知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ 信越化学工業株式会社の特許一覧 ▶ 凸版印刷株式会社の特許一覧
特許5879951光パターン照射方法、ハーフトーン位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクブランク
発明の名称 光パターン照射方法、ハーフトーン位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクブランク
出願人 信越化学工業株式会社 （識別番号 2060）
特許公開件数ランキング 66 位（367件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 64 位（361件）（共同出願を含む）
出願人 凸版印刷株式会社 （識別番号 3193）
特許公開件数ランキング 19 位（839件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 29 位（589件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5879951
公報発行日 2016年3月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5879951
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5879951「光パターン照射方法、ハーフトーン位相シフトマスク及びハーフトーン位相シフトマスクブランク」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録