Ｃｏ相は略円形の形状を保っているものと考えられる。

【0127】

一方、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とのボールミルでの累計回転回数は４,１３６,４００回であり、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とのボールミルでの累計回転回数は２,８０５,８４０回であり、累計回転回数はともに多い。したがって、図８および図９において、濃い灰色の相である酸化物相と混ざり合って分散し合っている白色の小さな細長い相は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金相であると考えられる。

【0128】

図９において略円形（ここではアスペクト比１．５以下の形状を略円形とした）の白色の相は全てＣｏ相と考えたときのＣｏ相の平均の大きさは４０μｍであった。なお、個々の相の大きさを算出する際には、最も径の大きい長径の値と最も径の小さい短径の値の平均の値を相の大きさとした。また、図９におけるＣｏ相の大きさの平均値の算出に際しては、１０μｍ以下の大きさの相については無視した。

【0129】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１２００℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９９．８７％、９９．６８％であり、平均の相対密度は９９．７８％であった。

【0130】

作製した２つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表７、表８に示すように、平均漏洩磁束率は６１．０％と６０．８％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は６０．９％であった。

【0131】

【表7】

【0132】

【表8】

【0133】

（比較例２）
比較例２として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃で、実施例１、２、比較例１と同じである。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）であり、比較例１と同様に、実施例１、２の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）に替えて、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（磁性金属粉末）を作製している。ただし、本比較例２では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が比較例１と異なる。

【0134】

また、実施例１、２と同様に磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしている点も比較例１と異なる。

【0135】

本比較例２のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0136】

実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0137】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末７２１．７２ｇに、ＳｉＯ₂粉末６２．５８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末６８．９１ｇ、Ｒｕ粉末（粒径１０６μｍ以下）１１３．０８ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４,１３６,４００回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0138】

また、合金組成のみを変更した以外は実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。なお、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末を得るアトマイズの際の加熱温度および噴射温度は１８００℃であった。

【0139】

得られた分級後の５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末１１２３．３３ｇにＳｉＯ₂粉末５４．４９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末５９．９９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,８０５,８４０回）を行い、第１の磁性混合粉末を作製した。

【0140】

また、実施例１、２と同様にアトマイズおよび分級を行って、Ｃｏ粉末（粒径４５〜１０６μｍ）を得た。

【0141】

得られた分級後のＣｏ粉末９２７．４０ｇに、ＳｉＯ₂粉末３６．３６ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末３５．９７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４９３,５６０回）を行い、第２の磁性混合粉末を作製した。

【0142】

次に、非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）４５５．４７ｇ、第１の磁性混合粉末（５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２７９．１８ｇ、第２の磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２０５．３７ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0143】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１２００℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．８ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９９．０８％であった。

【0144】

図１０および図１１は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１０は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１１は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0145】

図１０および図１１において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本比較例２では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせたためと考えられる。ただし、Ｃｏ粉末のボールミルによる混合の際の累計回転回数は４９３,５６０回であり、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末の累計回転回数４,１３６,４００回および５０Ｃｏ−５０Ｐｔ粉末の累計回転回数２,８０５,８４０回のそれぞれ８分の１以下、５分の１以下であるので、Ｃｏ粉末は６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末および５０Ｃｏ−５０Ｐｔ粉末ほどには細長くはなっていないと考えられる。したがって、図１０および図１１において、アスペクト比が３以下の大きな白色の相はＣｏ相であると考えることも可能である。

【0146】

図１１においてアスペクト比が３以下の白色の相がＣｏ相であると考えたときのＣｏ相の平均の大きさは３８μｍであった。なお、個々の相の大きさを算出する際には、長径と短径の平均の値を相の大きさとした。また、図１１におけるＣｏ相の大きさの平均値の算出に際しては、１０μｍ以下の大きさの相については無視した。

【0147】

なお、図８および図９において、濃い灰色の相である酸化物相と混ざり合って分散し合っている白色の小さな細長い相は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金相であると考えられる。

【0148】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１２００℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９８．９０％、９９．０６％であり、平均の相対密度は９８．９８％であった。

【0149】

作製した２つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表９、表１０に示すように、平均漏洩磁束率は５９．９％と５９．８％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は５９．９％であった。

【0150】

【表9】

【0151】

【表10】

【0152】

（比較例３）
比較例３として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃で、実施例１、２、比較例１、２と同じである。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）であり、比較例１、２と同様に、実施例１、２の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）に替えて、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（磁性金属粉末）を作製している。また、本比較例３では、比較例２と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が比較例１と異なる。磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は比較例２と同じ（４９３,５６０回）である。

【0153】

ただし、比較例２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本比較例３では１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が比較例２と異なる。

【0154】

本比較例３のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0155】

実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0156】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末７２１．７２ｇに、ＳｉＯ₂粉末６２．５８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末６８．９１ｇ、Ｒｕ粉末（粒径１０６μｍ以下）１１３．０８ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４,１３６,４００回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0157】

また、合金組成のみを変更した以外は実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。なお、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末を得るアトマイズの際の加熱温度および噴射温度は１８００℃であった。

【0158】

得られた５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末１１２３．３３ｇにＳｉＯ₂粉末５４．４９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末５９．９９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,８０５,８４０回）を行い、第１の磁性混合粉末を作製した。

【0159】

また、実施例１、２と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、比較例１と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0160】

得られた分級後のＣｏ粉末９２７．４０ｇに、ＳｉＯ₂粉末３６．３６ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末３５．９７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４９３,５６０回）を行い、第２の磁性混合粉末を作製した。

【0161】

次に、非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）４５５．４７ｇ、第１の磁性混合粉末（５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２７９．１８ｇ、第２の磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２０５．３７ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0162】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．８ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．２５％であった。

【0163】

図１２および図１３は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１２は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１３は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0164】

図１２および図１３において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本比較例３では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせたためと考えられる。ただし、Ｃｏ粉末のボールミルによる混合の際の累計回転回数は４９３,５６０回であり、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末の累計回転回数４,１３６,４００回および５０Ｃｏ−５０Ｐｔ粉末の累計回転回数２,８０５,８４０回のそれぞれ８分の１以下、５分の１以下であるので、Ｃｏ粉末は６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末および５０Ｃｏ−５０Ｐｔ粉末ほどには細長くはなっていないと考えられる。したがって、図１２および図１３において、アスペクト比が３以下の大きな白色の相はＣｏ相であると考えることも可能である。

【0165】

図１３においてアスペクト比が３以下の白色の相がＣｏ相であると考えたときのＣｏ相の平均の大きさは３５μｍであった。なお、個々の相の大きさを算出する際には、長径と短径の平均の値を相の大きさとした。また、図１３におけるＣｏ相の大きさの平均値の算出に際しては、１０μｍ以下の大きさの相については無視した。

【0166】

なお、本比較例３の図１２および図１３を比較例２の図１０および図１１と比較すると、ターゲット中の大きな白色の相の割合は本比較例３の方が比較例２よりも小さくなっているが、これは、比較例２ではターゲット作製に用いたＣｏ粒子の粒径が４５〜１０６μｍであるのに対して、本比較例３ではターゲット作製に用いたＣｏ粒子の粒径が１０６μｍ以下であるためと考えられる。

【0167】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９８．９２％、９９．０４％であり、平均の相対密度は９８．９８％であった。

【0168】

作製した２つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表１１、表１２に示すように、平均漏洩磁束率は５６．６％と５６．７％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は５６．７％であった。

【0169】

【表11】

【0170】

【表12】

【0171】

（比較例４）
比較例４として作製したターゲット全体の組成は、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃で、実施例１、２、比較例１、２、３と同じである。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）であり、比較例１、２、３と同様に、実施例１、２の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）に替えて、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（磁性金属粉末）を作製している。また、本比較例４では、比較例２、３と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が比較例１と異なる。ただし、本比較例４では磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数が８１７,５６０回であり、比較例３における磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数４９３,５６０回よりも６６％ほど多くなっている。なお、本比較例４では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲は１０６μｍ以下であり、この点は比較例３と同じである。

【0172】

本比較例４のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0173】

実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0174】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末７２１．７２ｇに、ＳｉＯ₂粉末６２．５８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末６８．９１ｇ、Ｒｕ粉末（粒径１０６μｍ以下）１１３．０８ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は４,１３６,４００回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0175】

また、合金組成のみを変更した以外は実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。なお、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末を得るアトマイズの際の加熱温度および噴射温度は１８００℃であった。

【0176】

得られた５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末１１２３．３３ｇにＳｉＯ₂粉末５４．４９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末５９．９９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,８０５,８４０回）を行い、第１の磁性混合粉末を作製した。

【0177】

また、実施例１、２と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、比較例１と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0178】

得られたＣｏ粉末９２７．４０ｇに、ＳｉＯ₂粉末３６．３６ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末３５．９７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は８１７,５６０回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0179】

次に、非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）４５５．４７ｇ、第１の磁性混合粉末（５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２７９．１８ｇ、第２の磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２０５．３７ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0180】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．８ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．２５％であった。

【0181】

図１４および図１５は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１４は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１５は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0182】

図１４および図１５において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相は存在しておらず、楕円形かそれ以上に細長い相になって存在している。また、楕円形かそれ以上に細長い相になっている白色の相の大きさ自体、比較例１〜３と比べて小さくなっている。本比較例４では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、かつ、Ｃｏ粉末のボールミルによる混合の際の累計回転回数は８１７,５６０回であり、比較例２、３における磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数４９３,５６０回よりも６６％ほど多くなっているためと思われる。

【0183】

ただし、Ｃｏ粉末のボールミルによる混合の際の累計回転回数は８１７,５６０回であり、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末の累計回転回数４,１３６,４００回および５０Ｃｏ−５０Ｐｔ粉末の累計回転回数２,８０５,８４０回のそれぞれ５分の１以下、３分の１以下であるので、Ｃｏ粉末は６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ粉末および５０Ｃｏ−５０Ｐｔ粉末ほどには細長くはなっていないと考えられる。したがって、図１４および図１５において、アスペクト比が３以下の大きな白色の相をＣｏ相であると考えることも可能である。

【0184】

図１５においてアスペクト比が３以下の白色の相がＣｏ相であると考えたときのＣｏ相の平均の大きさは２３μｍであった。なお、個々の相の大きさを算出する際には、長径と短径の平均の値を相の大きさとした。また、図１５におけるＣｏ相の大きさの平均値の算出に際しては、１０μｍ以下の大きさの相については無視した。

【0185】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１９０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ５．０ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９９．２２％、９９．２４％であり、平均の相対密度は９９．２３％であった。

【0186】

作製した２つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表１３、表１４に示すように、平均漏洩磁束率は５５．５％と５５．３％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は５５．４％であった。

【0187】

【表13】

【0188】

【表14】

【0189】

（参考例１）
参考例１として作製したターゲット全体の組成は、９１（７１．５Ｃｏ−１１Ｃｒ−１７．５Ｐｔ）−３ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−４Ｃｒ₂Ｏ₃である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）であり、実施例１、２の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）に替えて、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（磁性金属粉末）を作製している。また、本参考例１では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）と５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）であり、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）については、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせることはしていない。

【0190】

本参考例１のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0191】

実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0192】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１０７４．２１ｇに、ＳｉＯ₂粉末３１．６０ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．０４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１０６．７３ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,３０８,９６０回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0193】

また、合金組成のみを変更した以外は実施例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末を得た。なお、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末を得るアトマイズの際の加熱温度および噴射温度は１８００℃であった。

【0194】

得られた５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末９７８．９２ｇにＳｉＯ₂粉末２８．７８ｇ、ＴｉＯ₂粉末２５．５６ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末９７．２３ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0195】

また、実施例１と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。なお、得られたＣｏ粉末については、ボールミルで酸化物と混合分散させることはしなかった。

【0196】

次に、非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）５７２．４８ｇ、磁性混合粉末（５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）５１１．８１ｇ、Ｃｏ粉末２０５．７２ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0197】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１７０℃、圧力：２４．５ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．５ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．６５％であった。

【0198】

図１６および図１７は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１６は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１７は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0199】

図１６および図１７において、略円形の白色の相はボールミルによる混合を行っていないＣｏ相であると考えられる。Ｃｏ粉末はボールミルによる混合を行っていないので、Ｃｏ相は略円形の形状を保ったものと考えられる。

【0200】

一方、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とのボールミルでの累計回転回数は１,３０８,９６０回であり、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とのボールミルでの累計回転回数は１,０８２,１６０回であり、ほぼ同レベルの回数である。したがって、図１６および図１７において、濃い灰色の部分の酸化物相と混ざり合っている白色の小さな細長い相は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金相であると考えられる。

【0201】

図１７において略円形（ここではアスペクト比１．５以下の形状を略円形とした）の白色の相は全てＣｏ相と考えたときのＣｏ相の平均の大きさは２９μｍであった。なお、個々の相の大きさを算出する際には、長径と短径の平均の値を相の大きさとした。また、図１７におけるＣｏ相の大きさの平均値の算出に際しては、１０μｍ以下の大きさの相については無視した。

【0202】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１７０℃、圧力：２４．５ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ６．５ｍｍのターゲットを２つ作製した。作製した２つのターゲットの相対密度は９８．５６％、９８．５２％であり、平均の相対密度は９８．５４％であった。

【0203】

作製した２つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表１５、表１６に示すように、平均漏洩磁束率は４６．９％と４７．１％であり、作製した２つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は４７．０％であった。なお、本参考例１のターゲットの厚さは６．５ｍｍであり、実施例１、２、比較例１〜４のターゲットの厚さ５．０ｍｍよりも１．５ｍｍ厚くなっており、漏洩磁束量が低めに測定されることに留意する必要がある。

【0204】

【表15】

【0205】

【表16】

【0206】

（参考例２）
参考例２として作製したターゲット全体の組成は、９１（７１．５Ｃｏ−１１Ｃｒ−１７．５Ｐｔ）−３ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−４Ｃｒ₂Ｏ₃であり、参考例１と同様である。また、作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、比較例１と同様に、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）であり、実施例１および実施例２の５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）に替えて、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（磁性金属粉末）を作製している。ただし、参考例１では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（非磁性金属粉末）と５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末（第１の磁性金属粉末）であり、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）についてはボールミルを用いての酸化物との混合分散はさせていないのに対し、本参考例２では、３種の金属粉末を全てそれぞれ酸化物とボールミルを用いて混合させており、Ｃｏ粉末（第２の磁性金属粉末）についてもボールミルを用いての酸化物との混合分散をさせている。

【0207】

本参考例２のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0208】

参考例１と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末、Ｃｏ粉末を得た。

【0209】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１０２０．００ｇに、ＳｉＯ₂粉末２８．４２ｇ、ＴｉＯ₂粉末２５．２１ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末９５．９５ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,３０８,９６０回）を行い、非磁性混合粉末を作製した。

【0210】

また、得られた５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末１８４０．００ｇに、ＳｉＯ₂粉末２８．６５ｇ、ＴｉＯ₂粉末２５．４３ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末９６．７９ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、第１の磁性混合粉末を作製した。

【0211】

また、得られたＣｏ粉末８７０．００ｇに、ＳｉＯ₂粉末２９．１８ｇ、ＴｉＯ₂粉末２５．９１ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末９８．６３ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０６９,５６０回）を行い、第２の磁性混合粉末を作製した。

【0212】

次に、非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）５６８．４０ｇ、第１の磁性混合粉末（５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）４７９．５３ｇ、第２の磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）２４２．０７ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を作製した。

【0213】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１７０℃、圧力：２４．５ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．５ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．３８％であった。

【0214】

図１８および図１９は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図１８は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図１９は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0215】

図１８および図１９において、略円形の白色の相はほとんど存在せず、白色の相は大部分が細長い相になっている。本参考例２では、３種の金属粉末を全てそれぞれ酸化物とボールミルを用いて混合させているためと考えられる。なお、実施例２でも、３種の金属粉末を全てそれぞれ酸化物とボールミルを用いて混合させているが、実施例２ではＣｏ粉末を酸化物粉末と混合分散させる際のボールミルの累計回転回数が４９３,５６０回であり、本参考例２におけるＣｏ粉末についての累計回転回数１,０６９,５６０回の半分以下であったため、実施例２の図６および図７では、略円形〜楕円形のＣｏ相が存在したと考えられる。

【0216】

また、本参考例２においては、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末、Ｃｏ粉末の粒径はいずれも１０６μｍ以下で同様であり、また、酸化物粉末と混合分散させる際のボールミルの累計回転回数は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末の場合は１,３０８,９６０回、５０Ｃｏ−５０Ｐｔ合金粉末の場合は１,０８２,１６０回、Ｃｏ粉末の場合は１,０６９,５６０回であり、同レベルの回数であるので、図１９においてどの相がＣｏ相であるか推定することができないので、本参考例２ではＣｏ相の平均の大きさは算出していない。

【0217】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１７０℃、圧力：２４．５ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ６．５ｍｍのターゲットを４つ作製した。作製した４つのターゲットの相対密度は９８．６％、９８．８％、９８．８％、９８．７％であり、平均の相対密度は９８．７％であった。

【0218】

作製した４つのターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表１７〜表２０に示すように、平均漏洩磁束率は４４．３％、４４．２％、４４．５％、４４．７％であり、作製した４つのターゲットの平均漏洩磁束率の平均は４４．４％であった。

【0219】

【表17】

【0220】

【表18】

【0221】

【表19】

【0222】

【表20】

【0223】

（実施例３）
実施例３として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１、２と同様である。また、本実施例３では、実施例２と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３８５,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回である。

【0224】

ただし、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本実施例３では１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。

【0225】

本実施例３のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0226】

実施例１、２と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0227】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0228】

また、実施例１、２と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0229】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３８５,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0230】

また、実施例１、２と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、比較例１と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0231】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0232】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0233】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９９．３３％であった。

【0234】

図２０および図２１は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図２０は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図２１は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0235】

図２０および図２１において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本実施例３では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。なお、本実施例３は、後に記載する比較例６−８等と比較して白色の相の割合が大きく観察されるが、これは、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）および磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）を作製する際のボールミルの累計回転回数が比較例６−８等と比較して少なかったため、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末およびＣｏ粉末の粒径があまり小さくならず、酸化物粉末とあまり細かく混ざり合わなかったためだと思われる。

【0236】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．９６％であった。

【0237】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２１に示すように、平均漏洩磁束率は４８．１％であった。

【0238】

【表21】

【0239】

（比較例５）
比較例５として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜３と同様である。また、本比較例５では、実施例２、３と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３８５,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回である。

【0240】

ただし、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本比較例５では、実施例３と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。さらに、本比較例５では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回であり、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（１,０８２,１６０回）、および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（３８５,５６０回）よりも多くなっているので、得られるターゲット中において、磁性相（Ｃｏ相）は全ての非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）よりも細かく酸化物相と分散し合っていると考えられ、本比較例５は、本発明の範囲外である。

【0241】

本比較例５のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0242】

実施例１〜３と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0243】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0244】

また、実施例１〜３と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0245】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３８５,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0246】

また、実施例１〜３と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0247】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0248】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２.１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0249】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．４２％であった。

【0250】

図２２および図２３は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図２２は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図２３は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0251】

図２２および図２３において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本比較例５では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。なお、本比較例５は、実施例３と比較して白色の相の割合が少し小さく観察されるが、これは、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）を作製する際のボールミルの累計回転回数が実施例３と比較して多くなったため、Ｃｏ粉末の粒径が小さくなり、酸化物粉末と細かく混ざり合ったためだと思われる。

【0252】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．６５％であった。

【0253】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２２に示すように、平均漏洩磁束率は３９．９％であった。

【0254】

【表22】

【0255】

（比較例６）
比較例６として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３、４と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜３、比較例５と同様である。また、本比較例６では、実施例２、３、比較例５と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は５４７,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回である。

【0256】

ただし、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本比較例６では、実施例３、４と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。さらに、本比較例６では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回であり、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（１,０８２,１６０回）、および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（５４７,５６０回）よりも多くなっているので、得られるターゲット中において、磁性相（Ｃｏ相）は全ての非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）よりも細かく酸化物相と分散し合っていると考えられ、本比較例６は、本発明の範囲外である。

【0257】

本比較例６のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0258】

実施例１〜３、比較例５と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0259】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0260】

また、実施例１〜３、比較例５と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0261】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は５４７,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0262】

また、実施例１〜３、比較例５と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３、４と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0263】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0264】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0265】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．７９％であった。

【0266】

図２４および図２５は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図２４は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図２５は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0267】

図２４および図２５において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本比較例６では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。なお、本比較例６は、比較例５と比較して白色の相の割合が少し小さく観察されるが、これは、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）を作製する際のボールミルの累計回転回数が比較例５と比較して多くなったため、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末の粒径が小さくなり、酸化物粉末と細かく混ざり合ったためだと思われる。

【0268】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．３４％であった。

【0269】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２３に示すように、平均漏洩磁束率は３８．６％であった。

【0270】

【表23】

【0271】

（比較例７）
比較例７として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３、比較例１、２と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜３、比較例１、２と同様である。また、本比較例７では、実施例２、３、比較例１、２と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,５７３,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回である。

【0272】

ただし、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本比較例７では、実施例３、比較例５、６と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。さらに、本比較例７では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回であり、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（１,０８２,１６０回）、および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（１,５７３,５６０回）よりも多くなっているので、得られるターゲット中において、磁性相（Ｃｏ相）は全ての非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）よりも細かく酸化物相と分散し合っていると考えられ、本比較例７は、本発明の範囲外である。

【0273】

本比較例７のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0274】

実施例１〜３、比較例５、６と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0275】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0276】

また、実施例１〜３、比較例５、６と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0277】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,５７３,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0278】

また、実施例１〜３、比較例５、６と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３〜５と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0279】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0280】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0281】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．３９％であった。

【0282】

図２６および図２７は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図２６は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図２７は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0283】

図２６および図２７において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本実施例６では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。なお、本比較例７は、実施例３、比較例５、６と比較して白色の相の大きさが小さくなっているが、これは、酸化物粉末との混合粉末を作製する際の、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）に対するボールミルの累計回転回数がいずれの粉末においても１００万回を超え、どの金属粉末もボールミルによる酸化物粉末との混合の際に粒径がかなり小さくなったためと思われる。

【0284】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．２３％であった。

【0285】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２４に示すように、平均漏洩磁束率は３５．５％であった。

【0286】

【表24】

【0287】

（比較例８）
比較例８として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３、比較例５〜７と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜３、比較例５〜７と同様である。また、本比較例８では、実施例２、３、比較例５〜７と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は２,３９０,０４０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,５７３,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回である。

【0288】

ただし、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本実施例７では、実施例３〜６と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。さらに、本比較例８では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回であり、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（２,３９０,０４０回）、および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数（１,５７３,５６０回）よりも多くなっているので、得られるターゲット中において、磁性相（Ｃｏ相）は全ての非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）よりも細かく酸化物相と分散し合っていると考えられ、本比較例８は、本発明の範囲外である。

【0289】

本比較例８のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0290】

実施例１〜３、比較例５〜７と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0291】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,３９０,０４０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0292】

また、実施例１〜３、比較例５〜７と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0293】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,５７３,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0294】

また、実施例１〜３、比較例５〜７と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３、比較例５〜７と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0295】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３,３００,８４０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0296】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0297】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９７．８９％であった。

【0298】

図２８および図２９は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図２８は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図２９は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0299】

図２８および図２９において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本比較例８では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。なお、本比較例８は、比較例７と比較してもさらに白色の相の大きさが小さくなっているが、これは、酸化物粉末との混合粉末を作製する際の、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）に対するボールミルの累計回転回数が、比較例７における６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）に対するボールミルの累計回転回数の約２倍になり、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）の粒径が本比較例８では比較例７と比べてかなり小さくなったためと思われる。

【0300】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．１７％であった。

【0301】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２５に示すように、平均漏洩磁束率は３４．５％であった。

【0302】

【表25】

【0303】

（実施例４）
実施例４として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３、比較例５〜８と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜３、比較例５〜８と同様である。また、本実施例４では、実施例２、３、比較例５〜８と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,６２７,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回である。本実施例４では、実施例３と比較して、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約４．２倍になっている。

【0304】

また、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本実施例４では、実施例３、比較例５〜８と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。

【0305】

本実施例４のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0306】

実施例１〜３、比較例５〜８と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0307】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,０８２,１６０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0308】

また、実施例１〜３、比較例５〜８と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0309】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,６２７,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0310】

また、実施例１〜３、比較例５〜８と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３、比較例５〜８と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0311】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0312】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0313】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．０２％であった。

【0314】

図３０および図３１は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図３０は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図３１は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0315】

図３０および図３１において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本実施例８では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。

【0316】

なお、本実施例４は、実施例３と比較して、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約４．２倍になっている。このため、本実施例４における金属相の大きさは、実施例３の金属相の大きさと比べて、若干小さくなったものと思われる。

【0317】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．３５％であった。

【0318】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２６に示すように、平均漏洩磁束率は４３．４％であった。

【0319】

【表26】

【0320】

（実施例５）
実施例５として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３、４、比較例５〜８と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜４、比較例５〜８と同様である。また、本実施例５では、実施例２〜４、比較例５〜８と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は２,４７３,２００回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は３８５,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回である。本実施例５では、実施例３と比較して、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約２．３倍になっている。

【0321】

また、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本実施例５では、実施例３、４、比較例５〜８と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。

【0322】

本実施例５のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0323】

実施例１〜４、比較例５〜８と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0324】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,４７３,２００回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0325】

また、実施例１〜４、比較例５〜８と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0326】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は３８５,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0327】

また、実施例１〜４、比較例５〜８と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３、４、比較例５〜８と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0328】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0329】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0330】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．４２％であった。

【0331】

図３２および図３３は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図３２は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図３３は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0332】

図３２および図３３において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本実施例９では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。

【0333】

なお、本実施例５は、実施例３と比較して、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約２．３倍になっている。このため、本実施例５における金属相の大きさは、実施例３の金属相の大きさと比べて、若干小さくなったものと思われる。

【0334】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．７６％であった。

【0335】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２７に示すように、平均漏洩磁束率は４５．７％であった。

【0336】

【表27】

【0337】

（実施例６）
実施例６として作製したターゲット全体の組成は、９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例３〜５、比較例５〜８と同様である。作製した３種類のアトマイズ金属粉末は、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（第１の非磁性金属粉末）、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（第２の非磁性金属粉末）、Ｃｏ粉末（磁性金属粉末）であり、実施例１〜５、比較例５〜８と同様である。また、本実施例６では、実施例２〜５、比較例５〜８と同様に、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は２,３９０,０４０回であり、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数は１,５７３,５６０回であり、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回である。本実施例６では、実施例３と比較して、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数がそれぞれ約２．２倍、約４．１倍になっている。

【0338】

また、実施例１、２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）を２回分級して、粒径の範囲を４５〜１０６μｍとしているのに対し、本実施例６では、実施例３〜５、比較例５〜８と同様に１回しか分級しておらず、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）の粒径の範囲が１０６μｍ以下である点が実施例１、２と異なる。

【0339】

本実施例６のターゲットを以下のようにして作製するとともに評価を行った。

【0340】

実施例１〜５、比較例５〜８と同様にアトマイズおよび分級を行って、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0341】

得られた６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末１１５５．５６ｇに、ＳｉＯ₂粉末４２．５１ｇ、ＴｉＯ₂粉末２８．２９ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末８０．５７ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は２,３９０,０４０回）を行い、第１の非磁性混合粉末を作製した。

【0342】

また、実施例１〜５、比較例５〜８と同様にアトマイズおよび分級を行って、５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末（粒径１０６μｍ以下）を得た。

【0343】

得られた５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末１４１０．６０ｇにＳｉＯ₂粉末２５．０６ｇ、ＴｉＯ₂粉末１６．６８ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末４７．５２ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は１,５７３,５６０回）を行い、第２の非磁性混合粉末を作製した。

【0344】

また、実施例１〜５、比較例５〜８と同様にアトマイズを行って、Ｃｏ粉末を得た。そして、実施例３〜５、比較例５〜８と同様に、得られたＣｏ粉末の分級は１５０メッシュのふるいによる分級のみを行い、粒径が１０６μｍ以下のＣｏ粉末に分級した。

【0345】

得られた分級後のＣｏ粉末１４７８．２８ｇに、ＳｉＯ₂粉末６１．９６ｇ、ＴｉＯ₂粉末４１．２４ｇ、Ｃｒ₂Ｏ₃粉末１１７．４４ｇを添加してボールミルで混合分散（ボールミルの累計回転回数は８７１,５６０回）を行い、磁性混合粉末を作製した。

【0346】

次に、第１の非磁性混合粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）６０２．１３ｇ、第２の非磁性混合粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３４７．６６ｇ、磁性混合粉末（Ｃｏ粉末と酸化物粉末とが混合分散した粉末）３９０．２３ｇを混合してターブラーシェイカーで実施例１と同様に混合分散を行い、加圧焼結用混合粉末を得た。

【0347】

作製した加圧焼結用混合粉末３０ｇを、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：３０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、テストピース（φ３０ｍｍ）を作製した。得られたテストピースの厚さは４．６ｍｍ程度であった。作製したテストピースの相対密度は９８．５５％であった。

【0348】

図３４および図３５は、得られたテストピースの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真であり、図３４は撮影時の倍率が１００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは５００μｍ）で、図３５は撮影時の倍率が４００倍の写真（写真中の縮尺目盛りは１００μｍ）である。

【0349】

図３４および図３５において、白色の相は金属相であるが、略円形の白色の相はほとんど存在しておらず、白色の相は楕円形かそれ以上に細長い相になっている。本実施例６では、作製した３種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせたためと考えられる。

【0350】

なお、本実施例６は、実施例３と比較して、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数がそれぞれ約２．２倍、約４．１倍になっている。このため、本実施例６における金属相の大きさは、実施例３の金属相の大きさと比べて、若干小さくなったものと思われる。

【0351】

次に、作製した加圧焼結用混合粉末を用いて、焼結温度：１１２０℃、圧力：３１ＭＰａ、時間：６０ｍｉｎ、雰囲気：５×１０^-2Ｐａ以下の条件でホットプレスを行い、φ１５２．４ｍｍ×厚さ７．０ｍｍのターゲットを１つ作製した。作製したターゲットの相対密度は９８．４７％であった。

【0352】

作製したターゲットについて、実施例１と同様にして、漏洩磁束についての評価を行った。下記の表２８に示すように、平均漏洩磁束率は４０．８％であった。

【0353】

【表28】

【0354】

（考察）
平均漏洩磁束率を測定した実施例１〜６、比較例１〜８、参考例１、２についての測定結果を下記の表２９にまとめて示す。ただし、ターゲットの厚さが厚いほど、平均漏洩磁束率が小さく測定されやすくなるところ、実施例１、２、比較例１〜４おいて平均漏洩磁束率を測定したターゲットの厚さが５．０ｍｍであり、参考例１、２において平均漏洩磁束率を測定したターゲットの厚さは６．５ｍｍであり、実施例３〜６、比較例５〜８において平均漏洩磁束率を測定したターゲットの厚さは７．０ｍｍであり、ターゲットの厚さが異なっている点に留意する必要がある。

【0355】

【表29】

【0356】

実施例１、２（ターゲット全体の組成はどちらも９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃）は、Ｃｏ（強磁性金属元素）を含む磁性相（Ｃｏ相）と、Ｃｏ（強磁性金属元素）を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相（第１の非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）と第２の非磁性相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相））とを有しており、かつ、第１の非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）は磁性相（Ｃｏ相）よりも細かく酸化物相と分散し合っている（図４〜図７参照）ので、本発明の範囲に含まれる。実施例１、２では、第１の非磁性相と第２の非磁性相の両方にＣｏが含まれているので、２つの非磁性相にＣｏが含まれている。このため、ターゲット全体におけるＣｏ量を一定に保ちつつ磁性相（Ｃｏ相）の体積分率を減少させることができ、ターゲットの平均漏洩磁束率を大きくすることができる。実施例１、２の平均漏洩磁束率はそれぞれ７２．８％、６５．２％と大きくなっている。

【0357】

また、実施例１、２の平均漏洩磁束率を比較してみると、実施例２の平均漏洩磁束率の方が実施例１よりも８％程度小さくなっている。これは、実施例２では、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）および第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ粉末）を、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせているため、ターゲット中のＣｏ相および５Ｃｏ−９５Ｐｔ相の大きさが小さくなり、このため、実施例２の漏洩磁束率は実施例１よりも小さくなったと考えられる。したがって、ターゲット中の磁性相（Ｃｏ相）、および酸化物相と細かく分散し合っている第１の非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）以外のターゲット中の第２の非磁性相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ相）は大きい方がターゲットの漏洩磁束率を大きくする点で好ましいと考えられる。

【0358】

比較例１〜４は、ターゲット全体の組成はいずれも９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ₂−３Ｃｒ₂Ｏ₃であり、実施例１、２と同一であるが、Ｃｏ−Ｐｔ合金相のＣｏの含有割合が５０ａｔ％と大きく、Ｃｏ−Ｐｔ合金相が磁性相となっており、非磁性相は６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相のみ（非磁性相は１つ）であり、本発明の範囲外である。このため、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率が実施例１、２よりも大きくなっており、平均漏洩磁束率が実施例１、２よりも１０〜１７％程度小さくなっている。したがって、強磁性金属元素が含まれる非磁性相を複数設けることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0359】

また、比較例１〜４は、ターゲット全体の組成および各金属相の組成は同一にしたまま、第２の磁性相（Ｃｏ相）の平均の大きさを変えている。比較例１〜４のそれぞれのＣｏ相の平均の大きさと平均漏洩磁束率を比較してみると、Ｃｏ相の平均の大きさが大きいほど平均漏洩磁束率が大きくなっていることがわかる。したがって、Ｃｏ相の平均の大きさを大きくすることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0360】

参考例１、２は、ターゲット全体の組成はどちらも９１（７１．５Ｃｏ−１１Ｃｒ−１７．５Ｐｔ）−３ＳｉＯ₂−２ＴｉＯ₂−４Ｃｒ₂Ｏ₃であるが、比較例１〜４と同様に、Ｃｏ−Ｐｔ合金相のＣｏの含有割合が５０ａｔ％と大きく、Ｃｏ−Ｐｔ合金相が磁性相となっており、非磁性相は６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相のみ（非磁性相は１つ）であり、本発明の範囲外である。このため、ターゲット全体に対する磁性相の体積分率が実施例１、２よりも大きくなっており、平均漏洩磁束率は実施例１、２よりも２０〜３０％程度小さくなっている。したがって、強磁性金属元素が含まれる非磁性相を複数設けることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0361】

なお、参考例１、２のターゲットの平均漏洩磁束率はそれぞれ４７．０％、４４．４％であり、実施例１、２と比べた場合だけでなく、比較例１〜４と比べた場合であってもかなり小さくなっている。参考例１、２のターゲットの厚さは６．５ｍｍであり、実施例１、２、比較例１〜４のターゲットの厚さ（５．０ｍｍ）よりも１．５ｍｍ厚くなっていることが原因と考えられる。なお、実施例１、２、比較例１〜４のターゲットにおけるＣｏの含有割合が約６４ｍｏｌ％であるのに対し、参考例１、２のターゲットにおけるＣｏの含有割合が約６５ｍｏｌ％であり、参考例１、２のターゲットの方が強磁性金属元素であるＣｏの含有割合が大きくなっているがその差はわずかであるので、ターゲットの厚さの違いの方が漏洩磁束率への影響は大きいと考えられる。

【0362】

また、参考例１、２は、ターゲット全体の組成および各金属相の組成は同一にしたまま、第２の磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）と酸化物粉末とのボールミルによる混合を行うかどうか変えている。即ち、参考例１ではＣｏ粉末と酸化物粉末とのボールミルによる混合を行っていないが、参考例２ではＣｏ粉末と酸化物粉末とのボールミルによる混合を行っており（累計回転回数１,０６９,５６０回）、参考例２のターゲット中のＣｏ相の平均の大きさの方が参考例１のターゲット中のＣｏ相の平均の大きさよりも小さくなっていると考えられる。一方、参考例２の平均漏洩磁束率は４４．４％であり、参考例１の平均漏洩磁束率（４７．０％）よりも３％程度小さくなっている。したがって、Ｃｏ相の平均の大きさを大きくすることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0363】

実施例３〜６（ターゲット全体の組成はいずれも９１（７３Ｃｏ−１１Ｃｒ−１６Ｐｔ）−４ＳｉＯ₂―２ＴｉＯ₂―３Ｃｒ₂Ｏ₃）は、Ｃｏ（強磁性金属元素）を含む磁性相（Ｃｏ相）と、Ｃｏ（強磁性金属元素）を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相（第１の非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）と第２の非磁性相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相））とを有しており、かつ、第１の非磁性相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）は磁性相（Ｃｏ相）よりも細かく酸化物相と分散し合っているので、本発明の範囲に含まれる。

【0364】

実施例３〜６の平均漏洩磁束率は４０〜４９％であり、実施例１、２よりも２０〜３０％程度小さくなっており、参考例１、２と同様のレベルの数値である。これは、実施例３〜６のターゲットの厚さは７．０ｍｍであり、実施例１、２のターゲットの厚さ（５．０ｍｍ）よりも２．０ｍｍ厚く、参考例１、２のターゲットの厚さ（６．５ｍｍ）よりも０．５ｍｍ厚くなっていることが原因と考えられる。

【0365】

比較例５〜８は、実施例３と比較して、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約３．８倍になっており、Ｃｏ相の大きさが小さくなっていると考えられる。一方、比較例５〜８の平均漏洩磁束率は３４〜４０％であり、実施例３の平均漏洩磁束率（４８．１％）よりも８〜１４％程度小さくなっている。したがって、磁性金属相（Ｃｏ相）の大きさを大きくすることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0366】

比較例６、７は、比較例５と比較して、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）に対するボールミルの累計回転回数がそれぞれ約１．４倍、約４．１倍になっている。一方、比較例６、７の平均漏洩磁束率はそれぞれ３８．６％、３５．５％であり、比較例５の平均漏洩磁束率（３９．９％）よりもそれぞれ約１％、約４％小さくなっている。したがって、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）の大きさを大きくすることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0367】

また、実施例４は、実施例３と比較して、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約４．２倍であり、実施例４は実施例３よりも、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）が酸化物相と細かく分散し合っていると考えられる。一方、実施例４の平均漏洩磁束率は４３．４％であり、実施例３の平均漏洩磁束率（４８．１％）よりも約５％小さくなっている。したがって、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）の大きさを大きくすることは、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0368】

ただし、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）を小さくしたときの平均漏洩磁束率の減少量は、磁性金属相（Ｃｏ相）を小さくしたときの平均漏洩磁束率の減少量よりも小さいので、磁性金属相（Ｃｏ相）の大きさを大きくした方が、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）の大きさを大きくするよりも、平均漏洩磁束率を向上させる点で効果があると思われる。

【0369】

実施例５は、実施例３と比較して、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約２．３倍になっている。一方、実施例５の平均漏洩磁束率は４５．７％であり、実施例３の平均漏洩磁束率（４８．１％）よりも約２％小さくなっている。したがって、第１の非磁性金属相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）の大きさを大きくすることも、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0370】

また、比較例８は、比較例７と比較して、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）および磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約２．２倍になっている。一方、比較例８の平均漏洩磁束率は３４．５％であり、比較例７の平均漏洩磁束率（３５．５％）よりも約１％小さくなっている。したがって、第１の非磁性金属相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）の大きさを大きくすることも、ターゲットの漏洩磁束率を向上させる上で有効と考えられる。

【0371】

ただし、第１の非磁性金属相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）を小さくしたときの平均漏洩磁束率の減少量は、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）を小さくしたときの平均漏洩磁束率の減少量よりも小さいので、第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）の大きさを大きくした方が、第１の非磁性金属相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）の大きさを大きくするよりも、平均漏洩磁束率を向上させる点で効果があると思われる。

【0372】

実施例６は、実施例３と比較して、磁性金属粉末（Ｃｏ粉末）に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第１の非磁性金属粉末（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約２．２倍になっており、第２の非磁性金属粉末（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金粉末）に対するボールミルの累計回転回数が約４．１倍になっている。一方、実施例６の平均漏洩磁束率は４０．８％であり、実施例３の平均漏洩磁束率（４８．１％）よりも約７％小さくなっている。これは、実施例３と比較して、第１の非磁性金属相（６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相）および第２の非磁性金属相（５Ｃｏ−９５Ｐｔ合金相）の大きさが小さくなったためと考えられる。

【0373】

最後に、ターゲット中における８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相との分散状況についても言及しておく。

【0374】

実施例１、２および比較例１〜４では、非磁性金属粉末である６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とをボールミルにより累計回転回数４,１３６,４００回まで混合させており、得られたターゲット中において６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っていると考えられるが、得られた焼結体を金属顕微鏡で実際に観察した結果（図４〜図１５）でも、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っていることを確認している。また、参考例１、２では、非磁性金属粉末である６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とをボールミルにより累計回転回数１,３０８,９６０回まで混合させており、得られたターゲット中において６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っていると考えられるが、得られた焼結体を金属顕微鏡で実際に観察した結果（図１６〜図１９）でも、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っていることを確認している。また、実施例３〜６、比較例５〜８では、非磁性金属粉末である６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金粉末と酸化物粉末とをボールミルにより累計回転回数１,０８２,１６０回以上混合させており、得られたターゲット中において６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っていると考えられるが、得られた焼結体を金属顕微鏡で実際に観察した結果（図２０〜図３５）でも、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っていることを確認している。

【0375】

したがって、本発明の範囲内の実施例１〜６だけでなく、本発明の範囲外の比較例１〜８、参考例１、２においても、６８Ｃｏ−２２Ｃｒ−１０Ｐｔ合金相と酸化物相とは細かく分散し合っており、実施例１〜６、比較例１〜８、参考例１、２のいずれのターゲットを用いて実際にスパッタリングを行ってもノジュールやパーティクル等の不具合は発生しにくいと考えられる。

【符号の説明】

【0376】

１０…ターゲット
１２…磁性相
１４…第１の非磁性相
１６…第２の非磁性相
１８…酸化物相

【図2】

【図3】

【図1】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】